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公開番号2025086666
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-09
出願番号2023200816
出願日2023-11-28
発明の名称成膜装置および蒸着材料の制御管理方法
出願人株式会社オプトラン
代理人個人,個人
主分類C23C 14/24 20060101AFI20250602BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】多数の坩堝に収容された蒸着材料の収容量に基づいて、蒸着予定の案件の処理順序を調整することにより、蒸着チャンバの開閉の回数を劇的に減らすことができる成膜装置および蒸着材料の制御管理方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバ内で蒸着材料を気化させて基板上に薄膜を形成させる成膜装置において、蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、蒸着源の複数の坩堝に収容された蒸着材料を気化させて基板上に薄膜を形成させる蒸着処理を制御する制御部と、を備え、制御部が、坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出し、その算出された上限回数に達した場合に、蒸着処理を停止する構成となっている。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
真空チャンバ内で蒸着材料を気化させて基板上に所定の膜を形成させる成膜装置であって、
前記蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、
前記蒸着源の複数の坩堝に収容された前記蒸着材料を気化させて基板上に薄膜を形成させる蒸着処理を制御する制御部と、を有し、
前記制御部が、前記坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出し、その算出された上限回数に基づいて前記蒸着処理の回数を管理する成膜装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記蒸着処理が前記算出された上限回数に達した場合に、前記蒸着処理を停止する請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記制御部が、前記算出された上限回数に収まるように、蒸着予定の案件の処理順序を調整し、その調整された処理順序に基づいて前記蒸着処理を行う請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記算出された上限回数に達して、前記蒸着処理が停止された時に、前記蒸着源の複数の坩堝への蒸着材料の補充が行われる請求項３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記蒸着源の複数の坩堝へ収容された蒸着材料が、複数の種類の蒸着材料である請求項４に記載の成膜装置。
【請求項６】
真空チャンバ内で蒸着材料を気化させて基板上に薄膜を形成する蒸着処理を行う成膜装置において、
前記蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、
前記坩堝に収容された前記蒸着材料を使って前記蒸着処理を制御する制御部と、を有し、
前記制御部が、
前記複数の坩堝のそれぞれにナンバーを付け、
前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数を算出し、
前記坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出し、
前記算出された蒸着処理の上限回数に基づいて、蒸着処理の予定案件の処理順序を調整し、
前記調整された蒸着処理の予定案件の処理順序に基づいて、蒸着処理を実行し、
前記算出された前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達したか否かを判定し、
前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達した場合、前記坩堝のセルチェンジを行って前記蒸着処理を続行し、
前記算出された蒸着処理の上限回数に達したか否かを判定し、
前記蒸着処理の上限回数に達した場合、前記蒸着処理を停止するように制御する成膜装置。
【請求項７】
前記算出された上限回数に達して、前記蒸着処理が停止された時に、前記蒸着源の複数の坩堝への蒸着材料の補充が行われる請求項６に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記蒸着源の複数の坩堝へ収容された蒸着材料が、複数の種類の蒸着材料である請求項７に記載の成膜装置。
【請求項９】
真空チャンバ内で蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、前記坩堝に収容された前記蒸着材料を使って基板上に薄膜を形成する蒸着処理を制御する制御部と、を有し、前記真空チャンバ内で前記蒸着材料を気化させて前記蒸着処理を行う成膜装置において、
前記蒸着源の坩堝内に収容された蒸着材料の制御管理方法であって、
前記制御部により、前記複数の坩堝のそれぞれにナンバーを付けるステップと、
前記制御部により、前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数を算出するステップと、
前記制御部により、前記坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出するステップと、
前記制御部により、前記算出された蒸着処理の上限回数に基づいて、蒸着処理の予定案件の処理順序を調整するステップと、
前記制御部により、前記調整された蒸着処理の予定案件の処理順序に基づいて、蒸着処理を実行するステップと、
前記制御部により、前記算出された前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達したか否かを判定するステップと、
前記制御部により、前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達した場合、前記坩堝のセルチェンジを行って前記蒸着処理を続行するステップと、
前記制御部により、前記算出された蒸着処理の上限回数に達したか否かを判定するステップと、
前記制御部により、前記蒸着処理の上限回数に達した場合、前記蒸着処理を停止するステップと、を有する蒸着材料の制御管理方法。
【請求項１０】
前記算出された上限回数に達して、前記蒸着処理が停止された時に、前記蒸着源の複数の坩堝への蒸着材料の補充が行われる請求項９に記載の蒸着材料の制御管理方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着源として多数の坩堝を使用して成膜処理を行う成膜装置およびその成膜装置における蒸着材料の制御管理方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
基板に蒸着材料を蒸着させて成膜し、基板に所定の膜を形成する成膜装置が知られており、その蒸着源として、蒸着材料を収容する多数の坩堝を使用して成膜処理を行う成膜装置が提案されている。
【０００３】
そのような成膜装置として、大容量の蒸着材料を収容するために、円形に設けられた多数の坩堝を有するポイントソースリボルバタイプの蒸着源を使用した成膜装置が知られている。
【０００４】
特開２０２２－１８８８１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えば、ポイントソースリボルバタイプの大容量の円形に設けられた多数の坩堝に複数の種類の蒸着材料を収容し、蒸着予定の案件を、当初の蒸着順にランダムに成膜処理した場合、蒸着予定の案件によっては、ある種類の蒸着材料は余り、他の種類の蒸着材料が無くなってしまう事態が生じることがあった。
そのような事態が生じてしまった場合、無くなってしまった蒸着材料を補充しなければならず、その都度、蒸着チャンバを開けて、大気開放して材料追加をしなければならなかった。
【０００６】
そのように、頻繁に蒸着チャンバを開けることにより、チャンバ内の雰囲気が悪化してしまい、蒸着処理に支障をきたす問題が生じてしまうばかりか、蒸着チャンバ内の雰囲気を回復するために、時間と労力を費やしてしまう欠点もあった。
【０００７】
本発明は前記のような従来の問題点に着目してなされたものであり、多数の坩堝に収容された蒸着材料の収容量に基づいて、蒸着処理の回数を管理することにより、蒸着チャンバの開閉の回数を劇的に減らすことができる成膜装置および蒸着材料の制御管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的達成のために、本発明に係る成膜装置は、真空チャンバ内で蒸着材料を気化させて基板上に所定の膜を形成させる成膜装置であって、前記蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、前記蒸着源の複数の坩堝に収容された前記蒸着材料を気化させて基板上に薄膜を形成させる蒸着処理を制御する制御部と、を有し、前記制御部が、前記坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出し、その算出された上限回数に基づいて前記蒸着処理の回数を管理する成膜装置ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の他の特徴は、真空チャンバ内で蒸着材料を気化させて基板上に薄膜を形成する蒸着処理を行う成膜装置において、前記蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、前記坩堝に収容された前記蒸着材料を使って前記蒸着処理を制御する制御部と、を有し、前記制御部が、前記複数の坩堝のそれぞれにナンバーを付け、前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数を算出し、前記坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出し、前記算出された蒸着処理の上限回数に基づいて、蒸着処理の予定案件の処理順序を調整し、前記調整された蒸着処理の予定案件の処理順序に基づいて、蒸着処理を実行し、前記算出された前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達したか否かを判定し、前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達した場合、前記坩堝のセルチェンジを行って前記蒸着処理を続行し、前記算出された蒸着処理の上限回数に達したか否かを判定し、前記蒸着処理の上限回数に達した場合、前記蒸着処理を停止するように制御することである。
【００１０】
本発明の他の特徴は、真空チャンバ内で蒸着材料を収容するための複数の坩堝を有する蒸着源と、前記坩堝に収容された前記蒸着材料を使って基板上に薄膜を形成する蒸着処理を制御する制御部と、を有し、前記真空チャンバ内で前記蒸着材料を気化させて前記蒸着処理を行う成膜装置において、前記蒸着源の坩堝内に収容された蒸着材料の制御管理方法であって、前記制御部により、前記複数の坩堝のそれぞれにナンバーを付けるステップと、前記制御部により、前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数を算出するステップと、前記制御部により、前記坩堝に収容されている蒸着材料により可能な蒸着処理の上限回数を算出するステップと、前記制御部により、前記算出された蒸着処理の上限回数に基づいて、蒸着処理の予定案件の処理順序を調整するステップと、前記制御部により、前記調整された蒸着処理の予定案件の処理順序に基づいて、蒸着処理を実行するステップと、前記制御部により、前記算出された前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達したか否かを判定するステップと、前記制御部により、前記各坩堝に収容された蒸着材料により可能な蒸着処理の回数に達した場合、前記坩堝のセルチェンジを行って前記蒸着処理を続行するステップと、前記制御部により、前記算出された蒸着処理の上限回数に達したか否かを判定するステップと、前記制御部により、前記蒸着処理の上限回数に達した場合、前記蒸着処理を停止するステップと、を有することである。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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