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公開番号2024095382
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-10
出願番号2022212650
出願日2022-12-28
発明の名称弾性波装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人北斗特許事務所
主分類H03H 9/145 20060101AFI20240703BHJP(基本電子回路)
要約【課題】IDT電極を含む共振子の共振特性に発生する不要波のリップルを、より抑制する。
【解決手段】弾性波装置1では、IDT電極3と圧電性基板2の一部とを含む共振子10は、複数の領域A1～A13を有する。複数の領域A1～A13は、中央領域A7と、第1ギャップ領域A4と、第2ギャップ領域A10と、第1エッジ領域A5と、第2エッジ領域A9と、第1中間領域A6と、第2中間領域A8と、を含む。第1中間領域A6は、中央領域A7と第1エッジ領域A5との間に位置している。第2中間領域A8は、中央領域A7と第2エッジ領域A9との間に位置している。第1中間領域A6及び第2中間領域A8では、中央領域A7よりも弾性波の音速が遅く第1エッジ領域A5及び第2エッジ領域A9よりも弾性波の音速が速い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記ＩＤＴ電極では、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、
前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む第１ギャップ領域と、
前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む第２ギャップ領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含む第１エッジ領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含む第２エッジ領域と、
前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している第１中間領域と、
前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している第２中間領域と、を含み、
前記第１ギャップ領域及び前記第２ギャップ領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が速く、
前記第１中間領域及び前記第２中間領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い、
弾性波装置。
続きを表示（約 2,000 文字）【請求項２】
前記第２エッジ領域では、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が、第１太幅部を含み、
前記第２方向における前記第１太幅部の幅は、前記第２方向における、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第１エッジ領域では、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が、第２太幅部を含み、
前記第２方向における前記第２太幅部の幅は、前記第２方向における、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広い、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１エッジ領域は、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部に重なる第１質量付加膜の少なくとも一部を含み、
前記第２エッジ領域は、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部に重なる第２質量付加膜の少なくとも一部を含む、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記ＩＤＴ電極では、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、
前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む第１ギャップ領域と、
前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む第２ギャップ領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含む第１エッジ領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含む第２エッジ領域と、
前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している第１中間領域と、
前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している第２中間領域と、を含み、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指は、
前記中央領域において第１厚さ及び第１幅を有し、
前記第１エッジ領域において前記第１厚さ及び第２幅を有し、
前記第１中間領域において第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指は、
前記中央領域において前記第１厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２エッジ領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２中間領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２厚さが前記第１厚さよりも厚く、
前記第２幅が前記第１幅よりも広い、
弾性波装置。
【請求項５】
前記第１中間領域及び前記第２中間領域では前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い、
請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記圧電性基板は、
圧電層と、
前記圧電層に接合されている支持基板を更に備える、
請求項１～５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向である、
請求項１～５のいずれか一項に記載の弾性波装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に弾性波装置に関し、より詳細には、ＩＤＴ電極を備える弾性波装置に関する。
続きを表示（約 3,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、圧電膜と、圧電膜上に設けられたＩＤＴ電極と、を備える弾性波装置を開示している。
【０００３】
特許文献１に開示された弾性波装置では、ＩＤＴ電極は、第１のバスバーと、第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、第２のバスバーに基端が接続されており、先端が第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、を有する。
【０００４】
第１のバスバー及び第２のバスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、を有する。
【０００５】
特許文献１の図９に開示された弾性波装置では、第２の電極指の先端に１つの太幅部が設けられている。この第２の電極指の太幅部が設けられている部分の近傍において、第１の電極指には太幅部は設けられていない。また、この弾性波装置では、第１の電極指の先端に１つの太幅部が設けられている。この第１の電極指の太幅部が設けられている部分の近傍において、第２の電極指には太幅部は設けられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１８－１７４５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＩＤＴ電極の電極指の先端に太幅部が設けられた弾性波装置では、ＩＤＴ電極を含む共振子の共振特性に発生する不要波のリップルを、より抑制することが必要となることがある。
【０００８】
本発明の目的は、ＩＤＴ電極を含む共振子の共振特性に発生する不要波のリップルを、より抑制することが可能な弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係る弾性波装置は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を備える。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有する。前記複数の領域は、中央領域と、第１ギャップ領域と、第２ギャップ領域と、第１エッジ領域と、第２エッジ領域と、第１中間領域と、第２中間領域と、を含む。前記中央領域は、前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む。前記第１ギャップ領域は、前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む。前記第２ギャップ領域は、前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む。前記第１エッジ領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含む。前記第２エッジ領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含む。前記第１中間領域は、前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している。前記第２中間領域は、前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している。前記第１ギャップ領域及び前記第２ギャップ領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い。前記第１中間領域及び前記第２中間領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い。
【００１０】
本発明の別の一態様に係る弾性波装置は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を備える。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有する。前記複数の領域は、中央領域と、第１ギャップ領域と、第２ギャップ領域と、第１エッジ領域と、第２エッジ領域と、第１中間領域と、第２中間領域と、を含む。前記中央領域は、前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む。前記第１ギャップ領域は、前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む。前記第２ギャップ領域は、前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む。前記第１エッジ領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含む。前記第２エッジ領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含む。前記第１中間領域は、前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している。前記第２中間領域は、前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している。前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指は、前記中央領域において第１厚さ及び第１幅を有し、前記第１エッジ領域において前記第１厚さ及び第２幅を有し、前記第１中間領域において第２厚さ及び前記第１幅を有する。前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指は、前記中央領域において前記第１厚さ及び前記第１幅を有し、前記第２エッジ領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、前記第２中間領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有する。前記第２厚さが前記第１厚さよりも厚く、前記第２幅が前記第１幅よりも広い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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