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公開番号2025164648
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024113085
出願日2024-07-16
発明の名称水晶発振素子
出願人台灣晶技股ふん有限公司
代理人個人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20251023BHJP(基本電子回路)
要約【目的】優れた品質または信頼性を有する水晶発振素子を提供する。
【解決手段】水晶発振素子は、水晶シート、第1導電層、および第2導電層を含む。第1導電層は、水晶シートの第1表面上に位置する。第2導電層は、水晶シートの第2表面上に位置する。水晶シートは、それを貫通する溝または開口を有する。溝または開口の側壁と第1表面または第2表面の間は、60°～90°の角度を有する。
【選択図】図1D
特許請求の範囲【請求項１】
水晶シートと、
前記水晶シートの第１表面上に位置する第１導電層と、
前記水晶シートの第２表面上に位置する第２導電層と、
を含み、前記水晶シートが、それを貫通する溝または開口を有し、前記溝または開口の側壁と前記第１表面または前記第２表面の間が、６０°～９０°の角度を有する水晶発振素子。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
前記溝または開口が、ドライエッチング法によって形成された請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項３】
前記溝または開口の中心軸と前記第１表面または前記第２表面の間が、７５°～９０°の角度を有する請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項４】
前記溝または開口の前記側壁の輪郭が、異なる断面において一致する請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項５】
前記溝または開口の深さが、前記溝または開口の最小幅の１．５倍、またはそれ以上である請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項６】
断面において、前記溝または開口の幅が、前記第２表面から前記第１表面に向かって徐々に広がる請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項７】
断面において、前記溝または開口の前記側壁が、平坦な面である請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項８】
前記溝または開口の最も狭い部分の水平位置が、前記第１表面と前記第２表面の間に位置する請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項９】
前記溝または開口の前記側壁が、前記第１表面に近い第１部分および前記第２表面に近い第２部分を有し、前記第１部分および前記第２部分が、対応する平坦な面を示す請求項１に記載の水晶発振素子。
【請求項１０】
前記溝または開口が、複数回のドライエッチング法によって形成された請求項８または９に記載の水晶発振素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶発振素子に関するものであり、特に、その溝または開口の側壁が特定の角度範囲を有する水晶発振素子に関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
水晶発振素子は、振動周波数を生成するための電子部品であり、その製造方法は、一般的に、対応する水晶板を適切に切断して、適切な溝または開口のパターンを形成することである。その後、パッケージ化または切断を行って、対応する水晶発振素子または水晶発振素子を形成する。
【０００３】
しかしながら、電子製品が軽薄短小の傾向になるにつれ、その中にある水晶発振素子のサイズも、それに対応して縮小しなければならなくなった。しかしながら、水晶発振素子の溝または開口を形成する過程において、溝や開口の形態（morphology）の良し悪しは、しばしば水晶発振素子または水晶発振素子の品質や収率に大きな影響を与える要因となる。したがって、いかにして水晶発振素子の品質または信頼性を向上させるかが、研究課題となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、対応する製造工程および／または対応する構造特性（例えば、溝または開口の側壁が有する特定範囲の角度）により、優れた品質または信頼性を有することのできる水晶発振素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、優れた品質または信頼性を有する水晶発振素子を提供する。
【０００６】
本発明の水晶発振素子は、水晶シート、第１導電層、および第２導電層を含む。第１導電層は、水晶シートの第１表面上に位置する。第２導電層は、水晶シートの第２表面上に位置する。水晶シートは、それを貫通する溝または開口を有する。溝または開口の側壁と第１表面または第２表面の間は、６０°～９０°の角度を有する。
【発明の効果】
【０００７】
以上のように、水晶シートの溝または開口の側壁は、６０°～９０°の角度を有するため、それを含む水晶発振素子は、優れた品質を有し、応用上においても優れた信頼性を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第１実施形態に係る水晶発振素子の一部の製造方法の上面概略図である。
本発明の第１実施形態に係る水晶発振素子の一部の製造方法の部分断面概略図である。
本発明の第１実施形態に係る水晶発振素子の一部の製造方法の部分断面概略図である。
本発明の第１実施形態に係る水晶発振素子の一部の製造方法の部分断面概略図である。
本発明の第２実施形態に係る水晶発振素子の断面概略図である。
本発明の第３実施形態に係る水晶発振素子の一部の製造方法の部分断面概略図である。
本発明の第３実施形態に係る水晶発振素子の一部の製造方法の部分断面概略図である。
本発明の第４実施形態に係る水晶発振素子の断面概略図である。
本発明の１つの実施形態に係る水晶発振素子の上面概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図面において、明確にするため、一部の組織または膜層のサイズまたは外観を拡大、縮小、または誇張して描くことがある。例えば、後続の図において、溝または開口の傾斜角度および／または幅は、誇張して描かれている可能性がある。また、説明書に示した数値は、当該数値およびその分野において一般的な知識を有する者が許容する偏差範囲内の偏差値を含むことができる。上記の偏差値は、製造過程または測定過程における１つまたは複数の標準偏差（standard deviation）、あるいは計算または換算過程において採用した桁数、四捨五入、誤差伝播（error propagation）などの他の要素によって生じる計算誤差であってもよい。
【００１０】
また、説明書において言及される方向性の用語、例えば、上または下は、単に添付した図面の方向を参照したものである。したがって、特に説明されていない限り、使用されている方向性の用語は、説明のためのものであり、本発明を限定するものではない。また、異なる図面間の方向関係を明確に示すために、一部の図では、デカルト座標系（cartesian coordinate system、すなわち、ＸＹＺ直交座標系）を用いて対応する方向を例示的に示しているが、本発明はこれに限定されない。
（【００１１】以降は省略されています）

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