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公開番号2024126219
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2023034458
出願日2023-03-07
発明の名称透明導電性フィルム
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人いくみ特許事務所
主分類B32B 7/025 20190101AFI20240912BHJP(積層体)
要約【課題】金属層を含む多層透明導電層を有しつつ良好な全光線透過率を実現するのに適した透明導電性フィルムを提供する。
【解決手段】透明導電性フィルムXは、透明基材10と、透明導電層20とを厚さ方向Hに順に備える。透明導電層10は、導電性酸化物層21と、金属層22と、導電性酸化物層23とを、透明基材10側からこの順で有する。導電性酸化物層23の、金属層22とは反対側の表面23aにおける、水酸基の酸素の割合が4.3原子%以上である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
透明基材と、透明導電層とを厚さ方向に順に備える透明導電性フィルムであって、
前記透明導電層が、第１導電性酸化物層と、金属層と、第２導電性酸化物層とを、前記透明基材側からこの順で有し、
前記第２導電性酸化物層の、前記金属層とは反対側の表面における、水酸基の酸素の割合が４.３原子％以上である、透明導電性フィルム。
続きを表示（約 120 文字）【請求項２】
前記第２導電性酸化物層がインジウムスズ複合酸化物層である、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
【請求項３】
前記金属層が銀層または銀合金層である、請求項１または２に記載の透明導電性フィルム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性フィルムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、樹脂製の透明基材と透明な導電層（透明導電層）とを厚さ方向に順に備える透明導電性フィルムが知られている。透明導電層は、例えば、調光デバイス、液晶ディスプレイ、およびタッチパネルなどの各種デバイスにおける透明電極を形成するための導体膜として用いられる。透明導電層は、例えば、ロールトゥロール方式のスパッタ成膜装置により、長尺の透明基材上に形成される（成膜工程）。成膜工程では、例えば、スパッタ成膜装置の成膜室内が真空ポンプによって排気されつつ、当該成膜室内を通過する透明基材上に、スパッタリング法によって導電材料が成膜される。このような透明導電性フィルムに関する技術については、例えば下記の特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－１５７０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
透明導電性フィルムの透明導電層には、全光線透過率が高いことが要求される。特に、調光デバイス用の透明導電性フィルムに対し、その要求は強い。
【０００５】
透明導電性フィルムの透明導電層には、低抵抗であることも要求される。そして、低抵抗化に有利な透明導電層としては、例えば、導電性酸化物層と、良導体としての金属層と、導電性酸化物層との３層構造の多層透明導電層が知られている。しかし、このような多層透明導電層を有する透明導電性フィルムでは、同フィルムに対する入射光の一部が金属層にて反射する。そのため、多層透明導電層を有する透明導電性フィルムは、従来、導電性酸化物の単層からなる透明導電層を有する透明導電性フィルムよりも、全光線透過率が低い傾向にある。
【０００６】
本発明は、金属層を含む多層透明導電層を有しつつ良好な全光線透過率を実現するのに適した透明導電性フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明［１］は、透明基材と、透明導電層とを厚さ方向に順に備える透明導電性フィルムであって、前記透明導電層が、第１導電性酸化物層と、金属層と、第２導電性酸化物層とを、前記透明基材側からこの順で有し、前記第２導電性酸化物層の、前記金属層とは反対側の表面における、水酸基の酸素の割合が４.３原子％以上である、透明導電性フィルムを含む。
【０００８】
本発明［２］は、前記第２導電性酸化物層がインジウムスズ複合酸化物層である、上記［１］に記載の透明導電性フィルムを含む。
【０００９】
本発明［３］は、前記金属層が銀層または銀合金層である、上記［１］または［２］に記載の透明導電性フィルムを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の透明導電性フィルムにおいては、上記のように、透明導電層が、第１導電性酸化物層と、金属層と、第２導電性酸化物層とをこの順で含む多層構造を有する。このような多層の透明導電層は、低抵抗化を図るのに適する。また、本発明の透明導電性フィルムにおいては、上記のように、第２導電性酸化物層の、金属層とは反対側の表面（透明導電層の露出表面）における水酸基酸素割合が、４.３原子％以上である。このような透明導電層を備える透明導電性フィルムは、良好な全光線透過率を実現するのに適する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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