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公開番号2025173157
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-27
出願番号2024078593
出願日2024-05-14
発明の名称弾性波装置
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H03H 9/25 20060101AFI20251119BHJP(基本電子回路)
要約【課題】放熱性が向上した弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ1は、互いに対向する主面10aおよび10bを有する基板10と、主面10aと対面する主面70aを有する基板70と、主面70aに配置された機能電極31および32と、主面10aおよび70aの間に配置された枠体20と、を備え、枠体20は、主面10aおよび70aを平面視した場合に機能電極31および32を囲む壁体22と、上記平面視において、空隙81を介して壁体22の外周に配置された壁体21と、を含み、壁体21は、内周面21aと外周面21bとの間を貫通し、空隙81と通じる少なくとも1つの開口部80を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
互いに対向する第１主面および第２主面を有する第１基板と、
前記第１主面と対面する第３主面を有する第２基板と、
前記第３主面に配置された機能電極と、
前記第１主面および前記第３主面の間に配置された枠体と、を備え、
前記枠体は、
前記第１主面および前記第３主面を平面視した場合に前記機能電極を囲む第１壁体と、
前記平面視において、空隙を介して前記第１壁体の外周に配置された第２壁体と、を含み、
前記第２壁体は、内周面と外周面との間を貫通し、前記空隙と通じる少なくとも１つの開口部を有する、
弾性波装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記第２壁体は、前記平面視において前記空隙を介して前記第１壁体を囲むよう配置される、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第２壁体は、前記空隙と通じる複数の前記開口部を有する、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記複数の開口部は、第１開口部および第２開口部を含み、
前記第１開口部と前記機能電極との距離は、前記第２開口部と前記機能電極との距離よりも小さく、
前記第１開口部の開口径は、前記第２開口部の開口径よりも大きい、
請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項５】
互いに対向する第１主面および第２主面を有する第１基板と、
前記第１主面と対面する第３主面を有する第２基板と、
前記第３主面に配置された機能電極と、
前記第１主面および前記第３主面の間に配置された枠体と、を備え、
前記枠体は、
前記第１主面および前記第３主面を平面視した場合に前記機能電極を囲む第１壁体と、
前記平面視において、前記第１壁体の外周に、空隙を介して前記第１壁体の一部に沿って配置された第２壁体と、を含み、
前記平面視において、前記空隙は前記第２壁体の両端を介して前記第２壁体の外周領域と通じる、
弾性波装置。
【請求項６】
前記第１壁体の外側表面の方が前記第１壁体の内側表面よりも粗い、
請求項１～５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１壁体は、金属からなる導体部を含む、
請求項６に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記導体部は、アルミニウムからなる、
請求項７に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記第１壁体の外側表面は、アルミニウム酸化物を含む、
請求項８に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記第１壁体の外側表面は、ベーマイトを含む、
請求項９に記載の弾性波装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、上側基板および下側基板の間に配置された薄膜圧電素子と、当該薄膜圧電素子を囲むように配置された、多重リング構造を有する封止リングと、を備えた微小電気機械装置（弾性波装置）が開示されている。上記構成により確実な封止（気密性）が可能であるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－２８８４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
移動体通信の高出力化要求に伴い、気密性とともに放熱性が向上した弾性波装置が求められている。
【０００５】
そこで、本発明は、放熱性が向上した弾性波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波装置は、互いに対向する第１主面および第２主面を有する第１基板と、第１主面と対面する第３主面を有する第２基板と、第３主面に配置された機能電極と、第１主面および第３主面の間に配置された枠体と、を備え、枠体は、第１主面および第３主面を平面視した場合に機能電極を囲む第１壁体と、上記平面視において、空隙を介して第１壁体の外周に配置された第２壁体と、を含み、第２壁体は、内周面と外周面との間を貫通し、空隙と通じる少なくとも１つの開口部を有する。
【０００７】
また、本発明の一態様に係る弾性波装置は、互いに対向する第１主面および第２主面を有する第１基板と、第１主面と対面する第３主面を有する第２基板と、第３主面に配置された機能電極と、第１主面および第３主面の間に配置された枠体と、を備え、枠体は、第１主面および第３主面を平面視した場合に機能電極を囲む第１壁体と、上記平面視において、第１壁体の外周に、空隙を介して第１壁体の一部に沿って配置された第２壁体と、を含み、上記平面視において、空隙は第２壁体の両端を介して第２壁体の外周領域と通じる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、放熱性が向上した弾性波装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施の形態に係る弾性波フィルタの断面図である。
実施の形態に係る弾性波フィルタの平面図である。
実施の形態に係る弾性波フィルタを構成する弾性波共振子の第１例を模式的に表す平面図および断面図である。
実施の形態に係る弾性波フィルタを構成する弾性波共振子の第２例を模式的に表す断面図である。
実施の形態に係る弾性波フィルタを構成する弾性波共振子の第３例を模式的に表す断面図である。
実施の形態の変形例１に係る弾性波フィルタの平面図である。
実施の形態の変形例２に係る弾性波フィルタの平面図である。
実施の形態の変形例３に係る弾性波フィルタの断面図である。
実施の形態の変形例３に係る弾性波フィルタの平面図である。
実施の形態の変形例３に係る第１壁体の外側断面および外側表面の電子顕微鏡画像を表す図である。
実施の形態の変形例３に係る第１壁体の内側断面および内側表面の電子顕微鏡画像を表す図である。
実施の形態の変形例３に係る第１壁体の表面積の評価方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさまたは大きさの比は、必ずしも厳密ではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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