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公開番号
2025115580
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-08-07
出願番号
2024010112
出願日
2024-01-26
発明の名称
半導体装置
出願人
三菱電機株式会社
代理人
個人
,
個人
主分類
H03K
17/08 20060101AFI20250731BHJP(基本電子回路)
要約
【課題】簡易な構成で半導体素子のオンオフ状態遷移を制御する。
【解決手段】半導体装置は、第1の半導体素子と並列に接続される第2の半導体素子と、ソース用半導体素子と、シンク用半導体素子と、第1の半導体素子のゲート端子と、第2の半導体素子のゲート端子との間に接続されるソースシンク接続用半導体素子と、第1の半導体素子、第2の半導体素子の順でオン状態に遷移させ、第2の半導体素子、第1の半導体素子の順でオフ状態に遷移させるように、ソース用半導体素子、シンク用半導体素子、ソースシンク接続用半導体素子のオンオフ状態遷移を制御するための制御回路とを備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲
【請求項1】
第1の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と並列に接続される第2の半導体素子と、
第1の電源電位と前記第1の半導体素子のゲート端子との間に接続される第1のソース用半導体素子と、
基準電位と前記第2の半導体素子のゲート端子との間に接続される第1のシンク用半導体素子と、
前記第1の半導体素子の前記ゲート端子と、前記第2の半導体素子の前記ゲート端子との間に接続されるソースシンク接続用半導体素子と、
前記第1の半導体素子、前記第2の半導体素子の順でオン状態に遷移させ、かつ、前記第2の半導体素子、前記第1の半導体素子の順でオフ状態に遷移させるように、前記第1のソース用半導体素子、前記第1のシンク用半導体素子および前記ソースシンク接続用半導体素子のオンオフ状態遷移を制御するための制御回路とを備える、
半導体装置。
続きを表示(約 1,900 文字)
【請求項2】
請求項1に記載の半導体装置であり、
前記制御回路が、
前記ソースシンク接続用半導体素子をオフ状態とすることで前記第1の半導体素子をオン状態に遷移させた後、前記ソースシンク接続用半導体素子をオン状態とすることで前記第2の半導体素子をオン状態に遷移させ、
前記ソースシンク接続用半導体素子をオフ状態とすることで前記第2の半導体素子をオフ状態に遷移させた後、前記ソースシンク接続用半導体素子をオン状態とすることで前記第2の半導体素子をオフ状態に遷移させる、
半導体装置。
【請求項3】
請求項1または2に記載の半導体装置であり、
前記ソースシンク接続用半導体素子のゲート端子に接続され、かつ、前記ソースシンク接続用半導体素子のゲートを充電する第2のソース用半導体素子と、
前記ソースシンク接続用半導体素子の前記ゲート端子に接続され、かつ、前記ソースシンク接続用半導体素子のゲートを放電する第2のシンク用半導体素子とをさらに備え、
前記ソースシンク接続用半導体素子が、
NチャネルMOSFETであり、
前記第1のソース用半導体素子を介して前記第1の電源電位に接続され、
前記第2のソース用半導体素子を介して前記第1の電源電位よりも高い電位である第2の電源電位と接続される、
半導体装置。
【請求項4】
請求項1または2に記載の半導体装置であり、
前記ソースシンク接続用半導体素子が、NチャネルMOSFETとPチャネルMOSFETとが並列接続された素子であり、
前記NチャネルMOSFETおよび前記PチャネルMOSFETが、前記第1の半導体素子の前記ゲート端子と、前記第2の半導体素子の前記ゲート端子との間に接続され、
前記第1の半導体素子および前記第2の半導体素子が、互いにオン状態およびオフ状態が同期する、
半導体装置。
【請求項5】
請求項1または2に記載の半導体装置であり、
前記第1の半導体素子のゲート電圧を第1のゲート電圧として検出する第1のゲート電圧検出器と、
前記第2の半導体素子のゲート電圧を第2のゲート電圧として検出する第2のゲート電圧検出器とをさらに備え、
前記制御回路が、前記第1のゲート電圧および前記第2のゲート電圧に基づいて、前記第1の半導体素子および前記第2の半導体素子のうちの後からオンオフ状態遷移するほうの遷移タイミングを制御する、
半導体装置。
【請求項6】
請求項1または2に記載の半導体装置であり、
前記第1の電源電位と接続され、かつ、前記第1の電源電位よりも高い第2の電源電位を出力可能な内部電源回路をさらに備え、
前記第1のソース用半導体素子が、前記内部電源回路と前記第1の半導体素子の前記ゲート端子との間に接続される、
半導体装置。
【請求項7】
請求項6に記載の半導体装置であり、
前記第1の半導体素子と前記第2の半導体素子とを備える並列接続回路に流れる電流を検出する電流検出回路をさらに備え、
前記制御回路が、前記電流検出回路で検出された電流の値に応じて、前記内部電源回路から前記第1のソース用半導体素子へ、前記第1の電源電位を出力するか前記第2の電源電位を出力するかを制御する、
半導体装置。
【請求項8】
請求項1または2に記載の半導体装置であり、
前記第1の半導体素子の前記ゲート端子と、前記基準電位との間に接続される第3のシンク用半導体素子をさらに備え、
前記制御回路が、前記第1の半導体素子のオフ状態遷移後に前記第3のシンク用半導体素子をオン状態にさせて、前記第1の半導体素子のゲート電位を前記基準電位に保持させる、
半導体装置。
【請求項9】
請求項8に記載の半導体装置であり、
前記第2の半導体素子の前記ゲート端子と前記第3のシンク用半導体素子との間に接続されるシンク用ダイオードをさらに備える、
半導体装置。
【請求項10】
請求項1または2に記載の半導体装置であり、
前記第1の半導体素子と前記第2の半導体素子とが並列に接続された並列接続回路が、直列および並列に複数接続され、
それぞれの前記並列接続回路に対し、前記第1のソース用半導体素子と、前記第1のシンク用半導体素子と、前記ソースシンク接続用半導体素子と、前記制御回路とを備える駆動回路が接続される、
半導体装置。
(【請求項11】以降は省略されています)
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本願明細書に開示される技術は、半導体装置に関するものである。
続きを表示(約 1,800 文字)
【背景技術】
【0002】
従来から、モータ駆動用のインバータ装置などのパワー素子として、安価なSi(ケイ素)からなるIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)またはMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)などが一般的に使用されている。
【0003】
一方で近年では、ワイドバンドギャップ半導体であるSiC(炭化ケイ素)またはGaN(窒化ガリウム)からなる高効率のパワー素子が使用されることが増えてきている。ここで、ワイドバンドギャップ半導体とは、一般に、およそ2eV以上の禁制帯幅をもつ半導体を指し、窒化ガリウム(GaN)などの3族窒化物、酸化亜鉛(ZnO)などの2族酸化物、セレン化亜鉛(ZnSe)などの2族カルコゲナイド、ダイヤモンドおよび炭化珪素などが知られる。
【0004】
しかしながらワイドバンドギャップ半導体は高価であるため、コストを重視する民生機器などにはその普及が進んでいない。そこで、家庭用エアコンのコンプレッサーの駆動モータなど、低電流での使用時間が長い用途向けに、小サイズのSiC-MOSFETとSi-IGBTとを並列接続して構成される並列回路を製品に用いることが提案されている(たとえば、特許文献1を参照)。このような製品によれば、SiC-MOSFETのサイズが小さいことに起因するコスト低減と、SiC-MOSFETの低電流時の良好なDC特性に起因する効率の改善(つまり損失の低減化)とが期待されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特許第6919292号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
効率の改善とコスト低減とを両立させるためには、SiC-MOSFETの素子サイズを小さくすることが必要となるが、SiC-MOSFETの素子サイズが小さくなると通流可能な電流量(許容電流量)が低くなることから、大電流がSiC-MOSFETのみに流れて破壊に至らないように、ゲート駆動回路においてSiC-MOSFETのみがオン状態とならないように適切な順序で制御する必要がある。
【0007】
一方で、上記の制御のためには、それぞれの素子のゲート駆動回路、および、それぞれの素子を個別のタイミングでオンオフ状態遷移を制御するためのロジック回路が必要となり、回路規模が増大する懸念、また、オンオフ状態遷移のタイミング制御が複雑化することでシステムの誤動作を招く懸念がある。
【0008】
本願明細書に開示される技術は、以上に記載されたような問題を鑑みてなされたものであり、簡易な構成で半導体素子のオンオフ状態遷移を制御し、半導体素子が破壊されることを抑制するための技術である。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本願明細書に開示される技術の第1の態様である半導体装置は、第1の半導体素子と、前記第1の半導体素子と並列に接続される第2の半導体素子と、第1の電源電位と前記第1の半導体素子のゲート端子との間に接続される第1のソース用半導体素子と、基準電位と前記第2の半導体素子のゲート端子との間に接続される第1のシンク用半導体素子と、前記第1の半導体素子の前記ゲート端子と、前記第2の半導体素子の前記ゲート端子との間に接続されるソースシンク接続用半導体素子と、前記第1の半導体素子、前記第2の半導体素子の順でオン状態に遷移させ、かつ、前記第2の半導体素子、前記第1の半導体素子の順でオフ状態に遷移させるように、前記第1のソース用半導体素子、前記第1のシンク用半導体素子および前記ソースシンク接続用半導体素子のオンオフ状態遷移を制御するための制御回路とを備える。
【発明の効果】
【0010】
本願明細書に開示される技術の少なくとも第1の態様によれば、ソースシンク接続用半導体素子を備える簡易な回路構成によって、半導体素子それぞれのオンオフ状態の遷移を制御して、半導体素子が破壊されることを抑制することができる。
(【0011】以降は省略されています)
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