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公開番号2025110055
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-28
出願番号2024003767
出願日2024-01-15
発明の名称有機材料用蒸発源、及び有機材料蒸着装置
出願人株式会社テクノブレイズ
代理人個人
主分類C23C 14/24 20060101AFI20250718BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】有機材料の蒸気の量を基板の回転中心軸を基準として末広がり状に増加させる技術において、蒸発源からの有機材料の蒸気を、基板に対して垂直に進入させることを可能にする。
【解決手段】有機材料蒸着装置1は、真空槽内に配置され、種類が異なる有機材料を収容し当該有機材料を加熱用のコイル23,33により加熱し蒸発させる複数の蒸発部20,30と、真空槽内に配置され、容器の形状をなし、容器を区画し形成され複数の蒸発部で蒸発した有機材料を混合する混合室77、容器を区画し形成され混合室で混合した蒸気を滞留させる滞留室76、滞留室に面して形成され当該滞留室で滞留させた蒸気を真空槽内に放出する複数の放出口81を有する放出部60と、を有し、放出口は、当該放出口から放出される有機材料の蒸気の量が、所定の基準位置を基準として二次元的位置に関して末広がり状に増加するように放出部80において形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
真空槽内に配置され、種類が異なる有機材料を収容し当該有機材料を第１加熱手段により加熱し蒸発させる複数の蒸発部と、
前記真空槽内に配置され、容器の形状をなし、前記容器を区画し形成され前記複数の蒸発部で蒸発した有機材料を混合する混合領域、前記容器を区画し形成され前記混合領域で混合した蒸気を滞留させる滞留領域、前記滞留領域に面して形成され当該滞留領域で滞留させた蒸気を前記真空槽内に放出する複数の放出口を有する放出部と、を有し、
前記放出口は、当該放出口から放出される有機材料の蒸気の量が、所定の基準位置を基準として二次元的位置に関して末広がり状に増加するように前記放出部において形成されている有機材料用蒸発源。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記放出部を加熱する第２加熱手段と、前記複数の蒸発部と前記放出部との間に位置された配管であり前記複数の蒸発部で蒸発した有機材料を前記放出部に送る接続部と、をさらに有し、前記接続部は、当該接続部を加熱する第３加熱手段を有し、
前記第１加熱手段は、各蒸発部での有機材料の蒸発速度を基に温度制御され、
前記第２及び第３加熱手段は、前記放出部内及び前記接続部内で有機材料の蒸気が結露しないように温度制御される請求項１に記載の有機材料用蒸発源。
【請求項３】
前記複数の蒸発部と前記真空槽とを連通させて前記複数の蒸発部で蒸発した蒸気を当該複数の蒸発部から前記真空槽に排出可能にする排出手段をさらに有する請求項１又は２に記載の有機材料用蒸発源。
【請求項４】
前記放出口の内径と高さの比が５以上かつ２０以下である請求項１に記載の有機材料用蒸発源。
【請求項５】
前記複数の蒸発部の数は、２以上４以下である請求項１記載の有機材料用蒸発源。
【請求項６】
前記請求項１乃至５の何れかに記載の有機材料用蒸発源を有し、前記有機材料用蒸発源から放出された有機材料を用いて、Ｃ－ＭＯＳ半導体が形成されているＳｉウエハ基板に有機ＥＬ素子、又はイメージセンサー素子を形成する有機材料蒸着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機材料用蒸発源、及び有機材料蒸着装置の技術に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、基板に対して均一な膜厚分布の成膜が可能な有機材料用蒸発源、及び有機材料蒸着装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
この有機材料用蒸発源では、ホスト材料を蒸発させるためのホスト蒸発源と、ドーパント材料を蒸発させるためのドーパント蒸発源とを有している。ここで、ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源は、基板の回転中心軸を基準として末広がり形状（扇形状）に形成されており、対向する基板の投影面積内に納まるように、基板の回転中心軸の周方向にそれぞれ配置されている。
【０００４】
そして、ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源には、有機材料の蒸気を通過させるための蒸発口（放出口、吐出口）が複数形成されている。ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源において、複数の蒸発口は、基板の回転中心軸を中心とした複数の同心円上に位置するように形成されている。
【０００５】
ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源にこのように複数の蒸発口が形成されていることで、蒸発口から放出される有機材料の蒸気の量が、基板の回転中心軸を基準として二次元的位置に関して末広がり状に増加する。これにより、基板に対して均一な膜厚分布の成膜が可能になっている。
【０００６】
また、この有機材料用蒸発源は、ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源を基板に対向して配置し当該基板に対する成膜が可能になっていることで、従来の有機材料用蒸発源のように蒸発源が基板に対してオフセンター配置になっていないため、有機材料の使用効率が高くなっている。
【０００７】
さらに、ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源からの有機材料の蒸気を基板に対してほぼ垂直に進入させることが可能になるため、デバイスの画素内の有機材料の充填率を高めることができるとともに、デバイスの画素の微細化が可能になる。
【０００８】
例えば、ＡＲ（Augmented Reality、拡張現実）やＶＲ（Virtual Reality、拡張現実）で使用されるユーザの装着デバイスで要求される２０００～３０００ｄｐｉの画素も実現可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特許第４５５８３７５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述の有機材料用蒸発源のホスト蒸発源及びドーパント蒸発源では、有期材料に含まれる水分も加熱され蒸発するが、その水蒸気がホスト蒸発源及びドーパント蒸発源の内圧を高くしてしまう。そのようになると、蒸発口での蒸気の流動が粘性流の流動になってしまい、蒸発口からの蒸気の放出方向は、様々な方向成分をもつようになる。その結果、ホスト蒸発源及びドーパント蒸発源からの有機材料の蒸気を、基板に対して垂直に進入させることが困難になってしまう。
（【００１１】以降は省略されています）

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