特許ウォッチ

公開番号2025126065
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2024022443
出願日2024-02-16
発明の名称捕集装置
出願人TOPPANホールディングス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C23F 1/08 20060101AFI20250821BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集することができ、不溶性固形物による詰まりが生じてもエッチング加工装置を継続して稼働できる捕集装置を提供する。
【解決手段】エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集する筒状の第1のメッシュフィルタ9を内部空間8aに配する濾過部2と、内部空間8aにエッチング液を流入する流入口3bを有する流入部3と、内部空間8aからエッチング液を流出する流出口4bを有する流出部4と、第1のメッシュフィルタ9の開口部9Cの外縁に設けられた第1のフランジ5と、濾過部2の内壁に設けられた第2のフランジ6と、第1のメッシュフィルタ9の内圧の上昇に伴って、第1のフランジ5を第2のフランジ6から離間させ、第1のフランジ5と第2のフランジ6の間にエッチング液の流路を形成するバネ構造部7と、を備える、捕集装置1。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集する捕集装置であって、
前記不溶性固形物を捕集する筒状の第１のメッシュフィルタを内部空間に配する濾過部と、
前記内部空間に前記エッチング液を流入する流入口を有する流入部と、
前記内部空間から前記エッチング液を流出する流出口を有する流出部と、
前記第１のメッシュフィルタの開口部の外縁に設けられた第１のフランジと、
前記濾過部の内壁に設けられた第２のフランジと、
前記第１のメッシュフィルタの内圧の上昇に伴って、前記第１のフランジを前記第２のフランジから離間させ、前記第１のフランジと前記第２のフランジの間に前記エッチング液の流路を形成するバネ構造部と、を備える、捕集装置。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記バネ構造部は、前記濾過部の上方にバネが縮むことで前記第１のフランジを前記第２のフランジから離間させる、請求項１に記載の捕集装置。
【請求項３】
前記バネ構造部は、前記濾過部の下方にバネが縮むことで前記第１のフランジを前記第２のフランジから離間させる、請求項１に記載の捕集装置。
【請求項４】
前記第１のメッシュフィルタに隣接して配され、前記流路に流出した前記エッチング液に含まれる前記不溶性固形物を捕集する第２のメッシュフィルタを備える、請求項１に記載の捕集装置。
【請求項５】
前記第２のメッシュフィルタに隣接して配され、前記第２のメッシュフィルタよりも網目の大きさが小さく、前記第２のメッシュフィルタを通過した前記エッチング液に含まれる前記不溶性固形物を捕集する第３のメッシュフィルタを備える、請求項４に記載の捕集装置。
【請求項６】
前記バネ構造部の動作を出力する出力部を備える、請求項１に記載の捕集装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集する捕集装置に関する。
続きを表示（約 3,200 文字）【背景技術】
【０００２】
金属のエッチング加工は、プリント配線板、ＩＣリードフレーム、精密電子部品の分野の加工において重要な役割を担っている。エッチング液としては、塩化第二鉄液、塩化銅が主に用いられる。塩化第二鉄液によるエッチングでは、適切に調製されたエッチング液を、処理装置とタンクの間にてポンプで循環させて、繰り返し用いられている。
【０００３】
チタンを３質量％程度含む銅合金は、鋼に匹敵する硬さおよび強さ、並びに優れたバネ特性を有する。そのため、前記銅合金は、導電性バネ材料として期待されている。前記銅合金は、エッチング加工が施されて、所定の部品として用いられる。前記銅合金にエッチング加工を施すと、エッチング液中に、エッチング中に溶解されないチタンの濃度が上昇して、酸化チタンが析出する。析出した酸化チタンは、処理装置の配管の内壁に固着するが、やがて配管の内壁から剥離する。配管の内壁から剥離した酸化チタン（以下、「剥離片」と言う。）が、エッチング液を銅合金に吹き付けるためのノズルの開口部に詰まると、エッチング液のスプレー形状が変化して、エッチングの仕上がりに影響を及ぼす。従来、このようなノズルの開口部の詰まりを抑制するために、定期的なメンテナンスを行っている。メンテナンスの際に、ノズルを高圧洗浄するか薬液洗浄した後、フラッシングすることによって、大部分の剥離片を除去できる。しかしながら、処理装置のフィルターの後段の配管に剥離片が残存し、メンテナンス後の処理装置の稼働を再開するために時間を要するという課題があった。
【０００４】
配管に剥離片が残存するのを抑制するために、配管にＹ形ストレーナを設けることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５３５７８４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ストレーナは、定期的なメンテナンスが必要であったり、予期せぬ詰まりが発生したりすることがある。このような場合、処理装置の稼働を停止しなければならない。そのため、ＲｏｌｌｔｏＲｏｌｌでエッチングしている場合、ストレーナに詰まりが発生するタイミングによっては、多くの処理不良が生じる。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集することができ、不溶性固形物による詰まりが生じてもエッチング加工装置を継続して稼働できる捕集装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下の態様を有する。
［１］エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集する捕集装置であって、
前記不溶性固形物を捕集する筒状の第１のメッシュフィルタを内部空間に配する濾過部と、
前記内部空間に前記エッチング液を流入する流入口を有する流入部と、
前記内部空間から前記エッチング液を流出する流出口を有する流出部と、
前記第１のメッシュフィルタの開口部の外縁に設けられた第１のフランジと、
前記濾過部の内壁に設けられた第２のフランジと、
前記第１のメッシュフィルタの内圧の上昇に伴って、前記第１のフランジを前記第２のフランジから離間させ、前記第１のフランジと前記第２のフランジの間に前記エッチング液の流路を形成するバネ構造部と、を備える、捕集装置。
［２］前記バネ構造部は、前記濾過部の上方にバネが縮むことで前記第１のフランジを前記第２のフランジから離間させる、［１］に記載の捕集装置。
［３］前記バネ構造部は、前記濾過部の下方にバネが縮むことで前記第１のフランジを前記第２のフランジから離間させる、［１］に記載の捕集装置。
［４］前記第１のメッシュフィルタに隣接して配され、前記流路に流出した前記エッチング液に含まれる前記不溶性固形物を捕集する第２のメッシュフィルタを備える、［１］～［３］のいずれかに記載の捕集装置。
［５］前記第２のメッシュフィルタに隣接して配され、前記第２のメッシュフィルタよりも網目の大きさが小さく、前記第２のメッシュフィルタを通過した前記エッチング液に含まれる前記不溶性固形物を捕集する第３のメッシュフィルタを備える、［４］に記載の捕集装置。
［６］前記バネ構造部の動作を出力する出力部を備える、［１］に記載の捕集装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、エッチング液に含まれる不溶性固形物を捕集することができ、不溶性固形物による詰まりが生じてもエッチング加工装置を継続して稼働できる捕集装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の第１の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第１の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第１の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第１の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第２の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第２の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第２の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第２の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第３の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第３の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第３の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第３の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第４の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第４の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第４の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第４の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第５の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第５の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第５の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第５の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第６の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第６の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第６の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第６の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第７の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第７の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
本発明の第７の実施形態に係る捕集装置を模式的に示し、高さ方向に沿う断面図である。
本発明の第７の実施形態に係る捕集装置を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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