特許ウォッチ

公開番号2025080630
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2023193914
出願日2023-11-14
発明の名称ウェハ
出願人日本電波工業株式会社
代理人個人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20250519BHJP(基本電子回路)
要約【課題】ウェハ当たりのチップの個数を増やした場合でもチップの切り取り加工を行い易いウェハを提供する。
【解決手段】ウェハ1は、多数のチップ30が形成されたチップ形成領域10を囲む枠部11と、両端が枠部11に接続された第1桟部21と、両端が枠部11に接続され、チップ形成領域10において第1桟部21と交差する第2桟部22と、それぞれ複数のチップ30が切り取り可能に設けられ、チップ形成領域10において互いに平行に延びた複数の第3桟部23と、一端が枠部11に接続され、他端が第2桟部22に接続された第4桟部24a～24dとを有する。第3桟部23は、一端が1つの第4桟部(24a～24d)に接続され、他端が枠部11又は第1桟部21に接続されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
多数のチップが形成された板状のウェハであって、
前記チップが形成されたチップ形成領域を囲む枠部と、
両端が前記枠部に接続された第１桟部と、
両端が前記枠部に接続され、前記チップ形成領域において前記第１桟部と交差する第２桟部と、
それぞれ複数の前記チップが切り取り可能に設けられ、前記チップ形成領域において互いに平行に延びた複数の第３桟部と、
一端が前記第２桟部に接続され、他端が前記枠部に接続された１以上の第４桟部とを有し、
少なくとも一部の前記第３桟部は、一端が１つの前記第４桟部に接続され、他端が前記枠部、前記第１桟部又は他の１つの前記第４桟部に接続されている、
ウェハ。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記第１桟部と前記第２桟部が直交し、
前記第３桟部と前記第２桟部が平行に延び、
前記第４桟部と前記第１桟部が平行に延びている、
請求項１に記載のウェハ。
【請求項３】
前記枠部が環状の形状を持ち、
前記第１桟部の長手方向の中央部と前記第２桟部の長手方向の中央部とにおいて前記第１桟部と前記第２桟部とが直交する、
請求項２に記載のウェハ。
【請求項４】
前記第４桟部は、前記第１桟部と前記枠部との間を渡る前記第２桟部の長手方向の中央部に接続されている、
請求項３に記載のウェハ。
【請求項５】
前記チップ形成領域に面した前記枠部の内縁の少なくとも一部が直径ｄの仮想円に沿っており、
前記第１桟部と前記第４桟部との間隔Ｌにより前記仮想円の直径ｄを除した値ｄ／Ｌが３．５～４である、
請求項３に記載のウェハ。
【請求項６】
前記第１桟部について線対称かつ前記第２桟部について線対称な４つの前記第４桟部を有する、
請求項４に記載のウェハ。
【請求項７】
前記第１桟部と前記第２桟部とが交差する部分を交差部と呼び、
前記第１桟部において前記交差部から前記枠部へ渡る部分を第１桟部本体と呼び、
前記第２桟部において前記交差部から前記枠部へ渡る部分を第２桟部本体と呼び、
前記第１桟部の短手方向における前記第１桟部本体の幅を横幅Ｗ１と呼び、
前記第２桟部の短手方向における前記第２桟部本体の幅を横幅Ｗ２と呼び、
前記第１桟部の短手方向における前記交差部の幅を横幅Ｃ１と呼び、
前記第２桟部の短手方向における前記交差部の幅を横幅Ｃ２と呼び、
前記交差部の前記横幅Ｃ１が前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１に比べて大きく、
前記交差部の前記横幅Ｃ２が前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２に比べて大きい、
請求項１に記載のウェハ。
【請求項８】
前記枠部が環状の形状を持ち、
前記第１桟部の長手方向の中央部と前記第２桟部の長手方向の中央部とにおいて前記第１桟部と前記第２桟部とが直交し、
前記交差部の前記横幅Ｃ１を前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１で除した値Ｃ１／Ｗ１が１．８～２．２であり、
前記交差部の前記横幅Ｃ２を前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２で除した値Ｃ２／Ｗ２が１．５～２．０である、
請求項７に記載のウェハ。
【請求項９】
前記枠部が環状の形状を持ち、
前記第１桟部の長手方向の中央部と前記第２桟部の長手方向の中央部とにおいて前記第１桟部と前記第２桟部とが直交し、
前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２が前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１より小さい、
請求項７に記載のウェハ。
【請求項１０】
前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２を前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１で除した値Ｗ２／Ｗ１が、０．６＜Ｗ２／Ｗ１＜１．０である、
請求項９に記載のウェハ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数のチップが形成されたウェハに関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許５３５２７７７の図６には、直交する２本の直線枠部１５ａ、１５ｂを備えた水晶基板９が記載されている。直線枠部１５ａと環状枠部１４の間に細長い枝枠部１８が渡されており、枝枠部１８の両側の縁に多数のデバイス形成部１６が設けられている。デバイス形成部１６の部分を枝枠部１８から切り離すことにより水晶振動片８が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許５３５２７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許５３５２７７７の水晶基板９では、枝枠部１８からデバイス形成部１６の部分を切り取る場合において細長い枝枠部１８が捩れたり反ったりし易い。ウェハ当たりの水晶振動片８の個数を増やすために枝枠部１８を細く長くするほど枝枠部１８が変形し易くなり、デバイス形成部１６の切り取り加工が困難になる。
【０００５】
また近年、移動体通信システム（５Ｇ、６Ｇなど）の高速化・大容量化などに伴って、電子機器の動作周波数は益々高くなる傾向にあり、クロック信号の生成などに用いられる水晶振動子には高周波化が求められている。水晶振動子を構成する水晶片は、周波数が高くなるほど薄くなるため、水晶片の製造に用いられる水晶ウェハには薄型化が求められている。しかしながら、特許５３５２７７７に示すような構造において水晶基板９（水晶ウェハ）が薄くなると、デバイス形成部１６の切り取り時において枝枠部１８がより変形し易くなり、デバイス形成部１６の切り取り加工が更に困難になる。
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウェハ当たりのチップの個数を増やした場合でもチップの切り取り加工を行い易いウェハを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様のウェハは、多数のチップが形成された板状のウェハであって、
チップが形成されたチップ形成領域を囲む枠部と、両端が枠部に接続された第１桟部と、両端が枠部に接続され、チップ形成領域において第１桟部と交差する第２桟部と、それぞれ複数のチップが切り取り可能に設けられ、チップ形成領域において互いに平行に延びた複数の第３桟部と、一端が第２桟部に接続され、他端が枠部に接続された１以上の第４桟部とを有し、少なくとも一部の第３桟部は、一端が１つの第４桟部に接続され、他端が枠部、第１桟部又は他の１つの第４桟部に接続されている、ウェハである。
この構成によれば、第３桟部が第４桟部によって支えられるため、第３桟部に設けられたチップを切り取る際、捩じれや撓みによる第３桟部の大きな変形が抑制され易くなる。
【０００８】
好適に、第１桟部と第２桟部が直交し、第３桟部と第２桟部が平行に延び、第４桟部と第１桟部が平行に延びている。
これにより、第１桟部から第４桟部へ渡る第３桟部の長さが揃い易くなる。そのため、チップ切り取り時の第３桟部の変形が均一に抑制され易くなる。
【０００９】
好適に、枠部が環状の形状を持ち、第１桟部の長手方向の中央部と第２桟部の長手方向の中央部とにおいて第１桟部と第２桟部とが直交する。
これにより、第２桟部から離れるにつれて第３桟部の長さが短くなるため、チップ切り取り時の変形が抑制され易くなる。
【００１０】
好適に、第４桟部は、第１桟部と枠部との間を渡る第２桟部の長手方向の中央部に接続されている。
これにより、第２桟部に近い位置において、第１桟部－第４桟部間の第３桟部の長さと、枠部－第４桟部間の第３桟部の長さとが概ね等しくなる。第２桟部に近い位置にある第３桟部の長さが揃うことにより、これらの長さが不揃いになる場合に比べて、チップ切り取り時に生じる第３桟部の最大の変形が抑制され易くなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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