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公開番号2024160303
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-13
出願番号2024130560,2023049344
出願日2024-08-07,2023-03-27
発明の名称切断システム、設定方法、及び、切断品の製造方法
出願人TOWA株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20241106BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】適切な切断条件を効率的に導出可能な切断システム、設定方法、及び、切断品の製造方法を提供する。
【解決手段】切断システムは、切断機構と、制御部とを備える。切断機構は、切断対象物を切断する。制御部は、切断条件に従って切断対象物を切断することによって切断品を製造するように切断機構を制御する。切断条件は、複数の因子を含む。制御部は、制御部は、切断条件に含まれる因子毎に複数の水準を取得し、各々が因子毎に1つずつ選択された水準の組合せである複数の組合せを、実験計画法に従って生成し、複数の組合せの各々に従って切断対象物を切断することによって、水準の組合せ毎に切断品を製造するように切断機構を制御し、水準の組合せ毎に製造された各切断品の評価値に基づいて、本生産用の水準又は本生産用の水準候補として設定する水準を因子毎に決定する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
切断対象物を切断する切断機構と、
切断条件に従って前記切断対象物を切断することによって切断品を製造するように前記切断機構を制御する制御部とを備え、
前記切断条件は、複数の因子を含み、
前記制御部は、
前記切断条件に含まれる因子毎に複数の水準を取得し、
各々が前記因子毎に１つずつ選択された水準の組合せである複数の組合せを、実験計画法に従って生成し、
前記複数の組合せの各々に従って前記切断対象物を切断することによって、水準の組合せ毎に前記切断品を製造するように前記切断機構を制御し、
前記水準の組合せ毎に製造された各切断品の評価値に基づいて、本生産用の水準又は本生産用の水準候補として設定する水準を前記因子毎に決定する、切断システム。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記複数の組合せによって直交表が構成される、請求項１に記載の切断システム。
【請求項３】
前記切断機構は、
回転することによって前記切断対象物を切断するブレードを取り付け可能であり、前記切断対象物の切断時における前記ブレードの高さ方向の位置を調整可能なスピンドル部と、
前記切断対象物が配置される切断テーブルと、
前記切断対象物の切断時に前記ブレードに対して前記切断テーブルを相対的に移動させる移動機構とを含み、
前記複数の因子は、前記ブレードの回転速度、前記ブレードに対する前記切断テーブルの相対的な移動速度、及び、前記ブレードの高さ方向の位置のうちの少なくとも１つを含む、請求項１又は請求項２に記載の切断システム。
【請求項４】
前記制御部は、前記複数の因子の各々において、前記評価値に関する値が、目標値に最も近い値、最大値又は最小値になる水準を前記本生産用の水準又は前記本生産用の水準候補として設定する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の切断システム。
【請求項５】
前記制御部は、
前記因子毎に前記複数の水準の各々における前記評価値の平均値を算出し、
前記複数の因子の各々において、前記平均値が、目標値に最も近い値、最大値又は最小値になる水準を前記本生産用の水準又は前記本生産用の水準候補として設定する、請求項４に記載の切断システム。
【請求項６】
前記制御部は、前記本生産用の水準候補として設定された各水準の組合せに従って前記切断対象物を切断することによって前記切断品を製造するように前記切断機構を制御する、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の切断システム。
【請求項７】
前記複数の因子、及び、前記因子毎の複数の水準の各々に関する入力画面を表示する表示部と、
前記複数の因子、及び、前記因子毎の複数の水準の各々に関する入力を受け付ける受付部とをさらに備え、
前記制御部は、前記受付部を介して、前記複数の因子、及び、前記因子毎の複数の水準を取得する、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の切断システム。
【請求項８】
前記制御部は、前記複数の組合せに含まれる組合せの数に関する１又は複数の選択肢、及び、前記複数の組合せによって構成される直交表の種類に関する１又は複数の選択肢の少なくとも一方を含む選択肢群を表示するように前記表示部を制御し、
前記受付部は、前記選択肢群のうちの１つの選択肢の選択を受け付ける、請求項７に記載の切断システム。
【請求項９】
前記制御部は、前記受付部を介して取得された前記複数の因子に含まれる因子の数、及び、前記受付部を介して取得された前記因子毎の複数の水準に含まれる水準の数に応じて前記選択肢群に含める選択肢を変更する、請求項８に記載の切断システム。
【請求項１０】
前記制御部は、前記受付部を介して取得された前記複数の因子に含まれる因子の数、及び、前記受付部を介して取得された前記因子毎の複数の水準に含まれる水準の数との関係で生成不可能な種類の直交表に関する選択肢を前記選択肢群から外す、請求項９に記載の切断システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断システム、設定方法、及び、切断品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２００７－１２５６６７号公報（特許文献１）は、基板の切断装置を開示する。この切断装置は、基板を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された基板を切断する切削ブレードとを含んでいる。この切断装置においては、切削ブレードが回転している状態でチャックテーブルが移動することによって基板が切断される（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１２５６６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
切断対象物（例えば、基板）を切断することによって切断品を製造する切断装置において、新しい種類の切断品の製造が行なわれる場合に、例えば、切断対象物の切断条件（切削ブレードの回転速度、チャックテーブルの移動速度等）の変更が必要になり得る。このような場合に、変更後の適切な切断条件が効率的に導出されることが好ましい。しかしながら、上記特許文献１においては、このような課題の解決手段が開示されていない。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであって、その目的は、適切な切断条件を効率的に導出可能な切断システム、設定方法、及び、切断品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある局面に従う切断システムは、切断機構と、制御部とを備える。切断機構は、切断対象物を切断する。制御部は、切断条件に従って切断対象物を切断することによって切断品を製造するように切断機構を制御する。切断条件は、複数の因子を含む。制御部は、切断条件に含まれる因子毎に複数の水準を取得し、各々が因子毎に１つずつ選択された水準の組合せである複数の組合せを、実験計画法に従って生成し、複数の組合せの各々に従って切断対象物を切断することによって、水準の組合せ毎に切断品を製造するように切断機構を制御し、水準の組合せ毎に製造された各切断品の評価値に基づいて、本生産用の水準又は本生産用の水準候補として設定する水準を因子毎に決定する。
【０００７】
また、本発明の他の局面に従う設定方法は、切断対象物を切断機構によって切断することにより切断品を製造する場合における切断条件をコンピュータが設定する設定方法である。切断条件は、複数の因子を含む。コンピュータは、切断条件に含まれる因子毎に複数の水準を取得するステップと、各々が因子毎に１つずつ選択された水準の組合せである複数の組合せを、実験計画法に従って生成するステップと、複数の組合せの各々に従って切断対象物を切断することによって、水準の組合せ毎に切断品を製造するように切断機構を制御するステップと、水準の組合せ毎に製造された各切断品の評価値に基づいて、本生産用の水準又は本生産用の水準候補として設定する水準を因子毎に決定するステップとを実行する。
【０００８】
また、本発明の他の局面に従う切断品の製造方法は、上記切断システムを用いた切断品の製造方法であって、本生産用の水準として設定する水準を因子毎に決定するステップと、本生産用の水準として設定された各水準の組合せに従って切断対象物を切断することによって切断品を製造するステップとを含む。
【０００９】
また、本発明の他の局面に従う切断品の製造方法は、上記設定方法に従ってコンピュータが切断条件を設定するステップと、設定された切断条件に従って切断対象物を切断することによって切断品を製造するステップとを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、適切な切断条件を効率的に導出可能な切断システム、設定方法、及び、切断品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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