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公開番号2025093696
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-24
出願番号2023209505
出願日2023-12-12
発明の名称熱遮蔽部材および基板処理装置
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人
主分類C23C 16/44 20060101AFI20250617BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】熱を効果的に遮蔽することができる熱遮蔽部材およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】熱を遮蔽する熱遮蔽部材であって、板状体を、該板状体の面が間隔をあけて複数階層に重なるように、螺旋状に巻回してなる螺旋状部を含む。熱遮蔽部材は、例えば、基板処理装置における、基板を載置する高温加熱式のステージの輻射熱を遮蔽する用途に用いられる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
熱を遮蔽する熱遮蔽部材であって、
板状体を、該板状体の面が間隔をあけて複数階層に重なるように、螺旋状に巻回してなる螺旋状部を含む、熱遮蔽部材。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記螺旋状部を挟むように設けられた第１平板および第２平板をさらに有する、請求項１に記載の熱遮蔽部材。
【請求項３】
前記螺旋状部、前記第１平板、および前記第２平板は、金属材料からなる、請求項２に記載の熱遮蔽部材。
【請求項４】
前記螺旋状部、前記第１平板、および前記第２平板は、ニッケルまたはニッケル合金からなる、請求項３に記載の熱遮蔽部材。
【請求項５】
前記螺旋状部は、金属材料、セラミックス材料、または、金属とセラミックスの複合材料からなる、請求項１に記載の熱遮蔽部材。
【請求項６】
前記螺旋状部は、ニッケルまたはニッケル合金、ジルコニア、または、ニッケルとジルコニアの複合材料からなる、請求項５に記載の熱遮蔽部材。
【請求項７】
真空雰囲気における熱遮蔽に用いられる、請求項１に記載の熱遮蔽部材。
【請求項８】
前記螺旋状部は積層造形体である、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の熱遮蔽部材。
【請求項９】
基板を処理する基板処理装置であって、
基板を収容し、真空に保持される処理容器と、
前記処理容器内に設けられた部材と、
前記部材からの熱を遮蔽する熱遮蔽部材と、
を有し、
前記熱遮蔽部材は、
板状体を、該板状体の面が間隔をあけて複数階層に重なるように、螺旋状に巻回してなる螺旋状部を含む、基板処理装置。
【請求項１０】
前記部材は高温部材であり、前記熱遮蔽部材は、前記高温部材からの輻射熱を遮蔽する、請求項９に記載の基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、熱遮蔽部材および基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ランプにより加熱され基板を載置する載置台のウエハ載置領域の外側に、シャワーヘッドへの熱を遮蔽する熱遮蔽体を設けた基板処理装置が開示されており、熱遮蔽体として積層構造のものが記載されている。また、特許文献２には、ＣＶＤ法により基板上に単結晶をエピタキシャル成長させる単結晶の製造装置において、基板が載置される載置面に断熱材を設け、サセプタから基板への熱伝導による基板の加熱を抑制することが記載されている。断熱材として積層構造であってよいことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許５０６８４７１号公報
特許５８０５１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、熱を効果的に遮蔽することができる熱遮蔽部材およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る熱遮蔽部材は、熱を遮蔽する熱遮蔽部材であって、板状体を、該板状体の面が間隔をあけて複数階層に重なるように、螺旋状に巻回してなる螺旋状部を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、熱を効果的に遮蔽することができる熱遮蔽部材およびそれを用いた基板処理装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
一実施形態に係る熱遮蔽部材の一例を示す斜視図である。
一実施形態に係る熱遮蔽部材の一例を示す断面図である。
一実施形態に係る熱遮蔽部材に含まれる螺旋状部を模式的に示す斜視図である。
従来の熱遮蔽部材を示す断面図である。
一実施形態の熱遮蔽部材を適用した基板処理装置を示す断面図である。
一実施形態の熱遮蔽部材の効果を示すシミュレーションに用いたモデルを説明するための図である。
従来構造の熱遮蔽部材であるケース１のモデルを説明するための図である。
一実施形態の構造の熱遮蔽部材であるケース２のモデルを説明するための図である。
ケース１のシミュレーション結果を示す図である。
ケース２のシミュレーション結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して実施形態について説明する。
【０００９】
＜熱遮蔽部材＞
図１は一実施形態に係る熱遮蔽部材の一例を示す斜視図、図２はその断面図、図３は一実施形態に係る熱遮蔽部材に含まれる螺旋状部を模式的に示す斜視図である。
【００１０】
本例の熱遮蔽部材１は、熱を遮蔽する（断熱する）ものであり、図１に示すように、全体形状が円環状をなしている。熱遮蔽部材１は、円環状をなす第１平板２および第２平板３と、螺旋状部４とを有し、第１平板２と第２平板３との間に螺旋状部４が挟まれて構成されている。熱遮蔽部材１の全体の直径および厚さは、遮蔽すべき熱の発生源の大きさや温度、低減すべき温度等によって適宜設定される。
（【００１１】以降は省略されています）

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