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公開番号2025078213
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-20
出願番号2023190629
出願日2023-11-08
発明の名称光透過性導電層および光透過性導電フィルム
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人いくみ特許事務所
主分類C23C 14/08 20060101AFI20250513BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】低抵抗であって、加熱後透過率に優れる光透過性導電層および光透過性導電フィルムを提供する。
【解決手段】光透過性導電層10は、第1主面21、および、第1主面21に対して厚み方向反対側に配置される第2主面22を有し、厚み方向に直交する面方向に延びる。また、光透過性導電層10は、導電性酸化物およびアルゴンより原子番号が大きい希ガスを含有する第1光透過性導電層11を複数備える。さらに、複数の第1光透過性導電層11の総厚に対する、複数の第1光透過性導電層11の中で、最も厚い第1光透過性導電層11の厚みの比率が、50%未満である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面、および、前記第１主面に対して厚み方向反対側に配置される第２主面を有し、前記厚み方向に直交する面方向に延びる光透過性導電層であって、
前記光透過性導電層は、導電性酸化物およびアルゴンより原子番号が大きい希ガスを含有する第１光透過性導電層を複数備え、
前記複数の第１光透過性導電層の総厚に対する、前記複数の第１光透過性導電層の中で、最も厚い前記第１光透過性導電層の厚みの比率が、５０％未満である、光透過性導電層。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記光透過性導電層が、さらに、前記導電性酸化物およびアルゴンを含有する第２光透過性導電層を複数備える、請求項１に記載の光透過性導電層。
【請求項３】
前記光透過性導電層が、前記第１光透過性導電層と、前記第２光透過性導電層とを、交互に備える、請求項２に記載の光透過性導電層。
【請求項４】
前記光透過性導電層が、結晶性である、請求項１に記載の光透過性導電層。
【請求項５】
前記希ガスが、クリプトンである、請求項１に記載の光透過性導電層。
【請求項６】
前記導電性酸化物が、インジウムおよびスズを含有する、請求項１に記載の光透過性導電層。
【請求項７】
請求項１～６のいずれか一項に記載の光透過性導電層と、
前記光透過性導電層の前記第１主面に接触する基材と
を備える、光透過性導電フィルム。
【請求項８】
前記第１光透過性導電層が、前記第１主面を含む、請求項７に記載の光透過性導電フィルム。
【請求項９】
加熱後透過率が、８５％以上である、請求項７に記載の光透過性導電フィルム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光透過性導電層および光透過性導電フィルムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、インジウムスズ複合酸化物（ＩＴＯ）からなる光透過性導電層は、液晶ディスプレイ、タッチパネル、および、光センサなどの各種デバイスにおける透明電極をパターン形成するための導体層として知られている。このようなＩＴＯからなる光透過性導電層の製造方法として、アルゴンガスを含む混合ガスでスパッタリングする製造方法が用いられる。
【０００３】
このような光透過性導電層は、より一層低抵抗であることが求められる。そこで、アルゴンより原子番号が大きい希ガス（例えば、キセノンまたはクリプトン）を含むＩＴＯ層（第１領域）と、アルゴンを含むＩＴＯ層（第２領域）との多層構造からなる光透過性導電層が提案されている。具体的には、第１領域と、第２領域と、第１領域と、第２領域とが、厚み方向一方側に向かって順に配置された、光透過性導電層が記載されている。つまり、２層の第１領域の総厚に対して、２層の第１領域の中で厚い方の第１領域の厚みの比率（％）は、５０％以上となっている（例えば、下記特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２１－２１５１５４号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、光透過性導電層には、より一層加熱後透過率に優れることが要求されている。
【０００６】
本発明は、低抵抗であって、加熱後透過率に優れる光透過性導電層および光透過性導電フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明［１］は、第１主面、および、前記第１主面に対して厚み方向反対側に配置される第２主面を有し、前記厚み方向に直交する面方向に延びる光透過性導電層であって、前記光透過性導電層は、導電性酸化物およびアルゴンより原子番号が大きい希ガスを含有する第１光透過性導電層を複数備え、前記複数の第１光透過性導電層の中で、最も厚い前記第１光透過性導電層の厚みが、前記複数の第１光透過性導電層の総厚に対して、５０％未満である、光透過性導電層を含んでいる。
【０００８】
本発明［２］は、前記光透過性導電層が、さらに、前記導電性酸化物およびアルゴン含有する第２光透過性導電層を複数備える、［１］に記載の光透過性導電層を含んでいる。
【０００９】
本発明［３］は、前記光透過性導電層が、前記第１光透過性導電層と、前記第２光透過性導電層とを、交互に備える、［２］に記載の光透過性導電層を含んでいる。
【００１０】
本発明［４］は、前記光透過性導電層が、結晶性である、［１］～［３］のいずれか一項に記載の光透過性導電層を含んでいる。
（【００１１】以降は省略されています）

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