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公開番号2025087478
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202166
出願日2023-11-29
発明の名称弾性波デバイス
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250603BHJP(基本電子回路)
要約【課題】スプリアスを抑制すること。
【解決手段】弾性波デバイス100は、圧電基板12と、圧電基板12上に設けられ、複数の電極指22と、複数の電極指22のうち複数の電極指22の短手方向(X方向)において隣接する電極指22の間に設けられ、長手方向(Y方向)における長さが複数の電極指22より短い複数のダミー電極指23(金属部)と、を各々含み、互いの複数の電極指22が少なくとも一部において交互に配置され、複数のダミー電極指23が位置するダミー領域34を伝搬する弾性波の音速は、互いの複数の電極指22が交差する交差領域30のうちの中央領域31を伝搬する弾性波の音速より速くかつ1.10倍以下である一対の櫛型電極21とを備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指と、前記複数の電極指のうち前記複数の電極指の短手方向において隣接する電極指の間に設けられ、長手方向における長さが前記複数の電極指より短い複数の金属部と、を各々含み、互いの前記複数の電極指が少なくとも一部において交互に配置され、前記複数の金属部が位置する領域を伝搬する弾性波の音速は、互いの前記複数の電極指が交差する交差領域のうちの中央領域を伝搬する弾性波の音速より速くかつ１．１０倍以下である一対の櫛型電極と、を備える弾性波デバイス。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記複数の金属部が位置する前記領域を伝搬する弾性波の音速は前記中央領域を伝搬する弾性波の音速の１．０３倍以上である、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記一対の櫛型電極のうち一方の櫛型電極の前記複数の金属部は他方の櫛型電極の前記複数の電極指に向かい合い、
前記短手方向における幅は、前記複数の金属部の方が前記複数の電極指より小さい、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記中央領域において前記複数の電極指を覆って前記圧電基板上に設けられた第１絶縁膜と、
前記複数の金属部が位置する前記領域において前記複数の金属部を覆って前記圧電基板上に設けられ、前記第１絶縁膜より弾性波の音速が速い材料を主成分とする第２絶縁膜と、を備える、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記複数の電極指の長手方向における端部に設けられた付加膜を備える、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指と、前記複数の電極指のうち前記複数の電極指の短手方向において隣接する電極指の間に２つ以上設けられ、前記短手方向における幅が前記複数の電極指より小さい複数の金属部と、を各々含み、互いの前記複数の電極指が少なくとも一部において交互に配置された一対の櫛型電極と、を備える弾性波デバイス。
【請求項７】
前記複数の金属部は、前記隣接する電極指の間に２つ設けられ、
前記短手方向における前記複数の金属部の幅は、前記短手方向における前記複数の電極指の幅の０．５６倍以上０．６４倍以下である、請求項６に記載の弾性波デバイス。
【請求項８】
前記複数の金属部は、前記隣接する電極指の間に３つ設けられ、
前記短手方向における前記複数の金属部の幅は、前記短手方向における前記複数の電極指の幅の０．３９倍以上０．４５倍以下である、請求項６に記載の弾性波デバイス。
【請求項９】
前記短手方向における前記複数の電極指の幅はバスバーに接続する一端から反対側の他端にかけて等しく、
前記短手方向における前記複数の金属部の幅は互いに等しい、請求項７または８に記載の弾性波デバイス。
【請求項１０】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指と、前記複数の電極指のうち前記複数の電極指の短手方向において隣接する電極指の間に設けられ、前記複数の電極指より弾性波の音速が速い材料を主成分とする複数の金属部と、を各々含み、互いの前記複数の電極指が少なくとも一部において交互に配置された一対の櫛型電極と、を備える弾性波デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波デバイスに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話を代表とする高周波通信用システムにおいて弾性波デバイスが用いられる。弾性波デバイスとして、複数の電極指と、複数のダミー電極指と、複数の電極指及び複数のダミー電極指が接続するバスバーと、を含む一対の櫛型電極を備える弾性波デバイスが知られている（例えば特許文献１－３）。また、Ｑ値を損なうことなくスプリアスを減少させる方法として、ピストンモードを利用した弾性波デバイスが知られている（例えば特許文献４、５）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－６８１０７号公報
特開２００３－２１８６６５号公報
特表２０１３－５１８４５５号公報
特開２０２２－１１７７０号公報
特開２０２２－１２６８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ピストンモードを利用することでスプリアスを抑制することができる。しかしながら、スプリアスの抑制の点において未だ改善の余地が残されている。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、スプリアスを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指と、前記複数の電極指のうち前記複数の電極指の短手方向において隣接する電極指の間に設けられ、長手方向における長さが前記複数の電極指より短い複数の金属部と、を各々含み、互いの前記複数の電極指が少なくとも一部において交互に配置され、前記複数の金属部が位置する領域を伝搬する弾性波の音速は、互いの前記複数の電極指が交差する交差領域のうちの中央領域を伝搬する弾性波の音速より速くかつ１．１０倍以下である一対の櫛型電極と、を備える弾性波デバイスである。
【０００７】
上記構成において、前記複数の金属部が位置する前記領域を伝搬する弾性波の音速は前記中央領域を伝搬する弾性波の音速の１．０３倍以上である構成とすることができる。
【０００８】
上記構成において、前記一対の櫛型電極のうち一方の櫛型電極の前記複数の金属部は他方の櫛型電極の前記複数の電極指に向かい合い、前記短手方向における幅は、前記複数の金属部の方が前記複数の電極指より小さい構成とすることができる。
【０００９】
上記構成において、前記中央領域において前記複数の電極指を覆って前記圧電基板上に設けられた第１絶縁膜と、前記複数の金属部が位置する前記領域において前記複数の金属部を覆って前記圧電基板上に設けられ、前記第１絶縁膜より弾性波の音速が速い材料を主成分とする第２絶縁膜と、を備える構成とすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記複数の電極指の長手方向における端部に設けられた付加膜を備える構成とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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