特許ウォッチ

公開番号2025080632
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-26
出願番号2023193916
出願日2023-11-14
発明の名称ウェハ
出願人日本電波工業株式会社
代理人個人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20250519BHJP(基本電子回路)
要約【課題】ウェハ当たりのチップの個数が減少することを回避しつつ、治具等に対して適切に位置決めすることが可能なウェハを提供する。
【解決手段】ウェハ1は、多数のチップ30が形成されたチップ形成領域10を囲む枠部11と、両端が枠部11に接続された第1桟部21と、両端が枠部11に接続され、チップ形成領域10の中央部で第1桟部21と交差する第2桟部22とを有する。第1桟部21には、ウェハ1を位置決めするための複数のピンが挿通される複数の位置決め用孔(41、42)が形成される。チップ形成領域10の外側に位置決め用孔(41、42)が形成されるため、ウェハ当たりのチップ30の個数が位置決め用孔(41、42)によって減少することを回避できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
多数のチップが形成された板状のウェハであって、
前記チップが形成されたチップ形成領域を囲む枠部と、
両端が前記枠部に接続された第１桟部と、
両端が前記枠部に接続され、前記チップ形成領域において前記第１桟部と交差する第２桟部とを有し、
前記ウェハを位置決めするための複数のピンが挿通される複数の位置決め用孔が前記第１桟部及び前記第２桟部の一方に形成される、又は、１以上の前記位置決め用孔が前記第１桟部及び前記第２桟部の両方に形成される、
ウェハ。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
それぞれ複数の前記チップが切り取り可能に設けられ、前記チップ形成領域においてそれぞれ前記第２桟部と平行に延びた複数の第３桟部を有し、
少なくとも一部の前記第３桟部は、一端が前記第１桟部に接続されており、
前記第１桟部の短手方向の横幅が前記第２桟部の短手方向の横幅より大きく、
複数の前記位置決め用孔が前記第１桟部に形成される、
請求項１に記載のウェハ。
【請求項３】
前記第１桟部に形成される複数の前記位置決め用孔は、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔を含み、
前記第１位置決め用孔と前記第２位置決め用孔とは、平面視において互いに非点対称かつ非線対称の関係にあり、
前記第１位置決め用孔と前記第２位置決め用孔の少なくとも一方が非線対称な平面形状を持つか、又は、前記第１位置決め用孔と前記第２位置決め用孔がそれぞれ異なる対称軸について線対称な平面形状を持つ、
請求項２に記載のウェハ。
【請求項４】
前記第１位置決め用孔と前記第２位置決め用孔は、互いに異なる平面形状を持つ、
請求項３に記載のウェハ。
【請求項５】
前記第１位置決め用孔の平面形状の中心と前記第２位置決め用孔の平面形状の中心とが、それぞれ前記第１桟部の短手方向の中央からずれている、
請求項４に記載のウェハ。
【請求項６】
前記第１位置決め用孔は、長方形の形状を持ち、
前記第２位置決め用孔は、平面視四角形であり、各辺の長さが前記長方形の長辺より短く短辺より長い矩形の形状を持つ、
請求項５に記載のウェハ。
【請求項７】
前記ウェハは、水晶ウェハである請求項１～請求項６のいずれか一項に記載のウェハ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数のチップが形成されたウェハに関するものである。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特表２０１７－５３０５６９号公報の図５等には、レーザ切断やブレード切断によってチップを切断するための多数の切断位置決め孔９が設けられた石英基板８が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２０１７－５３０５６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
切り取り可能な多数のチップが形成された水晶ウェハから個々のチップを切り取る場合、水晶ウェハを２次元方向の正しい位置に位置決めして治具等に固定する必要がある。特表２０１７－５３０５６９号公報に記載される石英基板８には多数の切断位置決め孔９が設けられているため、その分チップ形成範囲が狭くなり、ウェハ当たりのチップの個数が少なくなっている。ウェハが正しい位置で治具等に固定されていないと、チップを切り取る際に破損してしまう恐れがある。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウェハ当たりのチップの個数が減少することを回避しつつ、治具等に対して適切に位置決めすることが可能なウェハを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、多数のチップが形成された板状のウェハであって、チップが形成されたチップ形成領域を囲む枠部と、両端が枠部に接続された第１桟部と、両端が枠部に接続され、チップ形成領域において第１桟部と交差する第２桟部とを有し、ウェハを位置決めするための複数のピンが挿通される複数の位置決め用孔が第１桟部及び第２桟部の一方に形成される、又は、１以上の位置決め用孔が第１桟部及び第２桟部の両方に形成される、ウェハである。
この構成によれば、複数の位置決め用孔にそれぞれピンが挿入されることによって、治具等に対する平面上でのウェハの位置と姿勢が適切に設定される。また、チップ形成領域の外側に位置決め用孔が形成されるため、ウェハ当たりのチップの個数が位置決め用孔によって減少することを回避できる。更に、ウェハの外縁から離れた場所に位置決め用孔を形成できるため、治具等による制約を受け難くなり、位置決め用孔へ適切にピンを挿通させることができる。
【０００７】
好適に、ウェハは、それぞれ複数のチップが切り取り可能に設けられ、チップ形成領域においてそれぞれ第２桟部と平行に延びた複数の第３桟部を有し、少なくとも一部の第３桟部は、一端が第１桟部に接続されており、第１桟部の短手方向の横幅が第２桟部の短手方向の横幅より大きく、複数の位置決め用孔が第１桟部に形成される。
この構成によれば、第３桟部からチップを切り取る際、その切り取りに伴う外力が第３桟部を介して第２桟部に直接作用しないため、第２桟部の横幅は第１桟部の横幅より小さくてもよい。第２桟部の横幅が小さくなることにより、チップ形成領域が大きくなり、ウェハ当たりのチップの数を多くすることができる。また、第２桟部よりも横幅の大きい第１桟部に複数の位置決め用孔が形成されるため、位置決め用孔の形成による桟部の強度の低下が抑制され易くなる。
【０００８】
好適に、第１桟部に形成される複数の位置決め用孔は、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔を含み、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔とは、平面視において互いに非点対称かつ非線対称の関係にあり、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔の少なくとも一方が非線対称の平面形状を持つか、又は、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔がそれぞれ異なる対称軸について線対称の平面形状を持つ。
これにより、正しく位置決めされたウェハを１８０度回転させた場合や、正しく位置決めされたウェハの裏表を逆にした場合に、第１位置決め用孔及び第２位置決め用孔の配置が正しく位置決めされたウェハとは異なる配置になるため、これらの位置決め用孔へ位置決め用のピンを挿通させることができなくなる。
【０００９】
好適に、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔は、互いに異なる平面形状を持つ。
これにより、第１位置決め用孔と第２位置決め用孔とを平面形状によって識別し易くなるため、ウェハの位置と姿勢を目視や画像認識によって確認し易くなる。
【００１０】
好適に、第１位置決め用孔の平面形状の中心と第２位置決め用孔の平面形状の中心とが、それぞれ第１桟部の短手方向の中央からずれている。
これにより、第１桟部の短手方向における各位置決め用孔の位置と平面形状から、各位置決め用孔が第１位置決め用孔及び第２位置決め用孔のいずれであるかを識別し易くなるため、ウェハの位置と姿勢を目視や画像認識によって確認し易くなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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