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公開番号2024178030
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-24
出願番号2023096518
出願日2023-06-12
発明の名称システム、機械装置、工作機械、設備、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人近島国際特許事務所
主分類F15B 11/06 20060101AFI20241217BHJP(流体圧アクチュエータ;水力学または空気力学一般)
要約【課題】消費される気体の流量を低減する。
【解決手段】気体供給源10から供給される圧縮気体を圧力室40に導くシステム100は、前記圧力室の圧力を調整可能な第1圧力調整装置11と、前記圧力室の圧力を調整可能な第2圧力調整装置12と、前記圧力室の圧力を、前記第1圧力調整装置及び前記第2圧力調整装置の少なくともいずれかに調整させる制御装置30と、を備える。前記第2圧力調整装置が前記圧力室の圧力を調整する際に前記気体供給源から供給される気体の流量は、前記第1圧力調整装置が前記圧力室の圧力を調整する際に前記気体供給源から供給される気体の流量よりも小さい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
気体供給源から供給される圧縮気体を圧力室に導くシステムであって、
前記圧力室の圧力を調整可能な第１圧力調整装置と、
前記圧力室の圧力を調整可能な第２圧力調整装置と、
前記圧力室の圧力を、前記第１圧力調整装置及び前記第２圧力調整装置の少なくともいずれかに調整させる制御装置と、を備え、
前記第２圧力調整装置が前記圧力室の圧力を調整する際に前記気体供給源から供給される気体の流量は、前記第１圧力調整装置が前記圧力室の圧力を調整する際に前記気体供給源から供給される気体の流量よりも小さい、
ことを特徴とするシステム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第１圧力調整装置は、前記第２圧力調整装置に比べ、前記圧力室の圧力を目標圧力に調整する際の前記目標圧力に対する前記圧力室の圧力のばらつきが小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記第１圧力調整装置は、前記圧力室の圧力を調整する際に排気を伴う、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記第２圧力調整装置は、前記圧力室の圧力を調整する際に排気しない、又は前記第１圧力調整装置よりも前記圧力室の圧力を調整する際の排気量が小さい、
ことを特徴とする請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記第１圧力調整装置は、空気圧サーボ弁を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記空気圧サーボ弁は、ノズルフラッパ型の空気圧サーボ弁である、
ことを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記第２圧力調整装置は、減圧弁を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記第１圧力調整装置は、前記気体供給源から前記圧力室までの気体流路に配置された第１弁を含み、
前記第２圧力調整装置は、前記気体流路において前記第１弁と並列に配置された第２弁を含み、
前記制御装置は、前記気体流路において前記第１弁及び前記第２弁の下流に配置され、前記第１弁の気体出力側及び前記第２弁の気体出力側を、前記圧力室に選択的に連通させる切替弁を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記第１圧力調整装置は、前記気体供給源から前記圧力室までの気体流路に配置された第１弁を含み、
前記第２圧力調整装置は、前記気体流路において前記第１弁の上流に配置された第２弁を含み、
前記制御装置は、前記第１弁及び前記第２弁の下流に配置され、前記第１弁の気体出力側及び前記第２弁の気体出力側を、前記圧力室に選択的に連通させる切替弁を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１圧力調整装置は、前記気体供給源から前記圧力室までの気体流路に配置された第１弁を含み、
前記第２圧力調整装置は、前記気体流路において前記第１弁に直列に配置された第２弁を含み、
前記制御装置は、前記第１弁及び前記第２弁を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、システム、機械装置、工作機械、設備、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、工作機械が開示されている。特許文献１に開示された工作機械は、主軸ヘッドと、主軸ヘッドを昇降させる電動式の駆動機構と、主軸ヘッドの重量を補償するバランスシリンダと、を有する。特許文献１には、バランスシリンダの圧力室の圧力制御に空気圧サーボ弁を利用することが開示されている。特許文献１に開示された空気圧サーボ弁は、ノズルフラッパ型の空気圧サーボ弁である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－３０１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
空気圧サーボ弁のような圧力室の圧力を調整する圧力調整装置においては、圧力室の圧力を高精度に調整できる反面、消費される気体の流量が大きい。
【０００５】
本開示は、消費される気体の流量を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様は、気体供給源から供給される圧縮気体を圧力室に導くシステムであって、前記圧力室の圧力を調整可能な第１圧力調整装置と、前記圧力室の圧力を調整可能な第２圧力調整装置と、前記圧力室の圧力を、前記第１圧力調整装置及び前記第２圧力調整装置の少なくともいずれかに調整させる制御装置と、を備え、前記第２圧力調整装置が前記圧力室の圧力を調整する際に前記気体供給源から供給される気体の流量は、前記第１圧力調整装置が前記圧力室の圧力を調整する際に前記気体供給源から供給される気体の流量よりも小さい、ことを特徴とするシステムである。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、消費される気体の流量を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る設備のブロック図である。
第２実施形態に係る設備のブロック図である。
（ａ）は第２実施形態に係る空気圧サーボ弁の断面図である。（ｂ）は第２実施形態に係る空気圧サーボ弁の圧力特性図である。
第２実施形態に係る減圧弁の断面図である。
第３実施形態に係る設備のブロック図である。
第４実施形態に係る設備のブロック図である。
第５実施形態に係る設備のブロック図である。
第６実施形態に係る工作機械の概略構成図である。
第６実施形態に係る工作機械の概略構成図である。
第６実施形態に係るバランスシリンダ及びその近傍の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示の例示的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の実施形態は、本開示の好ましい構成を例示的に示すものであり、例えば細部の構成については本開示の趣旨を逸脱しない範囲において当業者が適宜変更して実施をすることができる。また、以下の実施形態の説明において参照する図面では、特に但し書きがない限り、同一の参照番号を付して示す要素は、同様の機能を有するものとする。
【００１０】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る設備２００のブロック図である。設備２００は、工場等に設置される。設備２００は、システム１００と、気体供給源１０と、を備える。気体供給源１０は、圧縮気体をシステム１００に供給する。気体は、例えば窒素ガス、酸素ガス又は空気などである。
（【００１１】以降は省略されています）

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