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公開番号2024142731
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-11
出願番号2023055028
出願日2023-03-30
発明の名称BAWフィルタ
出願人日東電工株式会社
代理人個人,個人
主分類H03H 9/54 20060101AFI20241003BHJP(基本電子回路)
要約【課題】音響散乱を小さく抑え、フィルタ特性を向上できるBAWフィルタを提供する。
【解決手段】本発明に係BAWフィルタは、支持基材上に、複数の直列共振子と、前記直列共振子に対して並列に接続された、複数の並列共振子とを備えるBAWフィルタであって、前記直列共振子は、第1の電極、第1の圧電体層及び第2の電極をこの順に積層して備え、前記並列共振子は、第3の電極、第2の圧電体層、第4の電極及び周波数調整層をこの順に積層して備え、前記第2の電極と前記第4の電極とが、連結用電極により電気的に接続され、前記周波数調整層の音響インピーダンスが、前記第4の電極の音響インピーダンス未満であり、かつ前記連結用電極の音響インピーダンスを超える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
支持基材上に、複数の直列共振子と、前記直列共振子に対して並列に接続された、複数の並列共振子とを備えるＢＡＷフィルタであって、
前記直列共振子は、第１の電極、第１の圧電体層及び第２の電極をこの順に積層して備え、
前記並列共振子は、第３の電極、第２の圧電体層、第４の電極及び周波数調整層をこの順に積層して備え、
前記第２の電極と前記第４の電極とが、連結用電極により電気的に接続され、
前記周波数調整層の音響インピーダンスが、前記第４の電極の音響インピーダンス未満であり、かつ前記連結用電極の音響インピーダンスを超えるＢＡＷフィルタ。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記第４の電極の音響インピーダンスと前記周波数調整層の音響インピーダンスとの差が、３０×１０
８
Ｎ／ｍ
２
以下である請求項１に記載のＢＡＷフィルタ。
【請求項３】
前記連結用電極が、前記周波数調整層と接続される請求項１に記載のＢＡＷフィルタ。
【請求項４】
前記周波数調整層は、Ａｕ、Ｃｕ及びＡｇのうち何れか１つ以上の成分を含む請求項１に記載のＢＡＷフィルタ。
【請求項５】
前記第２の電極及び前記第４の電極は、Ｒｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ及びＣｕのうち何れか１つ以上の成分を含む請求項１に記載のＢＡＷフィルタ。
【請求項６】
前記支持基材と前記第１の電極及び前記第３の電極との間に、音響ミラー層を有し、
前記音響ミラー層は、高音響インピーダンス層と低音響インピーダンス層が交互に一対以上積層された積層体、又は前記支持基材と前記第１の電極及び前記第３の電極との間に形成された空隙である請求項１に記載のＢＡＷフィルタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＢＡＷフィルタに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
複数の弾性波共振子を接続することによって構成されたバルク弾性波（ＢＡＷ：ＢｕｌｋＡｃｏｕｓｔｉｃＷａｖｅ）フィルタがある。ＢＡＷフィルタの弾性波共振子は、圧電体層と、圧電体層を積層方向に挟み込むように配置された２つの電極層とを備え、電極に電圧を印加することで、圧電体層を伝搬する弾性波を生じさせる。
【０００３】
ＢＡＷフィルタとして、例えば、基板上に、Ｒｕ層及びＣｒ層の２層構造の下部電極膜と、ＡｌＮからなる圧電膜と、Ｒｕからなる上部電極膜とを備え、上部電極膜上の下部電極膜と対向する領域に、Ｔｉからなる第１の調整層と、ＳｉＯ
２
からなる第２の調整層を有する共振子を複数組み合わせたフィルタが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－２８６９４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の共振子では、第１の調整層を構成するＴｉは高い抵抗率を有するため、フィルタの音響を損失する、という問題があった。また、上部電極膜を構成するＲｕ及び第２の調整層を構成するＳｉＯ
２
のような、音響インピーダンスが高い層の間に、第１の調整層を構成するＴｉのような音響インピーダンスが低い層が存在すると、音響散乱が生じ、フィルタ特性の劣化を引き起こす、という問題があった。
【０００６】
本発明の一態様は、音響散乱を小さく抑え、フィルタ特性を向上できるＢＡＷフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るＢＡＷフィルタの一態様は、
支持基材上に、複数の直列共振子と、前記直列共振子に対して並列に接続された、複数の並列共振子とを備えるＢＡＷフィルタであって、
前記直列共振子は、第１の電極、第１の圧電体層及び第２の電極をこの順に積層して備え、
前記並列共振子は、第３の電極、第２の圧電体層、第４の電極及び周波数調整層をこの順に積層して備え、
前記第２の電極と前記第４の電極とが、連結用電極により電気的に接続され、
前記周波数調整層の音響インピーダンスが、前記第４の電極の音響インピーダンス未満であり、かつ前記連結用電極の音響インピーダンスを超えるＢＡＷフィルタである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るＢＡＷフィルタの一態様は、音響散乱を小さく抑え、フィルタ特性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の実施形態に係るＢＡＷフィルタの回路構成の一例を示す図である。
本発明の実施形態に係るＢＡＷフィルタの構成の一例を模式的に示す断面図である。
ＢＡＷフィルタにおける音響散乱を示す説明図である。
周波数と透過率との関係の一例を示す図である。
ＢＡＷフィルタにおける運動エネルギーのロスを示す説明図である。
ＢＡＷフィルタの他の構成の一例を示す概略断面図である。
ＢＡＷフィルタの他の構成の一例を示す概略断面図である。
実施例１及び比較例１のフィルタ特性の算出結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の符号を付して、重複する説明は省略する。また、図面における各部材の縮尺は実際とは異なる場合がある。本明細書において数値範囲を示す「～」は、別段の断わりがない限り、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
（【００１１】以降は省略されています）

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