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公開番号2024057809
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022164719
出願日2022-10-13
発明の名称ピックアップステージ
出願人三菱電機株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/67 20060101AFI20240418BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本開示は、粘着シートおよび半導体チップを固定しつつ、必要に応じて半導体チップを粘着シートから剥離可能なピックアップステージの提供を目的とする。
【解決手段】ピックアップステージ101は、粘着シート10から半導体チップ11を剥離するためのものである。ピックアップステージ101は、搭載面1と、傾斜面2と、複数の突上げ針4とを備える。搭載面1は、粘着シート10を介して半導体チップ11を搭載し、複数の針穴5および粘着シート10を吸着可能な複数の第1吸着穴6を有する。傾斜面2は、搭載面1から連続し、搭載面1に対して傾斜を有し、粘着シート10を吸着可能な複数の第2吸着穴7を有する。複数の突上げ針4は、複数の針穴5を通して搭載面1から突出可能である。複数の第2吸着穴7が傾斜面2に粘着シート10を吸着させながら、複数の突上げ針4が搭載面1から突出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
粘着シートから半導体チップを剥離するためのピックアップステージであって、
前記粘着シートを介して前記半導体チップを搭載し、複数の針穴および前記粘着シートを吸着可能な複数の第１吸着穴を有する搭載面と、
前記搭載面から連続し、前記搭載面に対して傾斜を有し、前記粘着シートを吸着可能な複数の第２吸着穴を有する傾斜面と、
前記複数の針穴を通して前記搭載面から突出可能な複数の突上げ針と、を備え、
前記複数の第２吸着穴が前記傾斜面に前記粘着シートを吸着させながら、前記複数の突上げ針が前記搭載面から突出する、
ピックアップステージ。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記搭載面は直径２５ｍｍ未満の円形であり、
前記搭載面と前記傾斜面のなす角は１３５度以上１８０度未満である、
請求項１に記載のピックアップステージ。
【請求項３】
前記複数の突上げ針が前記搭載面から突出する際、前記複数の第１吸着穴は前記粘着シートを吸着しない、
請求項１に記載のピックアップステージ。
【請求項４】
前記複数の第１吸着穴は、前記搭載面に搭載される前記半導体チップの四隅に重なる位置に設けられる、
請求項１に記載のピックアップステージ。
【請求項５】
前記複数の突上げ針が前記搭載面から突出する際、前記第１吸着穴は前記粘着シートを吸着する、
請求項４に記載のピックアップステージ。
【請求項６】
前記第１吸着穴は、前記搭載面の中心に斜辺を向けた三角形である、
請求項４に記載のピックアップステージ。
【請求項７】
前記複数の第１吸着穴に上端が接続されることにより前記複数の第１吸着穴に吸着力を付与する複数の第１パイプをさらに備え、
前記複数の第１パイプのそれぞれは前記搭載面と垂直な方向に延伸し、延伸方向に移動可能であり、
前記複数の突上げ針が前記搭載面から突出する際、前記複数の第１パイプのそれぞれの前記上端は前記搭載面と離間して前記搭載面より下側に位置する、
請求項１に記載のピックアップステージ。
【請求項８】
前記複数の第１吸着穴に上端が接続されることにより前記複数の第１吸着穴に吸着力を付与する複数の第１パイプをさらに備え、
前記複数の第１パイプは前記搭載面と垂直な方向に延伸し、延伸方向に移動可能であり、
前記複数の突上げ針が前記搭載面から突出する際、前記複数の第１パイプのそれぞれの前記上端は前記複数の第１吸着穴のそれぞれを通って前記搭載面から突出する、
請求項１に記載のピックアップステージ。
【請求項９】
前記複数の突上げ針のそれぞれは、針部と、前記針部の上に設けられた回転可能な楕円形のカムとを備え、
前記複数の突上げ針は前記搭載面に平行な方向に移動可能である、
請求項１に記載のピックアップステージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、半導体チップのピックアップステージに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置の組み立て工程では、粘着シートに貼り付けられた半導体チップをステージに搭載し、半導体チップに所定の処理を行った後、半導体チップを粘着シートから剥離して取り出すことが必要である。
【０００３】
特許文献１には、突上コマが粘着シートを挟んで半導体チップを持ち上げることにより、半導体チップを粘着シートから剥離することが可能なピックアップ装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１０－２５６３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のピックアップ装置において、突上コマは円筒形状であり、突上コマの上端面には、筒心に直交する突上面と、筒心に対して傾斜する傾斜面とが形成されている。しかし、突上面と傾斜面のいずれにも粘着シートを固定するための吸着穴がないため、粘着シートおよび半導体チップを固定することができないという問題があった。
【０００６】
本開示は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、粘着シートおよび半導体チップを固定しつつ、必要に応じて半導体チップを粘着シートから剥離可能なピックアップステージの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示のピックアップステージは、粘着シートから半導体チップを剥離するためのものである。ピックアップステージは、粘着シートを介して半導体チップを搭載し、複数の針穴および粘着シートを吸着可能な複数の第１吸着穴を有する搭載面と、搭載面から連続し、搭載面に対して傾斜を有し、粘着シートを吸着可能な複数の第２吸着穴を有する傾斜面と、複数の針穴を通して搭載面から突出可能な複数の突上げ針と、を備える。複数の第２吸着穴が傾斜面に粘着シートを吸着させながら、複数の突上げ針が搭載面から突出する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示のピックアップステージによれば、複数の第２吸着穴が傾斜面に粘着シートを固定することにより半導体チップを固定できる。また、粘着シートを傾斜面に固定しつつ複数の突上げ針によって突上げることにより、粘着シートが半導体チップの端部から剥離する。これにより、半導体チップを粘着シートから剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施の形態１のピックアップステージの上面図および側面図である。
実施の形態１のピックアップステージに半導体チップを搭載した状態を示す側面図である。
実施の形態１のピックアップステージの搭載面から突上げ針が少し突出し、半導体チップを少し押し上げた状態を示す側面図である。
実施の形態１のピックアップステージの搭載面から突上げ針が大きく突出し、半導体チップを大きく押し上げ、粘着シートが半導体チップから剥離しようとする状態を示す側面図である。
実施の形態１のピックアップステージに搭載された半導体チップの端部が粘着シートから剥離した状態を示す側面図である。
実施の形態２のピックアップステージの上面図である。
実施の形態２のピックアップステージに最小サイズの半導体チップが搭載された状態を示す上面図である。
実施の形態２のピックアップステージに最大サイズの半導体チップが搭載された状態を示す上面図である。
実施の形態３のピックアップステージに半導体チップを搭載した状態を示す断面図である。
実施の形態３のピックアップステージにおいて、第１吸着穴が搭載面より下降し、粘着シートを吸着した状態を示す断面図である。
実施の形態３のピックアップステージにおいて、突上げ針が搭載面から突出し、半導体チップの端部に吸着シートからの剥離起点が生じた状態を示す断面図である。
実施の形態４のピックアップステージにおいて、突上げ針と第１吸着穴が搭載面から少し突出した状態を示す側面図である。
実施の形態４のピックアップステージにおいて、第１吸着穴が突上げ針よりも大きく搭載面から少し突出した状態を示す側面図である。
実施の形態４のピックアップステージにおいて、半導体チップの端部に粘着シートからの剥離起点が生じた状態を示す側面図である。
実施の形態５のピックアップステージにおいて、カムフォロア型の突上げ針が半導体チップを押し上げる様子を示す側面図である。
実施の形態５のピックアップステージの上面図である。
実施の形態５のピックアップステージにおいて、カムフォロア型の突上げ針が半導体チップを押し上げていない状態を示す断面図である。
実施の形態５のピックアップステージにおいて、カムフォロア型の突上げ針が半導体チップを少し押し上げている状態を示す断面図である。
実施の形態５のピックアップステージにおいて、カムフォロア型の突上げ針が半導体チップを大きく押し上げている状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜Ａ．実施の形態１＞
＜Ａ－１．構成＞
図１は、実施の形態１のピックアップステージ１０１を上面および側面から見た図である。図２は、半導体チップ１１が搭載されたピックアップステージ１０１の側面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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