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公開番号2024135185
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023045747
出願日2023-03-22
発明の名称測定デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03B 5/32 20060101AFI20240927BHJP(基本電子回路)
要約【課題】高い精度で測定対象を測定することのできる測定デバイスを提供すること。
【解決手段】測定デバイスは、振動素子と、前記振動素子を加熱する温度制御回路素子と、前記振動素子を発振させる発振回路素子と、前記発振回路素子が出力する発振信号に基づいて測定対象を測定する測定回路素子と、前記振動素子、前記温度制御回路素子、前記発振回路素子および前記測定回路素子が実装されているパッケージと、を有し、前記パッケージは、気密封止されている収容空間を有し、前記収容空間に少なくとも前記振動素子および前記温度制御回路素子が収容されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
振動素子と、
前記振動素子を加熱する温度制御回路素子と、
前記振動素子を発振させる発振回路素子と、
前記発振回路素子が出力する発振信号に基づいて測定対象を測定する測定回路素子と、
前記振動素子、前記温度制御回路素子、前記発振回路素子および前記測定回路素子が実装されているパッケージと、を有し、
前記パッケージは、気密封止されている収容空間を有し、
前記収容空間に少なくとも前記振動素子および前記温度制御回路素子が収容されていることを特徴とする測定デバイス。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記パッケージは、第１面に開口する第１凹部および前記第１面と表裏関係にある第２面に開口する第２凹部を有するベースと、前記第１面に接合され前記第１凹部の開口を覆って前記収容空間を形成するリッドと、を有する請求項１に記載の測定デバイス。
【請求項３】
前記第１凹部に前記振動素子、前記温度制御回路素子、前記発振回路素子が配置され、
前記第２凹部に前記測定回路素子が配置されている請求項２に記載の測定デバイス。
【請求項４】
前記測定回路素子は、ＡＤ変換回路を含む第１測定回路素子と、前記発振信号および前記ＡＤ変換回路から出されるデジタル信号に基づいて前記測定対象を測定する第２測定回路素子と、を有し、
前記第１凹部に前記振動素子、前記温度制御回路素子、前記発振回路素子および前記第２測定回路素子が配置され、
前記第２凹部に前記第１測定回路素子が配置されている請求項２に記載の測定デバイス。
【請求項５】
前記第１凹部の底部に前記温度制御回路素子および前記第２測定回路素子が配置され、
前記第２凹部の底部に前記第１測定回路素子が配置されている請求項４に記載の測定デバイス。
【請求項６】
前記パッケージは、第１面に開口する第１凹部を有するベースと、前記第１面に接合され前記第１凹部の開口を覆って前記収容空間を形成するリッドと、を有し、
前記第１凹部に前記振動素子、前記温度制御回路素子、前記発振回路素子および前記測定回路素子が配置されている請求項１に記載の測定デバイス。
【請求項７】
前記測定対象は、外部から入力される信号の周波数である請求項１に記載の測定デバイス。
【請求項８】
前記測定対象は、外部から入力される信号の電圧である請求項１に記載の測定デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定デバイスに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、水晶振動子を備えた発振器が発振するクロック信号および発振器の外部から入力される外部クロック信号の一方に基づいて他方の周波数を測定する回路装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０９７３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、発振器が温度依存性を有するため、外部温度によって発振器が発振するクロック信号が変動し、周波数測定精度が低下するおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の測定デバイスは、振動素子と、
前記振動素子を加熱する温度制御回路素子と、
前記振動素子を発振させる発振回路素子と、
前記発振回路素子が出力する発振信号に基づいて測定対象を測定する測定回路素子と、
前記振動素子、前記温度制御回路素子、前記発振回路素子および前記測定回路素子が実装されているパッケージと、を有し、
前記パッケージは、気密封止されている収容空間を有し、
前記収容空間に少なくとも前記振動素子および前記温度制御回路素子が収容されている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る測定デバイスの回路構成を示すブロック図である。
測定デバイスの断面図である。
収容空間内を示す上面図である。
収容空間内を示す上面図である。
測定デバイスの回路構成を示すブロック図である。
第２実施形態に係る測定デバイスの断面図である。
第３実施形態に係る測定デバイスの断面図である。
ＰＬＬ回路のブロック図である。
第４実施形態に係る測定デバイスの断面図である。
第５実施形態に係る測定デバイスの断面図である。
測定デバイスの変形例を示す断面図である。
第６実施形態に係る測定デバイスの回路構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の測定デバイスの好適な実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【０００８】
なお、説明の便宜上、ブロック図を除く各図には互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｚ軸の矢印側を「上」とも言い、反対側を「下」とも言う。
【０００９】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る測定デバイスの回路構成を示すブロック図である。図２は、測定デバイスの断面図である。図３および図４は、それぞれ、収容空間内を示す上面図である。図５は、測定デバイスの回路構成を示すブロック図である。
【００１０】
まずは、測定デバイス１の回路構成について説明する。図１に示すように、測定デバイス１は、振動素子２を発振させる発振回路９１を有する。このような発振回路９１は、振動素子２から出力される信号を増幅して振動素子２にフィードバックすることにより振動素子２を発振させ、発振信号を生成する回路である。
（【００１１】以降は省略されています）

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