特許ウォッチ

公開番号2025011019
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2024068415
出願日2024-04-19
発明の名称ウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置
出願人亜亜科技股分有限公司
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250116BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置を提供する。
【解決手段】ウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置はベース、水槽、一つ以上のローラー、一つ以上のローラー駆動装置、二つの昇降式スクレーパー機構および水受けトレーを備える。一つ以上のローラーは水槽内に装着され、一部分が水槽を超えて外部に露出する。二つの昇降式スクレーパー機構は水槽の表の左右両側に位置するようにベースに装着され、それぞれスクレーパー、集水槽および昇降駆動装置を有する。スクレーパーは集水槽の上方に配置される。集水槽は昇降駆動装置に配置される。昇降駆動装置はベースに装着されたうえで集水槽およびスクレーパーを駆動し、昇降させる。水受けトレーは水槽、二つのスクレーパーおよび二つの集水槽の下方に位置するようにベースに配置される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ベース、水槽、一つ以上のローラー、一つ以上のローラー駆動装置、二つの昇降式スクレーパー機構および水受けトレーを備え、
前記水槽は前記ベースに配置され、上向きの開口部および水を収容するための内部を有し、
一つ以上の前記ローラーは長軸の前後方向の両端によって前記水槽に装着され、一部分が前記水槽内に位置し、一部分が前記開口部の上方に露出し、前記水槽を超え、
一つ以上の前記ローラー駆動装置は前記ベースに装着され、かつ一つ以上の前記ローラーに連結されたうえで一つ以上の前記ローラーを駆動し、回転させ、
二つの前記昇降式スクレーパー機構は前記水槽の表の左右両側に位置するように前記ベースに装着され、それぞれスクレーパー、集水槽および昇降駆動装置を有し、前記スクレーパーは前記集水槽の上方に配置され、前記集水槽は前記昇降駆動装置に配置され、前記昇降駆動装置は前記ベースに装着されたうえで前記集水槽および前記スクレーパーを昇降させ、
前記水受けトレーは前記水槽、二つの前記スクレーパーおよび二つの前記集水槽の下方に位置するように前記ベースに配置されることを特徴とするウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
それぞれの前記昇降式スクレーパー機構において、前記集水槽は前記スクレーパーに沿って垂れ落ちた水をキャッチすることを特徴とする請求項１に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
【請求項３】
前記水受けトレーは二つの前記昇降式スクレーパー機構および前記水槽から垂れ落ちた水をキャッチすることを特徴とする請求項１に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
【請求項４】
前記水槽は二つの導水用ひさしを有し、二つの前記導水用ひさしは前記水槽の両側から下へ伸びて形成され、それぞれ末端部が前記昇降式スクレーパー機構の前記集水槽の上方に位置し、
それぞれの前記集水槽は水受け用ひさしを有し、前記水受け用ひさしは前記水槽に向かって前記集水槽から上かつ斜めに伸びて形成され、先端部が前記導水用ひさしの下方に位置することを特徴とする請求項１に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
【請求項５】
それぞれの前記導水用ひさしの長手方向の長さは一つ以上の前記ローラーの長さより大きく、
それぞれの前記集水槽の長手方向の長さは前記導水用ひさしの長手方向の長さより大きいことを特徴とする請求項４に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
【請求項６】
前記ローラーの数は二つであり、二つの前記ローラーは平行であり、
前記ローラー駆動装置の数は二つであり、二つの前記ローラー駆動装置は二つの前記ローラーに連結されたうえで二つの前記ローラーを互いに反対方向に回転させ、それに対し、頂部から見れば二つの前記ローラーは向き合って回転することを特徴とする請求項１に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
【請求項７】
一つ以上の前記ローラーはスポンジから構成されることを特徴とする請求項１に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。
【請求項８】
それぞれの前記昇降式スクレーパー機構において、前記スクレーパーは最高位置と最低位置との間を昇降し、前記最高位置に据えられる時に前記スクレーパーの頂部が前記水槽より高く、前記最低位置に据えられる時に前記スクレーパーの頂部が前記最高位置かつ前記ローラーの頂部より低いことを特徴とする請求項１に記載のウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハー検査後の洗浄技術に関し、詳しくはウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置に関するものである。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ウエハー検査工程において、ブルーフィルムの屈折率に近い液体媒体をウエハー底部のブルーフィルムに使用することによって鮮明な画像効果を生じる。検査が完了した後、ブルーフィルムの上の液体媒体を洗浄する。特許文献１により掲示されたウエハー検査設備の洗浄装置はウエハーをローラーに対して移動させる同時にローラーに水を付け、続いて水が付けてあるローラーでウエハー底部のブルーフィルムを擦って洗浄し、ブルーフィルムの表面の水をスクレーパーで拭き取るものである。
【０００３】
実際にブルーフィルムを洗浄する際、ウエハー底部のブルーフィルムに付いた媒体をきれいに取るために一回だけでなく数回で洗浄しなければならない。それに対し、特許文献１により掲示された技術は単一方向に移動する方式によってローラーに水を付け、水が付けてあるローラーでウエハー底部のブルーフィルムを擦って洗浄し、続いてスクレーパーで水を拭き取ることであるため、ウエハーをローラーに対して移動させるステップが終わった後、ウエハーを上に移動させ、洗浄前の位置に戻さなければ次のステップ即ち洗浄作業が進行できない。またウエハーを次の洗浄前の位置に移動するまでの間に洗浄作業はしないため、全体行程において時間が無駄になるだけでなく、効率がよくない。言い換えれば、特許文献１により掲示された技術は現状のニーズを満足させず、改善の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
台湾特許Ｉ６３０６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置を提供することを主な目的とする。ウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置はウエハーを往復移動させると同時にウエハー底部のブルーフィルムを洗浄することによって洗浄効率を向上させるものであるため、先行技術を上回る。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するため、ウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置はベース、水槽、一つ以上のローラー、一つ以上のローラー駆動装置、二つの昇降式スクレーパー機構および水受けトレーを備える。水槽はベースに配置され、上向きの開口部および水を収容するための内部を有する。一つ以上のローラーは長軸の前後方向の両端によって水槽に装着され、一部分が水槽内に位置し、一部分が開口部の上方に露出し、水槽を超える。一つ以上のローラー駆動装置はベースに装着され、かつ一つ以上のローラーに連結されたうえで一つ以上のローラーを駆動し、回転させる。二つの昇降式スクレーパー機構は水槽の表の左右両側に位置するようにベースに装着され、それぞれスクレーパー、集水槽および昇降駆動装置を有する。スクレーパーは集水槽の上方に配置される。集水槽は昇降駆動装置に配置される。昇降駆動装置はベースに装着されたうえで集水槽およびスクレーパーを昇降させる。水受けトレーは水槽、二つのスクレーパーおよび二つの集水槽の下方に位置するようにベースに配置される。
【０００７】
上述した構造特徴により、本発明はウエハーを往復移動させると同時にウエハー底部のブルーフィルムを洗浄し、洗浄効率を向上させることができるため、先行技術を上回る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の一実施形態によるウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置を示す斜視図である。
本発明の一実施形態によるウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置を前方から見た平面図である。
本発明の一実施形態によるウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置を上から見た平面図である。
本発明の一実施形態によるウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置の作動状態を示す模式図である。
本発明の一実施形態によるウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置の別の作動状態を示す模式図である。
本発明の一実施形態によるウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置の一つ以上ローラーを前方から見た平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の技術特徴を図面に基づいて説明する。
【００１０】
（一実施形態）
図１から図５に示すように、本発明の一実施形態において、ウエハー底部のブルーフィルムを洗浄する装置１０はベース１１、水槽２１、二つのローラー３１、二つのローラー駆動装置４１、二つの昇降式スクレーパー機構５１および水受けトレー６１から構成される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許