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公開番号2025103450
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023220850
出願日2023-12-27
発明の名称成膜装置
出願人住友重機械工業株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/56 20060101AFI20250702BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】対象物を移動させながら成膜をおこなうときに、移動方向における膜厚分布のばらつきを抑制できる成膜装置を提供する。
【解決手段】移動機構3の成膜移動機構3Bは、基板11の端部11aと支持部41A,41Bとの相対位置を維持した状態にて、基板11を移動させる。このように、基板11の端部11aと支持部41A,41Bが共に移動方向Aへ移動することで、移動中において、基板の端部11aと支持部41A,41Bとが衝突することなどを抑制できる。その結果、移動機構3は、対象物を安定した状態で移動させることができる。以上より、対象物を移動させながら成膜をおこなうときに、移動方向における膜厚分布のばらつきを抑制できる。また、当該構造によれば、支持部41A,41Bが基板11を支持する部分をローラよりも小さくすることができる。よって、基板11の成膜可能な面積を広げることもできる。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
対象物に成膜材料を付着させることで成膜を行う成膜装置であって、
前記対象物の端部を前記対象物の移動方向に互いに離間して設けた異なる複数の第１支持部で支持し、前記対象物の前記端部と前記複数の第１支持部との相対位置を維持した状態にて該複数の第１支持部を移動させることで前記対象物を移動させる第１移動機構と、
前記第１移動機構に対して前記移動方向における少なくとも一方側に設けられ、前記対象物を前記移動方向に移動させる第２移動機構と、
前記第１移動機構によって移動する前記対象物に前記成膜材料を供給する供給部と、
を備え、
前記第１移動機構と前記第２移動機構との間で前記対象物の受け渡しを行う、成膜装置。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記第１移動機構に対して、前記移動方向と交差する方向に離間して設けられ、前記移動方向に互いに離間して設けた異なる複数の第２支持部で支持し、前記対象物の前記端部と前記複数の第２支持部との相対位置を維持した状態にて該複数の第２支持部を移動させることで前記対象物を移動させる第２移動機構を更に備える、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記第１移動機構は、
前記移動方向に互いに離間して配置される複数の回転体と、
前記複数の回転体に架け渡されると共に、前記複数の回転体の回転によって旋回する前記複数の第１支持部が設けられた送り部材と、を有する、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項４】
複数の前記第１支持部は、移動速度が略同一である、請求項１又は２に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記供給部は、上側に配置された前記対象物に対して、下側から前記成膜材料を供給する、請求項１又は２に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記回転体に架け渡された前記送り部材は、前記第１支持部を前記対象物の移動方向へ直線移動させる直線移動部と、前記第１支持部を前記回転体まわりに旋回させる回転移動部と、を有する、請求項３に記載の成膜装置。
【請求項７】
複数の前記第１支持部は、前記移動方向に沿って並ぶように前記送り部材に設けられる、請求項３に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記移動方向から見て、前記対象物が広がる方向であって前記対象物の外周側を基準として、前記回転体の中心軸は、４５°～１３５°をなす、請求項３に記載の成膜装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
成膜装置として、特許文献１に記載されているように、移動する対象物に成膜材料を供給して成膜する成膜装置が知られている。この成膜装置は、プラズマガンを用いてチャンバー内でプラズマを生成し、チャンバー内で成膜材料を昇華させている。移動する基板に成膜材料が付着し、続けて堆積することにより、当該基板上に膜が成長し、形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１１－２７９７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上述の成膜装置では、成膜時において、対象物をローラなどの機構によって移動させている。この場合、対象物の端部がローラに衝突するなどにより、対象物の移動方向への移動が不安定になる場合がある。このとき、対象物の膜厚の分布がばらつくという問題が生じる。
【０００５】
そこで本発明は、対象物を移動させながら成膜をおこなうときに、移動方向における膜厚分布のばらつきを抑制できる成膜装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る成膜装置は、対象物に成膜材料を付着させることで成膜を行う成膜装置であって、対象物の端部を対象物の移動方向に互いに離間して設けた異なる複数の第１支持部で支持し、対象物の端部と複数の第１支持部との相対位置を維持した状態にて該複数の第１支持部を移動させることで対象物を移動させる第１移動機構と、第１移動機構に対して移動方向における少なくとも一方側に設けられ、対象物を移動方向に移動させる第２移動機構と、第１移動機構によって移動する対象物に成膜材料を供給する供給部と、を備え、第１移動機構と第２移動機構との間で対象物の受け渡しを行う。
【０００７】
本発明に係る成膜装置は、対象物の端部を第１支持部で支持した状態にて、対象物を移動させる第１移動機構を備える。これにより、供給部は、第１移動機構で対象物を移動させながら、対象物へ成膜材料を供給することができる。ここで、第１移動機構は、対象物の端部と支持部との相対位置を維持した状態にて、対象物を移動させる。このように、対象物の端部と第１支持部が共に移動方向へ移動することで、移動中において、対象物の端部と第１支持部とが衝突することなどを抑制できる。その結果、第１移動機構は、対象物を安定した状態で移動させることができる。また、第１移動機構は、対象物の端部を複数の第１支持部で支持する。これにより、第１移動機構は、複数の第１支持部によって対象物の端部を安定した状態で支持できる。また、対象物において第１支持部と第１支持部との間に成膜することも可能となる。以上より、対象物を移動させながら成膜をおこなうときに、移動方向における膜厚分布のばらつきを抑制できる。
【０００８】
成膜装置は、第１移動機構に対して、移動方向と交差する方向に離間して設けられ、移動方向に互いに離間して設けた異なる複数の第２支持部で支持し、対象物の端部と複数の第２支持部との相対位置を維持した状態にて該複数の第２支持部を移動させることで対象物を移動させる第２移動機構を更に備えてよい。対象物が、第１支持部及び第２支持部によって移動方向と交差する方向の両側にて、相対位置を維持した状態で支持されながら移動する。例えば、移動機構が片持ちで対象物を支持する場合に比して、対象物を安定した状態で移動させることができる。これにより、対象物の両側にて移動方向における膜厚分布のばらつきを抑制できる。
【０００９】
第１移動機構は、移動方向に互いに離間して配置される複数の回転体と、複数の回転体に架け渡されると共に、複数の回転体の回転によって旋回する複数の第１支持部が設けられた送り部材と、を有してよい。この場合、回転体が回転して送り部材を駆動することにより、第１支持部を対象物と共に移動させることができる。このように、回転体と送り部材を用いた簡便な機構にて、対象物の端部と第１支持部との相対位置を維持した状態にて、対象物を移動させることが可能となる。
【００１０】
複数の第１支持部は、移動速度が略同一であってよい。これにより、各第１支持部において、対象物との相対位置を維持した状態で、対象物を支持できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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