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公開番号2025062271
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-14
出願番号2023171215
出願日2023-10-02
発明の名称音叉型圧電振動子
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20250407BHJP(基本電子回路)
要約【課題】より耐衝撃性の高い音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】
1以上の圧電振動片2を容器3の内部に搭載した圧電振動子であって、圧電振動片2は、基部20と、基部20の一端側から第1方向に伸びる一対の振動腕部21、22と、第1方向と直交する第2方向に伸びる接合部24と、基部20と接合部24とを接続する拡幅部23とを備え、拡幅部23は、基部20側から接合部24側にかけて拡幅する形状を有し、接合部24は、第2方向に離間した複数の位置において容器3に対して接合されている金属バンプ7a、7bを有し、容器3は、接合部24と接合される搭載パッド6a、6bと、段部31とを有し、段部31の縁端32が、平面視で、拡幅部23または接合部24と重畳し、かつ、最幅狭部231および金属バンプ7a、7bと重畳しない音叉型圧電振動子1とした。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
１以上の音叉型圧電振動片を容器の内部に搭載した音叉型圧電振動子であって、
前記音叉型圧電振動片は、
基部と、
前記基部の一端側から第１方向に伸びる一対の振動腕部と、
前記基部の他端側から前記振動腕部の伸長方向と逆方向に拡幅しながら突出する拡幅部と、
前記拡幅部と連続して形成され、前記拡幅部に対して前記第１方向と直交する第２方向の少なくとも一方に突出する接合部とを備え、
前記接合部は、
前記第２方向に離間した複数の位置において前記容器に対して接合されている接合領域を有し、
前記容器は、
前記接合領域と接合される搭載領域と、
前記搭載領域を上面に有する段部とを当該容器の内部に有し、
前記段部の端面が、
平面視で、前記拡幅部または前記接合部と重畳し、かつ、前記拡幅部において最も幅が狭い最幅狭部および前記接合部における前記接合領域とは重畳しない
音叉型圧電振動子。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
前記拡幅部において、前記接合部との境界における幅と前記最幅狭部における幅との差を、前記最幅狭部の幅に対して１００％拡幅した幅として、
前記第１方向に沿った方向において、前記拡幅部における前記差の２０％を拡幅した位置から前記接合領域までの範囲内で、前記音叉型圧電振動片が前記段部の端面と重畳している
請求項１記載の音叉型圧電振動子。
【請求項３】
前記接合部と前記段部とが、金属からなるバンプによって接合されている
請求項１または２記載の音叉型圧電振動子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の振動腕が屈曲振動モードで振動する音叉型圧電振動片を搭載した音叉型圧電振動子に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
音叉型圧電振動片は、時計等の基準信号の周波数発生源として従来から広く使用されている。このような圧電振動片は、絶縁基体（容器）の凹形状の内部において接合されて実装され、凹部を蓋によって気密封止された表面実装型の音叉型圧電振動子として使用されている。
【０００３】
このような音叉型圧電振動子として、接合部を平面視略Ｌ字状とした音叉型圧電振動片を、容器内に設けられた段部の上面で接合した音叉型圧電振動子が開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－２３２９４４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されているような、平面視略Ｌ字状の接合部を有する構成では、接合部と基部との間に、接合部および基部よりも幅が狭くなるような、くびれが形成されることとなる。そして、容器の内部構造、特に段差の位置によっては、平面視において音叉型圧電振動片のくびれの位置と容器の段差の位置とが重なる場合があった（特許文献１、図２３参照）。このような場合、音叉型圧電振動子に対して衝撃が加わった際に、音叉型圧電振動片のくびれと段差の端面（縁端）とが接触し、音叉型圧電振動片がくびれ部分で破断するおそれがあった。すなわち、例えば、特許文献１に記載されているような、くびれを有する形状の音叉型圧電振動片を使用した場合であっても、より耐衝撃性の高い音叉型圧電振動子とすることが望まれていた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、より耐衝撃性の高い音叉型圧電振動子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、１以上の音叉型圧電振動片を容器の内部に搭載した音叉型圧電振動子であって、前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端側から第１方向に伸びる一対の振動腕部と、前記基部の他端側から前記振動腕部の伸長方向と逆方向に拡幅しながら突出する拡幅部と、前記拡幅部と連続して形成され、前記拡幅部に対して前記第１方向と直交する第２方向の少なくとも一方に突出する接合部とを備え、前記接合部は、前記第２方向に離間した複数の位置において前記容器に対して接合されている接合領域を有し、前記容器は、前記接合領域と接合される搭載領域と、前記搭載領域を上面に有する段部とを前記内部に有し、前記段部の端面が、平面視で、前記拡幅部または前記接合部と重畳し、かつ、前記拡幅部において最も幅が狭い最幅狭部および前記接合部における前記接合領域と重畳しない音叉型圧電振動子であることを特徴としている。
【０００８】
すなわち、本発明の音叉型圧電振動子は、拡幅しながら突出する拡幅部を有し、容器の段部の端面が、平面視で、拡幅部または接合部と重畳し、かつ、拡幅部において最も幅が狭い最幅狭部および接合部における接合領域と重畳しない構成である。このような構成により、音叉型圧電振動子に対して外部から衝撃が加わった場合に、搭載された音叉型圧電振動片が上下方向にたわみ、容器の段部の端面と音叉型圧電振動片とが接触したとしても、音叉型圧電振動片において他部より強度が低い最幅狭部ではなく、より強度の高い部位で受けとめることができ、音叉型圧電振動子の耐衝撃性を向上させることができる。また、容器の大きな設計変更を行うことなく音叉型圧電振動子の耐衝撃性を向上させることができる。
【０００９】
また、前記拡幅部において、前記接合部との境界における幅と前記最幅狭部における幅との差を、前記最幅狭部の幅に対して１００％拡幅した幅として、前記第１方向に沿った方向において、前記拡幅部における前記差の２０％を拡幅した位置から前記接合領域までの範囲内で、前記音叉型圧電振動片が前記段部の端面と重畳している構成であってもよい。このような構成であれば、より音叉型圧電振動子の耐衝撃性を向上させることができる。
【００１０】
また、前記接合部と前記段部とが、金属からなるバンプによって接合されている構成であってもよい。このような構成であれば、接着剤による接合と比較して容器と音叉型圧電振動片との接合強度を向上させることができる。また、接合強度が向上することによって、外部からの衝撃がより音叉型圧電振動片に伝わりやすくなるが、本発明の音叉型圧電振動子は、耐衝撃性が向上しているため、搭載されている音叉型圧電振動片が破断（破損、破壊）することを防止することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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