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公開番号2025013848
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-28
出願番号2024180574,2023017229
出願日2024-10-16,2017-10-04
発明の名称スペクトルフィーチャ制御装置
出願人サイマーリミテッドライアビリティカンパニー
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250121BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】スペクトルフィーチャを制御する装置を提供する。
【解決手段】スペクトルフィーチャ選択装置は、パルス光ビームと相互作用するように配置された分散光学素子と、分散光学素子とパルス光源との間のパルス光ビームの経路に配置された3つ以上の屈折光学素子と、1つ又は複数の作動システムであって、各作動システムが、屈折光学素子と関連付けられ、かつ、関連付けられた屈折光学素子を回転させることによってパルス光ビームのスペクトルフィーチャを調節するように構成された、1つ又は複数の作動システムと、を含む。作動システムの少なくとも1つは、回転軸の周りで関連付けられた屈折光学素子を回転させるように構成された高速アクチュエータを含む高速作動システムである。高速アクチュエータは、関連付けられた屈折光学素子の回転軸と平行なシャフト軸の周りを回転する回転シャフトを有する回転ステッパモータを含む。
【選択図】図3A
特許請求の範囲【請求項１】
パルス光ビームを生成するパルス光源用のスペクトルフィーチャ選択装置であって、
前記パルス光ビームと相互作用する分散光学素子と、
前記分散光学素子と前記パルス光源との間の前記パルス光ビームの経路における３つ以上の屈折光学素子と、
１つ又は複数の作動システムであって、各作動システムが、屈折光学素子と関連付けられるとともに、前記関連付けられた屈折光学素子を回転させることによって前記パルス光ビームのスペクトルフィーチャを調節するように構成され、前記作動システムの少なくとも１つが、回転軸の周りで関連付けられた屈折光学素子を回転させるように構成される高速アクチュエータを備えた高速作動システムであり、前記高速アクチュエータが、前記関連付けられた屈折光学素子の前記回転軸と平行なシャフト軸の周りを回転する回転シャフトを有する回転ステッパモータを備える、１つ又は複数の作動システムと、
前記１つ又は複数の作動システムに接続された制御システムであって、前記回転ステッパモータの前記回転シャフトを調節することによって、前記関連付けられた屈折光学素子をその回転軸の周りで回転させるために、信号を前記高速アクチュエータに送るように構成される、制御システムと、
を備えた、装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記高速アクチュエータが、前記分散光学素子から最も離れた前記屈折光学素子を回転させるように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記パルス光ビーム経路が、前記装置のＸＹ面内に位置し、
前記回転ステッパモータの前記回転シャフトが、前記装置のＺ軸と平行である軸を有し、これにより、前記関連付けられた屈折光学素子を、前記装置の前記Ｚ軸と平行なその回転軸の周りで回転させる、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記高速作動システムが、前記関連付けられた屈折光学素子に物理的に結合された二次アクチュエータも含み、
前記二次アクチュエータが、軸の周りで前記関連付けられた屈折光学素子を回転させるように構成され、
前記軸は、前記ＸＹ面内に位置し、前記関連付けられた屈折光学素子の斜辺の面内にも位置する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記回転ステッパモータの前記回転シャフトの位置を検出する位置モニタをさらに備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記制御システムが、前記位置モニタに接続され、かつ、前記回転シャフトの前記検出位置を受信して前記受信した検出位置が許容可能な位置範囲内になければ前記回転シャフトを調節するように構成される、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記位置モニタが、光学回転エンコーダである、請求項４に記載の装置。
【請求項８】
前記回転シャフトが、前記回転軸からずれたオフセット軸の周りで、前記高速アクチュエータと関連付けられた前記屈折光学素子を回転させるように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記シャフト軸が、約３６０°回転することによって、前記関連付けられた屈折光学素子を約３６０°回転させるように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記高速アクチュエータに関連付けられた前記屈折光学素子が、前記シャフト軸に固定して結合される、請求項１に記載の装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
開示の主題は、リソグラフィ露光装置に光を供給する光源から出力される光ビームの例えば帯域幅又は波長などのスペクトルフィーチャを制御する装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体リソグラフィ（又はフォトリソグラフィ）において、集積回路（ＩＣ）の製造は、半導体（例えば、シリコン）基板（ウェーハとも呼ばれる）に対して行われる各種の物理的及び化学的プロセスを必要とする。フォトリソグラフィ露光装置又はスキャナは、所望のパターンを基板のターゲット部分に施す機械である。ウェーハは、ウェーハが、概ねスキャナの直交するＸ
Ｌ
及びＹ
Ｌ
方向によって定義される面に沿って延在するように、ステージに固定される。ウェーハは、深紫外線（ＤＵＶ）領域内の波長を有する光ビームによって照射される。光ビームは、スキャナのＺ
Ｌ
方向と一致する軸方向に沿って進む。スキャナのＺ
Ｌ
方向は、横方向Ｘ
Ｌ
－Ｙ
Ｌ
面と直交する。
【０００３】
レーザなどの光源から出力される光ビームのスペクトルフィーチャ又は特性（例えば、帯域幅）の正確な知識は、多くの科学的及び工業的用途において重要である。例えば、光源帯域幅の正確な知識を使用することによって、深紫外線（ＤＵＶ）光リソグラフィにおいて、最小フィーチャサイズ又はクリティカルディメンジョン（ＣＤ）の制御が可能となる。クリティカルディメンジョンは、半導体基板（ウェーハとも呼ばれる）上にプリントされるフィーチャサイズであり、及び従って、ＣＤは、細かいサイズ制御を必要とし得る。光リソグラフィでは、基板は、光源によって生成された光ビームによって照射される。多くの場合、光源は、レーザ源であり、及び光ビームは、レーザビームである。
【発明の概要】
【０００４】
幾つかの一般的態様において、光学システムは、光源と共に使用される。光学システムは、分散光学素子と、分散光学素子と光源との間の複数の屈折光学素子と、それぞれが屈折光学素子と関連付けられた複数の作動システムとを含む。作動システムの少なくとも１つは、回転軸の周りで関連付けられた屈折光学素子を３６０度回転させるように構成されたアクチュエータを含み、このアクチュエータは、シャフト軸の周りを回転するように構成された回転シャフトを備え、シャフト軸は、関連付けられた屈折光学素子の回転軸と平行であり、及びシャフト軸は、基底エネルギー状態が欠如している。
【０００５】
幾つかの一般的態様において、スペクトルフィーチャ選択装置は、パルス光ビームを生成するパルス光源と共に使用される。スペクトルフィーチャ選択装置は、パルス光ビームと相互作用するように配置された分散光学素子と、分散光学素子とパルス光源との間のパルス光ビームの経路に配置された３つ以上の屈折光学素子と、１つ又は複数の作動システムであって、各作動システムが、屈折光学素子と関連付けられ、及び関連付けられた屈折光学素子を回転させることによって、パルス光ビームのスペクトルフィーチャを調節するように構成された、１つ又は複数の作動システムと、１つ又は複数の作動システムに接続された制御システムと、を含む。作動システムの少なくとも１つは、回転軸の周りで関連付けられた屈折光学素子を回転させるように構成された高速アクチュエータを含む高速作動システムである。高速アクチュエータは、関連付けられた屈折光学素子の回転軸と平行なシャフト軸の周りを回転する回転シャフトを有する回転ステッパモータを含む。制御システムは、回転ステッパモータの回転シャフトを調節することによって、関連付けられた屈折光学素子をその回転軸の周りで回転させるために、信号を高速アクチュエータに送るように構成される。
【０００６】
実施は、以下のフィーチャの１つ又は複数を含み得る。例えば、高速アクチュエータは、分散光学素子から最も離れた屈折光学素子を回転させるように構成されてもよい。パルス光ビーム経路は、装置のＸＹ面内に位置してもよく、及び回転ステッパモータの回転シャフトは、装置のＺ軸と平行であることによって、関連付けられた屈折光学素子を、装置のＺ軸と平行な、その回転軸の周りで回転させる軸を有していてもよい。
【０００７】
高速作動システムは、関連付けられた屈折光学素子に物理的に結合された二次アクチュエータも含んでいてもよく、二次アクチュエータは、ＸＹ面内に位置し、及び関連付けられた屈折光学素子の斜辺の面内にも位置する軸の周りで、関連付けられた屈折光学素子を回転させるように構成される。
【０００８】
装置は、回転ステッパモータの回転シャフトの位置を検出する位置モニタを含んでいてもよい。制御システムは、位置モニタに接続されてもよく、並びに、回転シャフトの検出位置を受信し、及び受信した検出位置が、許容可能な位置範囲内になければ、回転シャフトを調節するように構成されてもよい。位置モニタは、光学回転エンコーダであってもよい。回転シャフトは、回転軸からずれたオフセット軸の周りで、高速アクチュエータと関連付けられた屈折光学素子を回転させるように構成されてもよい。
【０００９】
シャフト軸は、約３６０°回転することによって、関連付けられた屈折光学素子を約３６０°回転させるように構成されてもよい。
【００１０】
高速アクチュエータに関連付けられた屈折光学素子が、シャフト軸に固定して結合されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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