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公開番号2025079991
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192928
出願日2023-11-13
発明の名称音叉型圧電振動片
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20250516BHJP(基本電子回路)
要約【課題】より強度の高い音叉型圧電振動片を提供する。
【解決手段】
平面視で音叉形状を有し、基部20と、基部20の一端側から伸びる一対の振動腕部21、22と、基部20において一対の振動腕部21、22の間から振動腕部21、22と同じ方向に伸びる支持腕部23とを備え、支持腕部23は、容器3に対して接合されている金属バンプ7a、7bと、金属バンプ7a、7bが設けられている領域に、支持腕部23における他の領域と比較して厚み方向に厚い厚肉部24とを有する、容器3の内部に搭載されて音叉型圧電振動子1となる音叉型圧電振動片2とした。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
平面視で音叉形状を有し、容器の内部に搭載されて圧電振動子となる音叉型圧電振動片であって、
基部と、
前記基部の一端側から伸びる一対の振動腕部と、
一対の前記振動腕部の間から前記振動腕部と同じ方向に伸びる支持腕部とを備え、
前記支持腕部は、
前記容器に対して接合されている接合部と、
前記接合部が設けられている領域に、前記支持腕部における他の領域と比較して厚み方向に厚い厚肉部とを有する
音叉型圧電振動片。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
前記厚肉部は、
前記厚み方向において少なくとも前記接合部側に凸となるよう形成されている
請求項１記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記接合部を構成する接合部材が、金属からなるバンプで形成されている
請求項１または２記載の音叉型圧電振動片。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の振動腕が屈曲振動モードで振動する音叉型圧電振動片に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
音叉型圧電振動片は、時計等の基準信号の周波数発生源として従来から広く使用されている。このような音叉型圧電振動片は、絶縁基体（容器）の凹形状の内部において接合されて実装され、凹部を蓋によって気密封止された表面実装型の音叉型圧電振動子として使用されている。
【０００３】
このような音叉型圧電振動子として、基部から互いに平行に延びている第１及び第２の振動腕と、これら振動腕の間に前述の基部から延びている支持腕とを有する３本腕の音叉型水晶片を内部に搭載した音叉型水晶振動子が開示されている（特許文献１参照）。このような３本腕の音叉型水晶片は、振動腕の左右に支持腕を有する音叉型水晶片と比較して、小型化が可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１６５３４８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されているような、振動腕の間に基部から延びている支持腕を有する構成では、音叉型水晶振動子（音叉型圧電振動子）に対して衝撃が加わった際に、衝撃による応力が音叉型水晶振動片（音叉型圧電振動片）の支持腕の容器との接合部分に集中し、接合部分において音叉型圧電振動片が破断するおそれがあった。すなわち、振動腕の間に基部から延びている支持腕を有する形状を有した音叉型圧電振動片について、より強度の高い音叉型圧電振動片が望まれていた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、より強度の高い音叉型圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、平面視で音叉形状を有し、容器の内部に搭載されて圧電振動子となる音叉型圧電振動片であって、基部と、前記基部の一端側から伸びる一対の振動腕部と、一対の前記振動腕部の間から前記振動腕部と同じ方向に伸びる支持腕部とを備え、前記支持腕部は、前記容器に対して接合されている接合部と、前記接合部が設けられている領域に、前記支持腕部における他の領域と比較して厚み方向に厚い厚肉部とを有する音叉型圧電振動片であることを特徴としている。
【０００８】
すなわち、本発明の音叉型圧電振動片は、一対の振動腕部の間から振動腕部と同じ方向に伸びる支持腕部を備え、支持腕部における他の領域と比較して厚み方向に厚い厚肉部を、容器と接合されている接合部が設けられている領域に有する構成である。このような構成により、音叉型圧電振動片の接合部付近における物理的強度を高め、より強度の高い音叉型圧電振動片とすることができる。
【０００９】
また、前記厚肉部が、前記厚み方向において少なくとも前記接合部側に凸となるよう形成されている構成であってもよい。このような構成であれば、音叉型圧電振動片を容器に搭載して音叉型圧電振動子とした場合に、支持腕部における厚肉部以外の部位と容器との間隔を十分に確保することができる。すなわち、音叉型圧電振動子が外部から衝撃を受けた場合であっても、内部の音叉型圧電振動片が容器と接触することを防止することができる。
【００１０】
また、前記接合部を構成する接合部材が、金属からなるバンプで形成されている構成であってもよい。このような構成であれば、音叉型圧電振動片と容器との接合を金属によるバンプ接合とすることができる。そして、金属によるバンプ接合であれば、接着剤による接合と比較して容器と音叉型圧電振動片との接合強度を向上させることができる。また、接合強度が向上することによって、外部からの衝撃がより音叉型圧電振動片に伝わりやすくなるが、本発明の音叉型圧電振動片は、物理的強度が向上しているため、音叉型圧電振動片において衝撃による応力が集中する接合部付近が破損することを防止することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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