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公開番号2025079992
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192929
出願日2023-11-13
発明の名称音叉型圧電振動片
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20250516BHJP(基本電子回路)
要約【課題】より強度の高い音叉型圧電振動片を提供する。
【解決手段】
平面視で音叉形状を有し、基部20と、基部20の一端側から伸びる一対の振動腕部21、22と、基部20から伸びる支持腕部23とを備え、支持腕部23は、容器3に対して接合されている金属バンプ7a、7bと、平面視で金属バンプ7a、7bと基部20との間に厚み方向に凸となる厚肉部24とを有する、容器3の内部に搭載されて音叉型圧電振動子1となる音叉型圧電振動片2とした。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
平面視で音叉形状を有し、容器の内部に搭載されて圧電振動子となる音叉型圧電振動片であって、
基部と、
前記基部の一端側から伸びる一対の振動腕部と、
前記基部から伸びる支持腕部とを備え、
前記支持腕部は、
前記容器に対して接合されている接合部と、
平面視で前記接合部と前記基部との間に厚み方向に凸となる厚肉部とを有する
音叉型圧電振動片。
続きを表示（約 160 文字）【請求項２】
前記厚肉部は、
少なくとも前記接合部を有する主面の裏側の主面から凸となるよう形成されている
請求項１記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記接合部を構成する接合部材が、金属からなるバンプで形成されている
請求項１または２記載の音叉型圧電振動片。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の振動腕が屈曲振動モードで振動する音叉型圧電振動片に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
音叉型圧電振動片は、時計等の基準信号の周波数発生源として従来から広く使用されている。このような音叉型圧電振動片は、絶縁基体（容器）の凹形状の内部において接合されて実装され、凹部を蓋によって気密封止された表面実装型の音叉型圧電振動子として使用されている。
【０００３】
このような音叉型圧電振動子として、基部から互いに平行に延びている第１及び第２の振動腕と、これら振動腕の間に前述の基部から延びている支持腕とを有する３本腕の音叉型水晶片を内部に搭載した音叉型水晶振動子が開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１６５３４８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されているような、音叉型圧電振動子と接合される支持腕を有する構成では、２本の振動腕からの振動が支持腕に集中し、等価直列抵抗値（ＣｒｙｓｔａｌＩｍｐｅｄａｎｃｅ、ＣＩ値）等の振動特性が悪化するおそれがあった。すなわち、振動特性をより改善した、支持腕を有する音叉型圧電振動片が望まれていた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、より振動特性を改善した音叉型圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、平面視で音叉形状を有し、容器の内部に搭載されて圧電振動子となる音叉型圧電振動片であって、基部と、前記基部の一端側から伸びる一対の振動腕部と、前記基部から伸びる支持腕部とを備え、前記支持腕部は、前記容器に対して接合されている接合部と、平面視で前記接合部と前記基部との間に厚み方向に凸となる厚肉部とを有する音叉型圧電振動片であることを特徴としている。
【０００８】
すなわち、本発明の音叉型圧電振動片は、平面視で前記接合部と前記基部との間に厚み方向に凸となる厚肉部を有する構成である。このような構成により、振動腕部からの振動の伝搬を厚肉部で止めることができ、振動特性を改善することができる。
【０００９】
また、本来であれば、音叉型圧電振動片を搭載した音叉型圧電振動子に対して衝撃が加わるなどした場合に、接合部を有する支持腕部が破断してしまうおそれがあるところ、厚肉部によって支持腕部の物理的強度を向上させることで、支持腕部が破断することを防止することができる。
【００１０】
また、前記厚肉部が、少なくとも前記接合部を有する主面の裏側の主面から凸となるよう形成されている構成であってもよい。このような構成であれば、厚肉部の厚みを十分確保することができ、振動特性をより確実に改善することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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