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公開番号2024058401
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165741
出願日2022-10-14
発明の名称インダクタ部品
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01F 17/00 20060101AFI20240418BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ビア配線と内部配線との接続強度を向上させるインダクタ部品を提供する。
【解決手段】インダクタ部品1は、素体と、素体内に設けられた第1内部配線(インダクタ配線)100及び第2内部配線(第2柱状配線)221と、素体内に設けられ第1内部配線と第2内部配線との間に配置され、第1内部配線側の第1主面31a、第2内部配線側の第2主面31b及び第1主面と第2主面との間を貫通するビア孔31hを有する層間絶縁層31と、ビア孔に挿入され、第1内部配線と第2内部配線とを電気的に接続する第2ビア配線222とを備える。ビア配線の中心軸AXを含む第1断面において、第2ビア配線は、第1内部配線に接触する第1部分P1と、第2内部配線に接触する第2部分P2と、を有する。第1部分の幅は、第1内部配線から第2内部配線に向かって狭くなり、第2部分の幅は、第1内部配線から第2内部配線に向かって広くなる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
素体と、
前記素体内に設けられた第１内部配線および第２内部配線と、
前記素体内に設けられ前記第１内部配線と前記第２内部配線との間に配置され、前記第１内部配線側の第１主面、前記第２内部配線側の第２主面、および、前記第１主面と前記第２主面との間を貫通するビア孔を有する層間絶縁層と、
前記ビア孔に挿入され、前記第１内部配線と前記第２内部配線とを電気的に接続するビア配線と
を備え、
前記ビア配線の中心軸を含む第１断面において、
前記ビア配線は、前記第１内部配線に接触する第１部分と、前記第２内部配線に接触する第２部分とを有し、前記第１部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなり、前記第２部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって広くなる、インダクタ部品。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記ビア配線の中心軸を含み、前記第１断面に直交する第２断面において、
前記第１部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなり、前記第２部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって広くなる、請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項３】
前記第１部分と前記第２部分は、接触し、
前記第１部分は、前記第１内部配線に接する第１端面と、前記第２部分に接する第２端面とを含み、前記第２部分は、前記第２内部配線に接する第１端面と、前記第１部分に接する第２端面とを含み、
前記第１断面において、
前記第１部分の前記第２端面の幅と前記第２部分の前記第２端面の幅は、同じであり、
前記第１部分の前記第１端面の幅および前記第２部分の前記第１端面の幅は、前記第１部分の前記第２端面の幅および前記第２部分の前記第２端面の幅よりも大きい、請求項１に記載のインダクタ部品。
【請求項４】
前記第１断面において、
前記第１部分の前記第２端面の幅は、前記第１部分の前記第１端面の幅の０．８倍よりも大きい、請求項３に記載のインダクタ部品。
【請求項５】
素体と、
前記素体内に設けられた第１内部配線および第２内部配線と、
前記素体内に設けられ前記第１内部配線と前記第２内部配線との間に配置され、前記第１内部配線側の第１主面、前記第２内部配線側の第２主面、および、前記第１主面と前記第２主面との間を貫通するビア孔を有する層間絶縁層と、
前記ビア孔に挿入され、前記第１内部配線と前記第２内部配線とを電気的に接続するビア配線と
を備え、
前記ビア配線の中心軸を含む第１断面において、
前記ビア配線は、前記第１内部配線に接触する第１部分と、前記第２内部配線に接触する第２部分とを有し、前記第１部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって広くなり、前記第２部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなる、インダクタ部品。
【請求項６】
前記ビア配線の中心軸を含み、前記第１断面に直交する第２断面において、
前記第１部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって広くなり、前記第２部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなる、請求項５に記載のインダクタ部品。
【請求項７】
さらに、前記素体の前記第１内部配線よりも前記第２内部配線に近い側に設けられ、前記第２内部配線に電気的に接続された外部端子を備え、
前記第１部分は、前記第１内部配線に接する第１端面を含み、前記第２部分は、前記第２内部配線に接する第１端面を含み、
前記第１断面において、
前記第２部分の前記第１端面の幅は、前記第１部分の前記第１端面の幅よりも大きい、請求項１から６の何れか一つに記載のインダクタ部品。
【請求項８】
前記ビア孔の内面の表面粗さの平均値は、１μｍ以下である、請求項１から６の何れか一つに記載のインダクタ部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、インダクタ部品に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品としては、特開２０２０－１０７８７７号公報（特許文献１）に記載されたものがある。この電子部品は、２つの内部配線と、２つの内部配線の間に配置され、ビア孔を有する絶縁層と、ビア孔に挿通するビア配線とを有する。ビア配線は、２つの内部配線を電気に接続している。ビア孔は、深さ方向に径が縮小するテーパー形状を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１０７８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のような電子部品では、ビア配線が絶縁層から抜け出るおそれがあり、ビア配線と内部配線との接続強度が十分ではなく、ビア配線と内部配線との接続信頼性が低下するおそれがある。
【０００５】
本開示の目的は、ビア配線と内部配線との接続強度を向上できるインダクタ部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本開示の一態様であるインダクタ部品は、
素体と、
前記素体内に設けられた第１内部配線および第２内部配線と、
前記素体内に設けられ前記第１内部配線と前記第２内部配線との間に配置され、前記第１内部配線側の第１主面、前記第２内部配線側の第２主面、および、前記第１主面と前記第２主面との間を貫通するビア孔を有する層間絶縁層と、
前記ビア孔に挿入され、前記第１内部配線と前記第２内部配線とを電気的に接続するビア配線と
を備え、
前記ビア配線の中心軸を含む第１断面において、
前記ビア配線は、前記第１内部配線に接触する第１部分と、前記第２内部配線に接触する第２部分とを有し、前記第１部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなり、前記第２部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって広くなる。
【０００７】
ここで、「中心軸」とは、ビア配線の重心を通り、第１主面に垂直な線をいう。「幅」とは、中心軸に直交する方向の大きさをいう。「第１断面」とは、好ましくは、ビア配線の幅が最大となる断面である。第１部分または第２部分が「接触する」とは、第１部分または第２部分の一部（例えば端面）が接触していることを指す。
【０００８】
前記態様によれば、第１部分の幅は、第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなり、第２部分の幅は、第１内部配線から第２内部配線に向かって広くなるので、層間絶縁層がビア配線に食い込み、ビア配線の層間絶縁層からの抜けを抑制することができる。これにより、ビア配線と第１内部配線および第２内部配線との接続強度を向上することができる。
【０００９】
また、第１部分の第１内部配線側の幅は、広くなるので、第１部分の第１内部配線との接触面積を大きくできる。第２部分の第２内部配線側の幅は、広くなるので、第２部分の第２内部配線との接触面積を大きくできる。これにより、ビア配線と第１内部配線および第２内部配線との接続強度を向上することができる。
【００１０】
本開示の一態様であるインダクタ部品は、
素体と、
前記素体内に設けられた第１内部配線および第２内部配線と、
前記素体内に設けられ前記第１内部配線と前記第２内部配線との間に配置され、前記第１内部配線側の第１主面、前記第２内部配線側の第２主面、および、前記第１主面と前記第２主面との間を貫通するビア孔を有する層間絶縁層と、
前記ビア孔に挿入され、前記第１内部配線と前記第２内部配線とを電気的に接続するビア配線と
を備え、
前記ビア配線の中心軸を含む第１断面において、
前記ビア配線は、前記第１内部配線に接触する第１部分と、前記第２内部配線に接触する第２部分とを有し、前記第１部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって広くなり、前記第２部分の幅は、前記第１内部配線から前記第２内部配線に向かって狭くなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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