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公開番号2024053646
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-16
出願番号2022159980
出願日2022-10-04
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240409BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】金属および無機材料の少なくとも一種により形成された繊維を含有する層を有する保持装置において、繊維を含有する層の破断を抑制する技術を提供する。
【解決手段】保持装置は、板状部と、繊維部と、無機バインダー部と、を有し、板状部に接合される接合面を有する無機基板と、ベース部と、無機基板とベース部とを接合する接合部と、を備え、無機バインダー部は、無機材料を主成分とする無機樹脂を含む無機バインダーから成り、板状部と繊維部との間の少なくとも一部に在り、繊維部は、金属および無機材料の少なくとも一種により形成された複数の繊維から成り、接合面に沿った第1方向に延びる1本以上の繊維を有する第1繊維部と、第1方向と異なる方向であって接合面に沿った第2方向に延びる1本以上の繊維を有する第2繊維部と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
対象物を保持する保持装置であって、
板状に形成される板状部と、
繊維部と、無機バインダー部と、を有し、前記板状部に接合される接合面を有する板状の無機基板と、
前記無機基板に対して前記板状部と反対側に配置される板状のベース部と、
前記無機基板と前記ベース部との間に配置され、前記無機基板と前記ベース部とを接合する接合部と、
を備え、
前記無機バインダー部は、
無機材料を主成分とし前記板状部と接合される無機樹脂を含む無機バインダーから成り、前記板状部と前記繊維部との間の少なくとも一部に在り、
前記繊維部は、
金属および無機材料の少なくとも一種により形成された複数の繊維から成り、
前記接合面に沿った第1方向に延びる1本以上の繊維を有する第1繊維部と、
前記第1方向と異なる方向であって前記接合面に沿った第2方向に延びる1本以上の繊維を有する第2繊維部と、
を有することを特徴とする、
保持装置。
続きを表示(約 450 文字)【請求項2】
請求項1に記載の保持装置であって、
前記第1繊維部と前記第2繊維部とは交差することを特徴とする、
保持装置。
【請求項3】
請求項2に記載の保持装置であって、
前記繊維部は、
前記第1繊維部と前記第2繊維部とが織られ、または編まれた部分を含む布状であることを特徴とする、
保持装置。
【請求項4】
請求項1に記載の保持装置であって、
前記繊維部は、前記無機バインダー部の内に配置されることを特徴とする、
保持装置。
【請求項5】
請求項1に記載の保持装置であって、
前記無機バインダー部は、前記無機樹脂より熱膨張係数が小さい無機粒子を有することを特徴とする、
保持装置。
【請求項6】
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の保持装置であって、
前記板状部と前記無機基板とは、熱膨張係数が異なることを特徴とする、
保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示(約 1,800 文字)【背景技術】
【0002】
半導体を製造する際にウェハ等の対象物を保持する保持装置として、例えば、静電チャックが用いられる。静電チャックは、対象物が載置される板状部材と、板状部を支持するベース部材と、板状部材とベース部材とを接合する接合部と、を備える。静電チャックを、例えば、250℃以上の高温プロセスで使用する場合、シリコーン接着剤などにより形成された接合部が、熱により劣化するという問題があった。この問題に対し、接合部を2層にし、板状部材側に配置する接合層(第1の接合層)を他方の接合層(第2の接合層)より断熱性を高くして、板状部材から第2の接合層への放熱を抑制する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2020-068219号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献1において、第1の接合層は、金属および無機材料の少なくとも一種により形成された繊維を含有する。特許文献1に記載の技術では、短繊維が積み重なり、部分的に重なりあっており、短繊維同士の接合が弱いため、静電チャックの使用に伴う温度変化により、短繊維同士の接合が切れて、第1接合層が破断する可能性がある。
【0005】
このような課題は、静電チャックに限らず、CVD(chemical vapor deposition)、PVD(physical vapor deposition)、PLD(Pulsed Laser Deposition)等の真空装置用ヒータ装置、サセプタ、載置台等の保持装置に共通する課題である。
【0006】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、金属および無機材料の少なくとも一種により形成された繊維を含有する層を有する保持装置において、繊維を含有する層の破断を抑制する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【0008】
(1)本発明の一形態によれば、対象物を保持する保持装置が提供される。この保持装置は、板状に形成される板状部と、繊維部と、無機バインダー部と、を有し、前記板状部に接合される接合面を有する板状の無機基板と、前記無機基板に対して前記板状部と反対側に配置される板状のベース部と、前記無機基板と前記ベース部との間に配置され、前記無機基板と前記ベース部とを接合する接合部と、を備え、前記無機バインダー部は、無機材料を主成分とし前記板状部と接合される無機樹脂を含む無機バインダーから成り、前記板状部と前記繊維部との間の少なくとも一部に在り、前記繊維部は、金属および無機材料の少なくとも一種により形成された複数の繊維から成り、前記接合面に沿った第1方向に延びる1本以上の繊維を有する第1繊維部と、前記第1方向と異なる方向であって前記接合面に沿った第2方向に延びる1本以上の繊維を有する第2繊維部と、を有する。
【0009】
この構成によれば、保持装置が無機基板を有するため、無機基板が断熱板として機能し、板状部から接合部への放熱を抑制することができ、接合部の熱による劣化を抑制することができる。無機基板が複数の繊維から成る繊維部と無機バインダー部とを有するため、無機バインダーにより繊維同士を固定することができ、無機基板に応力が生じた際に繊維同士の分離を抑制することができる。さらに、第1繊維部と第2繊維部とが異なる方向に延びているため、保持装置の温度変化に伴う熱膨張の異方性を小さくすることができ、無機基板に生じる応力の偏りを抑制することができる。その結果、無機基板の破断を抑制することができる。
【0010】
(2)上記形態の保持装置であって、前記第1繊維部と前記第2繊維部とは交差していてもよい。第1繊維部と第2繊維部とが交差しているため、繊維同士の結合性がより良好になり、無機基板の破断を抑制することができる。
(【0011】以降は省略されています)

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