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公開番号2024134769
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023045123
出願日2023-03-22
発明の名称配管材
出願人東ソー株式会社
代理人
主分類C08F 10/02 20060101AFI20240927BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】
本発明は半導体装置産業分野、精密工業部品分野及び医薬品等に使用される高純度薬品又は超純水の輸送ラインを構成する配管、継手、バルブ等の配管材を提供する。
【解決手段】下記(1)～(3)の要件を満たすポリエチレン樹脂からなることを特徴とする配管材。
(1)ポリエチレン樹脂をブロー成形することで得られた内容積800mL容器に、クリーンルーム内で600mLの超純水を充填し、蓋をして設定温度40℃にて35日間保管後、溶出する0.1μm以上の微粒子数が25個/mL以下
(2)ゲルパーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)を用いて得られる分子量分布曲線において、分子量1,000以下の成分が0.50重量%以下
(3)含有金属量が20ppm以下
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
下記（１）～（３）の要件を満たすポリエチレン樹脂からなることを特徴とする配管材。
（１）ポリエチレン樹脂をブロー成形することで得られた内容積８００ｍＬ容器に、クリーンルーム内で６００ｍＬの超純水を充填し、蓋をして設定温度４０℃にて３５日間保管後、溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が２５個／ｍＬ以下
（２）ゲルパーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１，０００以下の成分が０．５０重量％以下
（３）含有金属量が２０ｐｐｍ以下

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置産業分野、精密工業部品分野及び医薬品等に使用される高純度薬品又は超純水の輸送ラインを構成する配管、継手、バルブ等の配管材に関するものである。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、電子工業分野の著しい発達に伴って、高純度薬品又は超純水の需要が高まっている。高純度薬品は、例えば、大規模化、集積化されたＬＳＩ等の電子回路の製造に不可欠の薬品として使用されている。高純度薬品として具体的には、ウエハー洗浄・エッチング用、配線・絶縁膜エッチング用、治具洗浄用、現像液、レジスト希釈液、レジスト剥離液、乾燥用等の用途として、硫酸、塩酸、硝酸、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、過酸化水素水、イソプロピルアルコール、キシレン、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、メタノール、酢酸、リン酸、アンモニア水、ＰＧＭＥＡ（酢酸プロピレングリコールメチルエーテル）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）等が用いられている。また、半導体装置又は液晶表示装置等の精密デバイスの製造において、洗浄等の湿式工程においても極めて高純度に精製された超純水が用いられている。高純度薬品又は超純水に含まれる有機不純物及び金属不純物などの微粒子は半導体デバイスの歩留まり低下、及び欠陥の原因となることから、近年、該微粒子の低減への要求は益々厳しくなっている。該高純度薬品又は超純水への不純物の混入は、該高純度薬品又は超純水の輸送ラインを構成する配管、継手、バルブ等の配管材からの溶出によっても生じる。
【０００３】
通常、フッ素系樹脂は化学的に不活性であり、該高純度薬品又は超純水への不純物の溶出が極めて少ない特長を有するため、該高純度薬品又は超純水の輸送ラインを構成する配管、継手、バルブ等の配管材として一般的に使用されている（例えば、特許文献１参照。）。また、高密度ポリエチレンとフッ素系滑剤とを含むＨＤＰＥ層を有する超純水用管材が提案されている（例えば、特許文献２～３参照。）。さらに、超純水用配管材に用いられるポリエチレン系樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献４参照。）。
【０００４】
特許文献１に提案されたフッ素樹脂製配管は、フッ素樹脂の成形の難易度が高いため、生産性が低く、設計の自由度も低いことが課題であり、また、フッ素樹脂は一般的な樹脂と比較して高価であるため、コストが高くなる問題があった。さらに、特許文献２～４に提案された超純水用管材又は超純水用配管材に用いられるポリエチレン系樹脂組成物は、超純水中への金属の溶出が少ないものであるが、該高純度薬品又は超純水に含まれる微粒子の原因物質である有機不純物及びその定量的評価については何ら記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－２３４５７６号公報
特開２０２２－１５９１２９号公報
特開２０２２－１５７３７６号公報
特開２０２２－１４５１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、有機不純物及び金属不純物などの微粒子の含有量が極めて低い高純度なポリエチレン樹脂からなる配管、継手、バルブ等の配管材を提供することを目的とするものであり、さらに詳しくは、半導体装置産業分野、精密工業部品分野及び医薬品等に使用される高純度薬品又は超純水の製造に用いられるからなる高純度薬品又は超純水の輸送ラインを構成する配管、継手、バルブ等の配管材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、有機不純物及び金属不純物などの微粒子の含有量が極めて低い高純度なポリエチレン樹脂からなる配管材が、半導体装置産業分野、精密工業部品分野及び医薬品等に使用される高純度薬品又は超純水の輸送において、有機不純物及び金属不純物などの微粒子の溶出を抑制し、好適に使用できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち本発明は、以下に示す［１］である。
［１］下記（１）～（３）の要件を満たすポリエチレン樹脂からなることを特徴とする配管材。
（１）ポリエチレン樹脂をブロー成形することで得られた内容積８００ｍＬ容器に、クリーンルーム内で６００ｍＬの超純水を充填し、蓋をして設定温度４０℃にて３５日間保管後、溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が２５個／ｍＬ以下
（２）ゲルパーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１，０００以下の成分が０．５０重量％以下
（３）含有金属量が２０ｐｐｍ以下
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、高純度薬品又は超純水の輸送において、有機不純物及び金属不純物などの微粒子の溶出を抑制できる配管材を提供することができ、その産業的価値は極めて高いものである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明について詳細に説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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