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公開番号2025009032
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111742
出願日2023-07-06
発明の名称乾燥装置、製造装置、物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人近島国際特許事務所
主分類H10K 71/13 20230101AFI20250109BHJP()
要約【課題】塗布装置にてインクが塗布された基板に対して乾燥処理をする際に、乾燥処理の効率を低下させない乾燥装置や製造装置が期待されていた。
【解決手段】基板を搬入する搬入口と、搬入された基板を保持して高さを変更することが可能な保持機構と、搬入された基板を乾燥処理する乾燥機構と、乾燥処理された基板を搬出する搬出口と、を備え、前記搬入口と前記搬出口は、高さが異なる位置に設けられている、ことを特徴とする乾燥装置である。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板を搬入する搬入口と、
搬入された基板を保持して高さを変更することが可能な保持機構と、
搬入された基板を乾燥処理する乾燥機構と、
乾燥処理された基板を搬出する搬出口と、を備え、
前記搬入口と前記搬出口は、高さが異なる位置に設けられている、
ことを特徴とする乾燥装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記乾燥機構は減圧機構を備え、
前記搬入口および前記搬出口は、開閉可能な扉を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記搬入口と前記搬出口は、前記乾燥装置の異なる側面に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項４】
平面視において、前記搬入口に基板を搬入する際の第１搬送方向と、前記搬出口から基板を搬出する際の第２搬送方向は、互いに交差する方向である、
ことを特徴とする請求項３に記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記搬入口と前記搬出口は、前記乾燥装置の１つの側面に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項６】
平面視において、前記搬入口に基板を搬入する際の第１搬送方向と、前記搬出口から基板を搬出する際の第２搬送方向は、互いに１８０度異なる方向である、
ことを特徴とする請求項５に記載の乾燥装置。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の乾燥装置と、
基板にインクを塗布する塗布装置と、
基板を移動させる搬送システムと、
を備え、
前記搬送システムは、前記塗布装置から前記乾燥装置への基板の搬入を行う搬送機構と、前記乾燥装置から基板の搬出を行う搬送ロボットと、を備える、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項８】
前記乾燥装置は、複数の基板を保持することが可能であり、
前記搬送システムは、前記塗布装置から前記乾燥装置への基板の搬入と、前記乾燥装置からの基板の搬出を、同時に行うことが可能に構成されている、
ことを特徴とする請求項７に記載の製造装置。
【請求項９】
平面視において、前記搬入口に基板を搬入する際の第１搬送方向、前記搬出口から基板を搬出する際の第２搬送方向、および前記塗布装置に基板を搬入する第３搬送方向、は互いに交差する方向である、
ことを特徴とする請求項７に記載の製造装置。
【請求項１０】
さらに、焼成装置、冷却室、洗浄室、除湿装置、搬入用ロードロック室、搬出用ロードロック室、基板位置調整装置の少なくとも１つを備える、
ことを特徴とする請求項７に記載の製造装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば表示装置に用いる基板を製造する際に用いられる乾燥装置、基板に液体の塗布処理と乾燥処理を実施する製造装置、等に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式により基板に材料を塗布して、例えば有機ＥＬ表示装置を製造する物品の製造方法が知られている。そのための製造システムとして、基板にインクを塗布する塗布装置と、インクが塗布された基板を乾燥する乾燥装置と、基板を搬送する搬送装置と、を有する製造システムが知られている。
【０００３】
特開２００３－１４２２６０号公報には、ロボットアームを備えた搬送装置の周囲を取り囲むように、インクジェット装置や乾燥炉が配置された製造システムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－１４２２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特開２００３－１４２２６０号公報に記載された製造システムでは、乾燥装置について具体的な検討がなされていないため、乾燥装置への基板の搬入と搬出を効率的に行うことができず、乾燥処理の効率が低下する問題があった。
【０００６】
また、特開２００３－１４２２６０号公報に記載された製造システムでは、搬送装置の周囲に複数の塗布装置と乾燥装置を配置することでスループットの向上を試みている。しかしながら、塗布装置や乾燥装置の間で基板を移動させる作業が単一の搬送装置により行われるため、搬送装置がある基板を移動させている間は、他の基板を待機させておく必要が生じる場合があり、無駄な待機時間が生じてしまう。また、待機時間が発生すると、例えば塗布装置から乾燥装置に基板を搬入するまでに要する時間が、基板毎に異なってしまう場合がある。すると、乾燥装置に搬入された時点における基板の状態がばらつくため、乾燥装置による乾燥処理の条件を制御するのが困難になる。
【０００７】
そこで、塗布装置にてインクが塗布された基板に対して乾燥処理をする際に、乾燥処理の効率を低下させない乾燥装置や製造装置が期待されていた。あるいは、塗布装置から乾燥装置への搬送時間を短縮し、かつ搬送時間のばらつきを低減することが可能な製造装置が期待されていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の１つの態様は、基板を搬入する搬入口と、搬入された基板を保持して高さを変更することが可能な保持機構と、搬入された基板を乾燥処理する乾燥機構と、乾燥処理された基板を搬出する搬出口と、を備え、前記搬入口と前記搬出口は、高さが異なる位置に設けられている、ことを特徴とする乾燥装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の１つの態様によれば、塗布装置にてインクが塗布された基板に対して乾燥処理をする際に、乾燥処理の効率を低下させない乾燥装置または製造装置を提供することができる。あるいは、本発明の１つの態様によれば、塗布装置から乾燥装置への搬送時間を短縮し、かつ搬送時間のばらつきを低減することが可能な製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態１に係る製造装置を模式的に示した平面図。
搬送ロボットと搬入用ロードロック室の部分を抽出した模式図。
搬送ロボットの動作の一例を示す図。
（ａ）実施形態１に係る第１乾燥装置を搬入機構の側から見た模式的な側面透視図。（ｂ）実施形態１に係る第１乾燥装置に基板を出し入れする方向を説明するための模式的な斜視図。
基板を第１乾燥装置に搬入する搬入機構を示す模式図。
各工程における基板の搬送方向を示すための模式的な平面図。
実施形態に係る製造装置を用いて基板を処理する手順を示すフローチャート。
複数の基板を処理する手順について説明するためのタイムチャート。
実施形態１の変形例に係る製造装置を模式的に示した平面図。
（ａ）実施形態２に係る乾燥装置を搬送ロボットの側から見た模式的な側面透視図。（ｂ）実施形態２に係る乾燥装置に基板を出し入れする方向を説明するための模式的な斜視図。
実施形態２に係る製造装置を模式的に示した平面図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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