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公開番号2024138937
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-09
出願番号2023049669
出願日2023-03-27
発明の名称バルブ
出願人株式会社フジキン
代理人個人
主分類F16K 7/17 20060101AFI20241002BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】シート、ダイヤフラム、およびインナーディスク等の交換を容易に行うことが可能なバルブを提供する。
【解決手段】バルブ1の接液部30は、ボディ本体11に当接するガスケット32と、ガスケット32上に配置されたインナーディスク33と、インナーディスク33に保持され、ダイヤフラム35が当接および離間するシート34と、ダイヤフラム35の外周縁部を押圧する押えアダプタ36と、ガスケット32、インナーディスク33、シート34、ダイヤフラム35、および押えアダプタ36を保持した状態で、ボンネット12に対し連結リング13により着脱可能に連結されるリテーナ31とを備える。接液部30をボンネット12に連結した状態において、連結リング13は、縮径した状態で、リテーナ31の内周面に形成された結合溝31bに嵌まりかつボンネット12の外周面に形成されたリング溝12bに位置している。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
流入路および流出路が形成されたボディ本体と、
前記流入路および前記流出路を開閉するダイヤフラムを有する接液部と、
前記ボディ本体に連結されたボンネットと、
前記接液部を前記ボンネットに着脱可能に連結する連結リングと、
前記ボンネットに移動可能に支持され、前記ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押えと、
前記ダイヤフラム押えを上下動させるアクチュエータと、を備え、
前記接液部は、
前記流入路に連通する第１中心孔と前記流出路に連通する複数の第１貫通孔とが形成され、前記ボディ本体に当接するガスケットと、
前記第１中心孔に連通する第２中心孔と前記複数の第１貫通孔に連通する複数の第２貫通孔とが形成され、前記ガスケット上に配置されたインナーディスクと、
前記インナーディスクに形成され、前記ダイヤフラムが当接および離間するシートと、
前記ダイヤフラムの外周縁部を前記インナーディスクの外周縁部に向かって押圧する押えアダプタと、
前記ガスケット、前記インナーディスク、前記シート、前記ダイヤフラム、および前記押えアダプタを保持した状態で、前記ボンネットに対し前記連結リングにより着脱可能に連結されるリテーナと、を備え、
前記接液部を前記ボンネットに連結した状態において、前記連結リングは、縮径した状態で、前記リテーナの内周面に形成された結合溝に嵌まりかつ前記ボンネットの外周面に形成されたリング溝に位置している、バルブ。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
前記リング溝の上下方向の幅は、前記連結リングの上下方向の幅よりも大きく構成されている、請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記リテーナの結合溝は、径方向外側に窪む横向きＶ字形状をなしている、請求項１または請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記ボディ本体および前記インナーディスクには、前記ガスケットに向かって突出し、前記ガスケットに対して当接する部分を押しつぶす凸部が設けられている、請求項１に記載のバルブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、半導体製造装置等に用いるダイヤフラムバルブに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
バルブの流量を増加させるため、インナーディスクを備えるタイプの大流量バルブがある。このようなバルブを高温下で使用した場合、経年劣化によりシートが下がり流量が変化し、さらにシートが下がるとシートリークが発生してしまう。このような時には、シートを交換する必要がある。特許文献１に開示されたバルブでは、リテーナを備えるバルブを使用することで、シートを交換することが記載されている。特許文献１のバルブでは、シート、シートホルダ、ダイヤフラム、ダイヤフラム保持リングがリテーナに一体的に保持され、リテーナはダイヤフラム保持リングとガイド筒の外側に直接嵌め合わされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－１１７２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のバルブにおいて、ボンネットをボディから取り外した後、リテーナをガイド筒から取り外すことで、シート、シートホルダ、ダイヤフラム、ダイヤフラム保持リングがリテーナと一体となって外れるように構成されている。このように嵌め合わされたリテーナを外すのは、力を要するためシート交換の作業性が悪い。
【０００５】
そこで本開示は、シート、ダイヤフラム、およびインナーディスク等の交換を容易に行うことが可能なバルブを提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を解決するために、本開示の一態様であるバルブは、流入路および流出路が形成されたボディ本体と、前記流入路および前記流出路を開閉するダイヤフラムを有する接液部と、前記ボディ本体に連結されたボンネットと、前記接液部を前記ボンネットに着脱可能に連結する連結リングと、前記ボンネットに移動可能に支持され、前記ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押えと、前記ダイヤフラム押えを上下動させるアクチュエータと、を備え、前記接液部は、前記流入路に連通する第１中心孔と前記流出路に連通する複数の第１貫通孔とが形成され、前記ボディ本体に当接するガスケットと、前記第１中心孔に連通する第２中心孔と前記複数の第１貫通孔に連通する複数の第２貫通孔とが形成され、前記ガスケット上に配置されたインナーディスクと、前記インナーディスクに保持され、前記ダイヤフラムが当接および離間するシートと、前記ダイヤフラムの外周縁部を前記インナーディスクの外周縁部に向かって押圧する押えアダプタと、前記ガスケット、前記インナーディスク、前記シート、前記ダイヤフラム、および前記押えアダプタを保持した状態で、前記ボンネットに対し前記連結リングにより着脱可能に連結されるリテーナと、を備え、前記接液部を前記ボンネットに連結した状態において、前記連結リングは、縮径した状態で、前記リテーナの内周面に形成された結合溝に嵌まりかつ前記ボンネットの外周面に形成されたリング溝に位置している。
【０００７】
前記リング溝の上下方向の幅は、前記連結リングの上下方向の幅よりも大きく構成されてもよい。
【０００８】
前記リテーナの結合溝は、径方向外側に窪む横向きＶ字形状をなしてもよい。
【０００９】
前記ボディ本体および前記インナーディスクには、前記ガスケットに向かって突出し、前記ガスケットに対して当接する部分を押しつぶす凸部が設けられてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、シート、ダイヤフラム、およびインナーディスク等の交換を容易に行うことが可能なバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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