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公開番号2024124822
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-13
出願番号2023032754
出願日2023-03-03
発明の名称圧電デバイス
出願人日本電波工業株式会社
代理人
主分類H03H 9/02 20060101AFI20240906BHJP(基本電子回路)
要約【課題】小型であっても、圧電振動素子の特性を正確に測定できる構造を有した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス10は、平面視で四角形状の凹部、及び、凹部を囲っていて複数層で構成された壁部を有するパッケージと、凹部の第1の辺側の領域で凹部の底面に片持ち支持で接続されている圧電振動素子と、を備える。そして、壁部の第1層の外側面であって、第1の辺側に当たる外側面に、圧電振動素子の特性測定用の第1端子を備え、壁部の第1層とは異なる第2層の外側面であって、第1の辺側に当たる外側面に、圧電振動素子の特性測定用の第2端子を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
平面視で四角形状の凹部、及び、前記凹部を囲っていて複数層で構成された壁部を有するパッケージと、前記凹部の第１の辺側の領域で前記凹部内に片持ち支持で接続されている圧電振動素子と、を備える圧電デバイスにおいて、
前記壁部の第１層の外側面であって、前記第１の辺側に当たる外側面に、前記圧電振動素子の特性測定用の第１端子を備え、前記壁部の前記第１層とは異なる第２層の外側面であって、前記第１の辺側に当たる外側面に、前記圧電振動素子の特性測定用の第２端子を備えたこと、
を特徴とする圧電デバイス。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
前記四角形状の凹部は、平面視で長方形状の凹部であり、前記第１の辺は、前記凹部の１つの短辺であることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記複数層で構成されたパッケージは、４層から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記第１端子及び第２端子各々の、前記第１の辺に沿う方向の寸法は、前記壁部の前記第１の辺に沿う寸法の３０~７０％の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスに関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
圧電デバイスの中には、パッケージの側面に端子を設け、この端子に測定プローブを接触させて圧電デバイスの特性を測定するものがある。その一例が例えば特許文献１に記載されている。
特許文献１に記載の圧電発振器は、パッケージと、パッケージに収納される半導体素子及び圧電振動素子と、蓋部材から構成されている（特許文献１の段落００１７）。圧電振動素子は、四角形状のもので、短辺側の部分がパッケージに片持ち支持の状態で接続されている。この圧電発振器のパッケージは、平面視で四角形状であり、四角形の４つの辺のうちの前記圧電振動素子が片持ち支持がされている近くの辺に当たる外壁に、２つの圧電振動素子測定電極（以下、測定電極と言う。）が設けられている。然も、２つの測定電極は、横並びに配置されている（特許文献１の図１）。この圧電発振器では、外壁に設けた上記２つの測定電極にプローブを当てることによって、圧電振動素子の特性測定が行える（特許文献１の図３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－２１４７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、圧電発振器等の圧電デバイスの小型化が進むに伴い、圧電デバイス用パッケージの外壁寸法も益々小さくなる。従って、パッケージの外壁に２つの測定電極を横並びに設けている特許文献１の構造の場合、２つの測定電極の絶縁性を確保するため２つの測定電極を近接させるにも限界があるので、２つの測定電極の横並びの方向の寸法を小さくせざるを得ない。上記の寸法が小さいと、測定プローブを測定電極に正確に当てることができないという問題がある。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、従ってこの出願の目的は、小型化が進んでも、圧電振動素子の特性を正確に測定できる構造を有した圧電デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的の達成を図るため、この発明の圧電デバイスによれば、平面視で四角形状の凹部、及び、前記凹部を囲っていて複数層で構成された壁部を有するパッケージと、前記凹部の第１の辺側の領域で前記凹部内に片持ち支持で接続されている圧電振動素子と、を備える圧電デバイスにおいて、
前記壁部の第１層の外側面であって、前記第１の辺側に当たる外側面に、前記圧電振動素子の特性測定用の第１端子を備え、前記壁部の前記第１層とは異なる第２層の外側面であって、前記第１の辺側に当たる外側面に、前記圧電振動素子の特性測定用の第２端子を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の圧電デバイスによれば、圧電振動素子の特性測定用の端子が、複数層で構成されたパッケージ壁部の外側面の異なる層に設けられているので、特性測定用の端子を横並びに設けていた場合に比べ、圧電デバイスが小型の場合においても、測定プローブが特性測定用の端子に確実に接触するための、特性測定用の端子の寸法を確保できる。然も、圧電振動素子が片持ち支持されている部分と、特性測定用の端子とは、パッケージの１つの側壁を挟んで近接した状態で設けられているため、圧電振動素子の接続部と、特性測定用の端子と、を繋ぐパッケージ層内の配線パターンを短くすることができる。従って、圧電振動素子の特性を正しく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１の実施形態の圧電発振器１０を説明するための図である。
第２の実施形態の圧電発振器１１を説明するための図である。
第３の実施形態の圧電発振器１２を説明するための図である。
従来の圧電発振器を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して、この発明の圧電デバイスの実施形態について、それぞれ説明する。温度補償型発振器において、パッケージに設けた側面の端子が半導体素子の書込みに使用されることがあるため、本実施形態では、圧電デバイスを圧電発振器として説明する。
なお、説明に用いる各図はこの発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、説明に用いる各図において、同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の説明で述べる形状、材質等はこの発明の範囲内の好適例に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。
【００１０】
１．第１の実施形態の圧電発振器
図１を参照して、第１の実施形態の圧電発振器１０について説明する。図１（Ａ）は、圧電発振器１０の短辺側の側面図である。図１（Ｂ）は、圧電発振器１０の第１層２０ａ及びこの第１層２０ａとは異なる層である第２層２０ｂ各々の上面図である。図１（Ｃ）は、圧電発振器１０の蓋部材６０を取った状態の上面図である。図１（Ｄ）は、図１（Ｃ）のａ－ａ’線に沿って切った断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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