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公開番号2024147742
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-16
出願番号2024115152,2020511360
出願日2024-07-18,2019-07-19
発明の名称ポリイミド樹脂およびこれを含むネガティブ型感光性樹脂組成物
出願人エルジー・ケム・リミテッド
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類C08G 73/10 20060101AFI20241008BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】溶解度に優れ、現像時に膨潤のないネガティブ型閉環のポリイミド樹脂、およびこれを含むネガティブ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記化学式11の構造を含む、ポリイミド樹脂。
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Xは、4価有機基であり、Yは、2価から6価有機基であり、R₃からR₆は、互いに同一または異なり、それぞれ独立に水素;または光重合性不飽和基を含むC1-C10の有機基であり、m₁、m₂、k₁およびk₂はそれぞれ0または1であり、0≦m₁+m₂+k₁+k₂≦2であり、R₁は、-S-、-O-、-CO₂-または-SO₂-であり、前記化学式11の*は、ポリイミド樹脂の主鎖または末端基に連結される部位であり、nは、1以上の整数である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
下記化学式１１の構造を含む、ポリイミド樹脂。
［化学式１１］
JPEG
2024147742000016.jpg
34
139
前記化学式１１において、
Ｘは、４価有機基であり、
Ｙは、２価から６価有機基であり、
Ｒ
３
からＲ
６
は、互いに同一または異なり、それぞれ独立に水素；または光重合性不飽和基を含むＣ１－Ｃ１０の有機基であり、ｍ
１
、ｍ
２
、ｋ
１
およびｋ
２
はそれぞれ０または１であり、０≦ｍ
１
＋ｍ
２
＋ｋ
１
＋ｋ
２
≦２であり、
Ｒ
１
は、－Ｓ－、－Ｏ－、－ＣＯ
２
－または－ＳＯ
２
－であり、
Ｒ
２
は、下記化学式２で表され、
［化学式２］
JPEG
2024147742000017.jpg
55
135
前記化学式２において、
Ｒ
７
は、水素；または炭素数１から４のアルキル基であり、ｐは、１から１０の整数であり、
前記化学式１１の＊は、ポリイミド樹脂の主鎖または末端基に連結される部位であり、化学式２の＊は、Ｒ
１
に連結される部位であり、ｎは、１以上の整数である。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
Ｒ
１
は、－Ｓ－、－Ｏ－または－ＣＯ
２
－である、請求項１に記載のポリイミド樹脂。
【請求項３】
前記ポリイミド樹脂は、重量平均分子量が１，０００から５００，０００である、請求項１又は２に記載のポリイミド樹脂。
【請求項４】
請求項１から３のうちいずれか一項に記載のポリイミド樹脂；光硬化型多官能アクリル化合物；および光重合開始剤を含む、ネガティブ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
有機溶媒をさらに含む、請求項４に記載のネガティブ型感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記ポリイミド樹脂１００重量部に対して、前記光硬化型多官能アクリル化合物は、１０から５０重量部、前記光重合開始剤は、０．１から１０重量部で含まれる、請求項４または５に記載のネガティブ型感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項４から６のいずれか一項に記載のネガティブ型感光性樹脂組成物から形成された有機絶縁膜または感光性パターンを含む、電子素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１８年０７月２０日付の韓国特許庁に出願された韓国特許出願第１０－２０１８－００８５００３号の出願日の利益を主張し、その内容の全ては、本明細書に組み込まれる。
続きを表示（約 2,000 文字）【０００２】
本発明は、感光性樹脂組成物に関し、より詳細には、溶解度に優れ、現像時に膨潤のないネガティブ型閉環のポリイミド樹脂およびこれを含むネガティブ型感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００３】
感光性樹脂は、各種の精密電子・情報産業製品の生産に実用化した代表的な機能性高分子材料であって、現在の先端技術産業、特に、半導体およびディスプレイの生産において重要に用いられている。一般に感光性樹脂は、光照射によって短時間内で分子構造の化学的変化が生じ、特定の溶媒に対する溶解度、着色、硬化などの物性の変化が生じる高分子化合物を意味する。感光性樹脂を用いれば、微細精密加工が可能であり、熱反応工程に比べて、エネルギーおよび原料を大きく節減することができ、小さい設置空間で迅速かつ正確に作業を行うことができ、先端の印刷分野、半導体の生産、ディスプレイの生産、光硬化表面コーティング材料などの各種の精密電子・情報産業分野において多様に使用されている。
【０００４】
このような感光性樹脂は、大きくネガティブ型およびポジティブ型に分けられるが、ネガティブ型の感光性樹脂は、光照射された部分が現像液に不溶化する型であり、ポジティブ型の感光性樹脂は、光照射された部分が現像液に可溶化する型である。
【０００５】
ネガティブ型感光性樹脂に使用されるポリマーは、選択的な露光の後、露光された部分は、現像液に対して溶解度が高くなければならないし、非露光された部分は、現像液に対して溶解度が小さいか、または、あってはならないという要件が要求される。このような要件は、精密電子・情報産業分野において、極めて微細なパターン形成が可能になるように、より一層多く要求される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、ネガティブ型感光性組成物を用いて、パターン形成時に、現像過程で膨潤現象がなく、溶解度に優れた閉環構造のポリイミドおよびこれを含むネガティブ型感光性樹脂組成物を提供しようとする。
【０００７】
また、本発明は、前記ネガティブ型感光性樹脂組成物から形成された有機絶縁膜または感光性パターンを含む電子素子を提供するためのものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施態様は、下記化学式１の構造を含むポリイミド樹脂を提供する。
［化学式１］
JPEG
2024147742000002.jpg
36
141
前記化学式１において、
Ｘは、４価有機基であり、
Ｙは、２価から６価有機基であり、
Ｒ
３
からＲ
６
は、互いに同一または異なり、それぞれ独立に水素；または光重合性不飽和基を含むＣ１－Ｃ１０の有機基であり、ｍ
１
、ｍ
２
、ｋ
１
およびｋ
２
はそれぞれ０または１であり、０≦ｍ
１
＋ｍ
２
＋ｋ
１
＋ｋ
２
≦２であり、
Ｌ
１
は、２価有機基であって、芳香族基、脂肪族基または芳香族基と脂肪族基との組み合わせであり、少なくとも一つの炭素が、Ｃ（＝Ｏ）、ＳＯ
２
、ＮＲ、ＳまたはＯに代替することができ、Ｒは、アリール基またはアルキル基であり、Ｌ
１
は、ハロゲン基、水酸基、カルボキシル基、チオール基、スルホン酸基またはアルキル基に置換することができ、
Ｒ
１
は、－Ｓ－、－Ｏ－、－ＣＯ
２
－または－ＳＯ
２
－であり、
Ｒ
２
は、下記化学式２で表される。
［化学式２］
JPEG
2024147742000003.jpg
55
135
前記化学式２において、
Ｒ
７
は、水素；または炭素数１から４のアルキル基であり、ｐは、１から１０の整数であり、
前記化学式１の＊は、ポリイミド樹脂の主鎖または末端基に連結される部位であり、化学式２の＊は、Ｒ
１
に連結される部位であり、ｎは、１以上の整数である。
【０００９】
本発明のまた一つの実施態様は、前記ポリイミド樹脂；光硬化型多官能アクリル化合物；および光重合開始剤を含むネガティブ型感光性樹脂組成物を提供する。
【００１０】
また、本発明のまた一つの実施態様は、前記ネガティブ型感光性樹脂組成物から形成された有機絶縁膜または感光性パターンを含む電子素子を提供する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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