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公開番号2024166764
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-29
出願番号2023083091
出願日2023-05-19
発明の名称制御装置、半導体製造システム、半導体製造装置の制御方法及びコンピュータ記憶媒体
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20241122BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】操作端末に対する作業者の操作に基づいて半導体製造装置を制御する場合の安全性を向上させる制御装置、その制御方法及び記憶媒体及び半導体製造システムを提供する。
【解決手段】半導体製造システム500において、複数のモジュールを有する半導体製造装置を制御する制御装置301は、端末接続口120に接続された操作端末201を検知するための検知部を複数有する。検知部は、端末接続口が兼ねるか又は端末接続口の周囲に設けられる。制御装置は、モジュール制限情報を記憶する。モジュール制限情報は、検知部に対応する制御可能なモジュールを、検知部単位で示し、いずれかの端末接続口に操作端末が接続され、対応する検知部を介して操作端末を検知した場合、モジュール制限情報に基づいて、操作画面に関する画面情報を、接続された操作端末に送信する。画面情報は、検知に用いられた検知部に対応する制御可能なモジュールを示す情報を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数のモジュールを有する半導体製造装置を制御する制御装置であって、
前記半導体製造装置の操作画面を表示した操作端末に対するユーザからの操作に基づいて前記半導体製造装置を制御する装置であり、
前記半導体製造装置は、
前記操作端末が接続される端末接続口を複数有し、
前記端末接続口に接続された前記操作端末を検知するための検知部を複数有し、
前記検知部は、前記端末接続口が兼ね、または、前記端末接続口の周囲に設けられ、
当該制御装置は、モジュール制限情報を記憶し、
前記モジュール制限情報は、前記検知部に対応する制御可能なモジュールを、前記検知部単位で示し、
いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続され、対応する前記検知部を介して前記操作端末が検知された場合、
前記モジュール制限情報に基づいて、前記操作画面に関する画面情報を、接続された操作端末に送信し、
前記画面情報は、検知に用いられた前記検知部に対応する前記制御可能なモジュールを示す情報を含む、制御装置。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
前記検知部は、前記端末接続口が兼ね、
前記モジュール制限情報は、前記端末接続口に対応する制御可能なモジュールが、前記端末接続口単位で記録され、
いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続された場合、
前記モジュール制限情報に基づいて、前記操作端末が接続された前記端末接続口に対応する前記制御可能なモジュールを示す情報を含む前記画面情報を、前記接続された操作端末に送信する、請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記端末接続口に接続された前記操作端末と中継装置を介して接続され、
前記中継装置は、前記端末接続口と接続される中継接続口を複数有し、
前記モジュール制限情報は、前記中継接続口に対応する制御可能なモジュールを、前記中継接続口毎に示し、
いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続された場合、前記モジュール制限情報に基づいて、前記操作端末が前記端末接続口を介して接続された前記中継接続口に対応する前記制御可能なモジュールを示す情報を含む前記画面情報を、前記中継装置を介して、前記接続された操作端末に送信する、請求項２に記載の制御装置。
【請求項４】
項目制限情報を記憶し、
前記項目制限情報は、前記モジュールの制御項目のうち、前記ユーザの権限に対応する制御可能な項目を、前記ユーザの権限毎に示し、
いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続され、対応する前記検知部を介して前記操作端末が検知された場合、前記接続された操作端末を使用している前記ユーザの権限の情報の取得結果と前記項目制限情報とに基づいて、当該ユーザの権限に対応する前記制御可能な項目を示す情報を含む前記画面情報を、前記接続された操作端末に送信する、請求項１～３のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項５】
前記複数の前記中継接続口は、専用中継接続口を含み、
当該制御装置は、特定項目情報を記憶し、
前記特定項目情報は、前記専用中継接続口について、前記半導体製造装置の制御項目のうち、前記端末接続口を介して当該専用中継接続口に接続された前記操作端末を用いてのみ制御可能な項目である特定項目を示し、
前記端末接続口を介して前記専用中継接続口に前記操作端末が接続された場合、前記特定項目情報に基づいて、前記特定項目を示す別の画面情報を、前記中継装置を介して、前記専用中継接続口に接続された前記操作端末に送信する、請求項３に記載の制御装置。
【請求項６】
複数の前記操作端末が前記端末接続口に接続されている場合、前記モジュール制限情報に基づいて、前記画面情報を、後から接続された前記操作端末に送信する際、前記画面情報に含まれる前記制御可能なモジュールの情報から、先に接続された前記操作端末を介して制御されている前記モジュールを除外する、請求項１または２に記載の制御装置。
【請求項７】
複数の前記操作端末が前記端末接続口に接続されている場合、先に接続された前記操作端末を介して制御されている前記モジュールに関する、後から接続された前記操作端末に対する操作を無効にする、請求項１または２に記載の制御装置。
【請求項８】
請求項１～３のいずれか１項に記載の制御装置と、
前記半導体製造装置と、を備える、半導体製造システム。
【請求項９】
前記操作端末をさらに備え、
いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続され、対応する前記検知部を介して前記操作端末が検知された場合、前記接続された操作端末が、前記画面情報に基づいて、前記操作画面を表示する、請求項８に記載の半導体製造システム。
【請求項１０】
複数のモジュールを有する半導体製造装置の操作画面を表示した操作端末に対するユーザからの操作に基づいて制御装置により前記半導体製造装置を制御する制御方法であって、
前記半導体製造装置は、
前記操作端末が接続される端末接続口を複数有し、
前記端末接続口に接続された前記操作端末を検知するための検知部を複数有し、
前記検知部は、前記端末接続口が兼ね、または、前記端末接続口の周囲に設けられ、
いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続され、対応する前記検知部を介して前記操作端末が検知された場合、
前記制御装置が、前記検知部に対応する制御可能なモジュールを前記検知部単位で示すモジュール制限情報に基づいて、前記操作画面に関する画面情報を、接続された操作端末に送信する工程と、
前記接続された操作端末が、前記画面情報に基づいて、前記操作画面を表示する工程と、を行い、
前記画面情報は、検知に用いられた前記検知部に対応する前記制御可能なモジュールを示す情報を含む、制御方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、制御装置、半導体製造システム、半導体製造装置の制御方法及びコンピュータ記憶媒体に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、半導体製造装置の装置画面を表示するローカル操作端末と、半導体製造装置とネットワークを介して接続されており、装置画面を表示する１台以上のリモート操作端末と、装置画面を表示するローカル操作端末及びリモート操作端末がユーザから受け付けた操作に基づいて半導体製造装置を制御する制御装置と、を有する半導体製造システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－４１２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示にかかる技術は、操作端末に対する作業者の操作に基づいて半導体製造装置を制御する場合の安全性を向上させる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様は、複数のモジュールを有する半導体製造装置を制御する制御装置であって、前記半導体製造装置の操作画面を表示した操作端末に対するユーザからの操作に基づいて前記半導体製造装置を制御する装置であり、前記半導体製造装置は、前記操作端末が接続される端末接続口を複数有し、前記端末接続口に接続された前記操作端末を検知するための検知部を複数有し、前記検知部は、前記端末接続口が兼ね、または、前記端末接続口の周囲に設けられ、当該制御装置は、モジュール制限情報を記憶し、前記モジュール制限情報は、前記検知部に対応する制御可能なモジュールを、前記検知部単位で示し、いずれかの前記端末接続口に前記操作端末が接続され、対応する前記検知部を介して前記操作端末が検知された場合、前記モジュール制限情報に基づいて、前記操作画面に関する画面情報を、接続された操作端末に送信し、前記画面情報は、検知に用いられた前記検知部に対応する前記制御可能なモジュールを示す情報を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、操作端末に対する作業者の操作に基づいて半導体製造装置を制御する場合の安全性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本実施形態にかかる半導体製造システムの構成の概略を示す説明図である。
図１の半導体製造システムが備える半導体製造装置としての塗布現像処理装置の正面側の構成の概略を示す説明図である。
図１の半導体製造システムが備える半導体製造装置としての塗布現像処理装置の背面側の構成の概略を示す説明図である。
操作端末の制御部の機能ブロック図である。
制御装置の制御部の機能ブロック図である。
モジュール制限情報の一例を示す図である。
項目制限情報の一例を示す図である。
特定項目情報の一例を示す図である。
操作端末の表示部に操作画面が表示される際のフローの一例を説明するためのフローチャートである。
操作画面の一例を示す図である。
操作端末の表示部に操作画面が表示される際のフローの他の例を説明するためのフローチャートである。
操作画面の一例を示す図である。
半導体製造装置としての洗浄装置の内部構成の概略を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
半導体製造装置が備える各種モジュールのメンテナンス等を、タブレット端末等の操作端末を介して行うことがある。例えば、半導体製造装置の操作画面を表示した操作端末に対する作業者の操作に基づいて、制御装置が半導体製造装置のモジュールを制御することがある。
【０００９】
しかし、この方法は、安全性の点で改善の余地がある。具体的には、例えば、半導体製造装置の正面側にいる作業者は、半導体製造装置の背面側にいる作業者に気づけないことがある。そのため、半導体製造装置の正面側にいる作業者が、半導体製造装置の背面側のモジュールが動作するよう、操作端末を操作する場合がある。背面側のモジュールが予期せず動作すると、当該モジュールの構成部材や当該モジュールが用いる液体が、背面側にいた作業者に接触してしまうおそれ等がある。
【００１０】
そこで、本開示にかかる技術は、操作端末に対する作業者の操作に基づいて半導体製造装置を制御する場合の安全性を向上させる。
（【００１１】以降は省略されています）

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