特許ウォッチ

公開番号2025080631
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2023193915
出願日2023-11-14
発明の名称ウェハ
出願人日本電波工業株式会社
代理人個人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20250519BHJP(基本電子回路)
要約【課題】切り取り可能な多数のチップが形成された構造において局部的な応力の集中による破損を生じ難くしたウェハを提供する。
【解決手段】ウェハ1は、多数のチップ30が形成されたチップ形成領域10を囲む枠部11と、両端が枠部11に接続された第1桟部21と、両端が枠部11に接続され、チップ形成領域10において第1桟部21と交差する第2桟部22とを有する。第1桟部21と第2桟部22との交差部200は、第1桟部本体210に比べて第1桟部21の短手方向における横幅が大きく(C1>W1)、第2桟部本体220に比べて第2桟部22の短手方向における横幅が大きい(C2>W2)。交差部200の横幅(C1、C2)が大きいことにより、応力の集中による交差部200の破損が回避され易くなる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
多数のチップが形成された板状のウェハであって、
前記チップが形成されたチップ形成領域を囲む枠部と、
両端が前記枠部に接続された第１桟部と、
両端が前記枠部に接続され、前記チップ形成領域において前記第１桟部と交差する第２桟部とを有し、
前記第１桟部と前記第２桟部とが交差する部分を交差部と呼び、
前記第１桟部において前記交差部から前記枠部へ渡る部分を第１桟部本体と呼び、
前記第２桟部において前記交差部から前記枠部へ渡る部分を第２桟部本体と呼び、
前記第１桟部の短手方向における前記第１桟部本体の幅を横幅Ｗ１と呼び、
前記第２桟部の短手方向における前記第２桟部本体の幅を横幅Ｗ２と呼び、
前記第１桟部の短手方向における前記交差部の幅を横幅Ｃ１と呼び、
前記第２桟部の短手方向における前記交差部の幅を横幅Ｃ２と呼び、
前記交差部の前記横幅Ｃ１が前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１に比べて大きく、
前記交差部の前記横幅Ｃ２が前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２に比べて大きい、
ウェハ。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記枠部が環状の形状を持ち、
前記第１桟部の長手方向の中央部と前記第２桟部の長手方向の中央部とにおいて前記第１桟部と前記第２桟部とが直交する、
請求項１に記載のウェハ。
【請求項３】
前記交差部の前記横幅Ｃ１を前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１で除した値Ｃ１／Ｗ１が１．８～２．２であり、
前記交差部の前記横幅Ｃ２を前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２で除した値Ｃ２／Ｗ２が１．５～２．０である、
請求項２に記載のウェハ。
【請求項４】
それぞれ複数の前記チップが切り取り可能に設けられ、前記チップ形成領域においてそれぞれ前記第２桟部と平行に延びた複数の第３桟部を有し、
少なくとも一部の前記第３桟部は、一端が前記第１桟部本体に接続されており、
前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２が前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１より小さい、
請求項２に記載のウェハ。
【請求項５】
前記第２桟部本体の前記横幅Ｗ２を前記第１桟部本体の前記横幅Ｗ１で除した値Ｗ２／Ｗ１が、０．６＜Ｗ２／Ｗ１＜１．０である、
請求項４に記載のウェハ。
【請求項６】
一端が前記第２桟部本体に接続され、他端が前記枠部に接続され、前記第１桟部と平行に延びた１以上の第４桟部を有し、
少なくとも一部の前記第３桟部は、一端が１つの前記第４桟部に接続され、他端が前記枠部、前記第１桟部本体又は他の１つの前記第４桟部に接続されている、
請求項４に記載のウェハ。
【請求項７】
前記ウェハは、水晶ウェハである請求項１～請求項６のいずれか一項に記載のウェハ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数のチップが形成されたウェハに関するものである。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許５３５２７７７号公報の図６には、直交する２本の直線枠部１５ａ、１５ｂを備えた水晶基板９が記載されている。直線枠部１５ａと環状枠部１４の間に細長い枝枠部１８が渡されており、枝枠部１８の両側の縁に多数のデバイス形成部１６が設けられている。デバイス形成部１６の部分を枝枠部１８から切り離すことにより水晶振動片８が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許５３５２７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許５３５２７７７の水晶基板９における２本の直線枠部１５ａ、１５ｂの直交部分には応力が集中し易い。そのため、例えば治具に取り付ける際などにおいて水晶基板９に外力が加わると、この直交部分に応力が集中して破損し易いという問題がある。
【０００５】
また近年、移動体通信システム（５Ｇ、６Ｇなど）の高速化・大容量化などに伴って、電子機器の動作周波数は益々高くなる傾向にあり、クロック信号の生成などに用いられる水晶振動子には高周波化が求められている。水晶振動子を構成する水晶片は、周波数が高くなるほど薄くなるため、水晶片の製造に用いられる水晶ウェハには薄型化が求められている。しかしながら、特許５３５２７７７に示すような構造において水晶基板９（水晶ウェハ）が薄くなると、直線枠部１５ａ、１５ｂの直交部分は更に破損し易くなる。
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、切り取り可能な多数のチップが形成された構造において局部的なウェハの破損、特に直交部分の応力の集中による破損を生じ難くしたウェハを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、多数のチップが形成された板状のウェハであって、チップが形成されたチップ形成領域を囲む枠部と、両端が枠部に接続された第１桟部と、両端が枠部に接続され、チップ形成領域において第１桟部と交差する第２桟部とを有し、第１桟部と第２桟部とが交差する部分を交差部と呼び、第１桟部において交差部から枠部へ渡る部分を第１桟部本体と呼び、第２桟部において交差部から枠部へ渡る部分を第２桟部本体と呼び、第１桟部の短手方向における第１桟部本体の幅を横幅Ｗ１と呼び、第２桟部の短手方向における第２桟部本体の幅を横幅Ｗ２と呼び、第１桟部の短手方向における交差部の幅を横幅Ｃ１と呼び、第２桟部の短手方向における交差部の幅を横幅Ｃ２と呼び、交差部の横幅Ｃ１が第１桟部本体の横幅Ｗ１に比べて大きく、交差部の横幅Ｃ２が第２桟部本体の横幅Ｗ２に比べて大きい、ウェハである。
この構成によれば、第１桟部と第２桟部との交差部には応力が集中し易いが、交差部の横幅Ｃ１が第１桟部本体の横幅Ｗ１に比べて大きいこと、及び、交差部の横幅Ｗ２が第２桟部本体の横幅Ｗ２に比べて大きいことにより、交差部の強度が向上し、応力が集中しても交差部が破損し難くなる。また、交差部の強度を高めるために第１桟部及び第２桟部の全体を太くする場合に比べて、チップ形成領域を広くすることができるため、ウェハ当たりのチップの個数を多くすることができる。
【０００８】
好適に、枠部が環状の形状を持ち、第１桟部の長手方向の中央部と第２桟部の長手方向の中央部とにおいて第１桟部と第２桟部とが直交する。
これにより、第１桟部及び第２桟部によって枠部を支える場所がほぼ等間隔に離れるため、外力による枠部の変形が抑制され易くなる。
【０００９】
好適に、交差部の横幅Ｃ１を第１桟部本体の横幅Ｗ１で除した値Ｃ１／Ｗ１が１．８～２．２であり、交差部の横幅Ｃ２を第２桟部本体の横幅Ｗ２で除した値Ｃ２／Ｗ２が１．５～２．０である。
これにより、第１桟部本体及び第２桟部本体が太くなることによるチップ形成領域の減少を抑制しつつ、交差部の強度を高めて破損を生じ難くすることができる。
【００１０】
好適に、ウェハは、それぞれ複数のチップが切り取り可能に設けられ、チップ形成領域においてそれぞれ第２桟部と平行に延びた複数の第３桟部を有し、少なくとも一部の第３桟部は、一端が第１桟部本体に接続されており、第２桟部本体の横幅Ｗ２が第１桟部本体の横幅Ｗ１より小さい。
これにより、第３桟部からチップを切り取る際、その切り取りに伴う外力が第３桟部を介して第２桟部に直接作用しないため、第２桟部本体の横幅Ｗ２は、第１桟部本体の横幅Ｗ１より小さくてもよい。第２桟部本体の横幅Ｗ２が小さくなることにより、チップ形成領域が大きくなり、ウェハ当たりのチップの数を多くすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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