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公開番号2025042210
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-27
出願番号2023149079
出願日2023-09-14
発明の名称密閉処理装置
出願人日新電機株式会社
代理人弁理士法人三枝国際特許事務所
主分類C23C 14/52 20060101AFI20250319BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】観測窓を加熱しなくても、観測窓を通した密閉容器内の視認性が損なわれることを抑制できる密閉処理装置を提供する。
【解決手段】密閉処理装置10は、内部の処理領域S1を外部から観察可能な観測窓を有する密閉容器1と、処理領域S1を囲む筒状の周壁21と、周壁21を貫通する開口部22とを有しており、開口部22が観測窓に対向するように配置されたガイド筒2と、ガイド筒2の外側に同心状に配置され、ガイド筒2の外周面に沿って回転可能な透明筒3と、透明筒3を、ガイド筒2の外周面に沿って回転させる駆動部4と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
内部の処理領域を外部から観察可能な観測窓を有する密閉容器と、
前記処理領域を囲む筒状の周壁と、前記周壁を貫通する開口部とを有しており、前記開口部が前記観測窓に対向するように配置されたガイド筒と、
前記ガイド筒の外側に同心状に配置され、前記ガイド筒の外周面に沿って回転可能な透明筒と、
前記透明筒を、前記ガイド筒の外周面に沿って回転させる駆動部と、
を備える、
密閉処理装置。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記透明筒における前記開口部に対応する位置での透明度を検知可能なセンサと、
前記駆動部を制御する制御装置と、
を更に備え、
前記制御装置は、前記センサの検知結果を用いて前記駆動部を制御する、
請求項１に記載の密閉処理装置。
【請求項３】
前記駆動部を制御する制御装置を更に備え、
前記制御装置は、前記処理領域による処理の実行中において、前記透明筒を常時回転させるように前記駆動部を制御する、
請求項２に記載の密閉処理装置。
【請求項４】
前記透明筒は、周方向にＮ極とＳ極とが交互に配置された磁石部を有し、
前記駆動部は、前記磁石部を移動させることで前記透明筒を回転させる電磁石を有する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の密閉処理装置。
【請求項５】
前記電磁石が、前記透明筒の外側に配置されている、
請求項４に記載の密閉処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉処理装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、従来の密閉処理装置が開示されている。特許文献１に記載の密閉処理装置は、真空蒸着装置であり、内部の処理領域で真空蒸着処理が行われる密閉容器と、密閉容器の周壁部に設けられた観測窓とを備える。
【０００３】
真空蒸着装置では、観測窓を通して、密閉容器内の様子を視認したり、パイロメータによって、処理対象物の温度（例えば、蒸着基板の基板温度）を測定したりしている。特許文献１に記載の真空蒸着装置では、処理領域での処理（真空蒸着処理）によって観測窓に材料が付着するのを防ぐために、密閉容器の外部から赤外線照射を行う赤外線照射器が設けられている。
【０００４】
赤外線照射器を設けることで、観測窓を加熱して、観測窓に材料が付着するのを防ぐことができるため、観測窓を通した視認性が損なわれることを防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平４－３５０１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の真空蒸着装置は、観測窓を加熱するものであるため、熱によって観測窓に破損や劣化が生じやすいうえに、ユーザ等が観測窓に接触するリスクがある。
【０００７】
本発明の目的は、観測窓を加熱しなくても、観測窓を通した密閉容器内の視認性が損なわれることを抑制できる密閉処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る一態様の密閉処理装置は、内部の処理領域を外部から観察可能な観測窓を有する密閉容器と、前記処理領域を囲む筒状の周壁と、前記周壁を貫通する開口部とを有しており、前記開口部が前記観測窓に対向するように配置されたガイド筒と、前記ガイド筒の外側に同心状に配置され、前記ガイド筒の外周面に沿って回転可能な透明筒と、前記透明筒を、前記ガイド筒の外周面に沿って回転させる駆動部と、を備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る上記態様の密閉処理装置は、観測窓を加熱しなくても、観測窓を通した密閉容器内の視認性が損なわれることを抑制できる、という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態に係る密閉処理装置の断面斜視図である。
図２は、実施形態に係る密閉処理装置の断面図である。
図３は、実施形態に係るガイド筒及び透明筒から駆動部を離した状態の斜視図である。
図４は、変形例に係る密閉処理装置の断面斜視図である。
図５は、変形例に係る密閉処理装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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