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公開番号2025063341
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-16
出願番号2022037075
出願日2022-03-10
発明の名称センサデバイス
出願人日東電工株式会社
代理人個人,個人
主分類H10N 30/87 20230101AFI20250409BHJP()
要約【課題】使用される環境の温度変化によって生じる電極の電圧降下の変動を抑制できるセンサデバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサデバイスは、支持体上に、機能層と、前記機能層を介して直列に接続された一対の電極とを備え、前記一対の電極は、正の値及び負の値のうち一方の値の抵抗温度係数を有する第1の電極と、正の値及び負の値のうち他方の値の抵抗温度係数を有する第2の電極とからなる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
支持体上に、機能層と、前記機能層を介して直列に接続された一対の電極とを備え、
前記一対の電極は、正の値及び負の値のうち一方の値の抵抗温度係数を有する第１の電極と、正の値及び負の値のうち他方の値の抵抗温度係数を有する第２の電極とからなるセンサデバイス。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
前記第１の電極と前記第２の電極とが対向するように配置されている請求項１に記載のセンサデバイス。
【請求項３】
前記第１の電極は、前記機能層の前記支持体側の面に設けられ、
前記第２の電極は、前記機能層の前記支持体側とは異なる面側に設けられ、
前記支持体、前記第１の電極、前記機能層及び前記第２の電極が、この順に積層されている請求項２に記載のセンサデバイス。
【請求項４】
前記支持体が、可撓性基材である請求項１～３の何れか一項に記載のセンサデバイス。
【請求項５】
前記機能層が、圧電体層である請求項１～４の何れかに記載のセンサデバイス。
【請求項６】
前記圧電体層が、無機材料を含む請求項５に記載のセンサデバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサデバイスに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
基板上に機能層を介して一対の電極を備えたセンサデバイスは、例えば、圧力センサ、加速度センサ等のセンサ、高周波フィルタデバイス、圧電アクチュエータ等の電子機器において使用されている。
【０００３】
このようなセンサデバイスとして、例えば、単量体を重合してなる高分子化合物を主成分とする高分子薄膜の上に、第１の電極層、圧電体を主成分とする圧電体薄膜及び第２の電極層を形成した圧電素子が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１の圧電素子では、第１の電極層及び第２の電極層を、例えば、スズ、アルミニウム、ニッケル、白金、金、銀、銅、クロム、鉄、マグネシウム、モリブデン、ニオブ、タンタル、チタン、亜鉛、ジルコニウム、タングステン、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルビジウム、窒化チタン、窒化クロム及び二珪化モリブデンを用いて形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５１３６９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の圧電素子では、使用される環境の温度変化によって第１の電極層及び第２の電極層の電気抵抗が変動することで第１の電極層及び第２の電極層の電圧降下が変動するため、環境の温度によって出力が変動するという問題があった。
【０００７】
本発明の一態様は、使用される環境の温度変化によって生じる電極の電圧降下の変動を抑制できるセンサデバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るセンサデバイスの一態様は支持体上に、機能層と、前記機能層を介して直列に接続された一対の電極とを備え、前記一対の電極は、正の値及び負の値のうち一方の値の抵抗温度係数を有する第１の電極と、正の値及び負の値のうち他方の値の抵抗温度係数を有する第２の電極とからなる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るセンサデバイスの一態様は、使用される環境の温度変化によって生じる電極の電圧降下の変動を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の実施形態に係るセンサデバイスの構成を示す斜視図である。
センサデバイスの構成を示す概略断面図である。
センサデバイスの他の構成の一例を示す斜視図である。
センサデバイスの他の構成の一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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