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公開番号2024049758
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2022156185
出願日2022-09-29
発明の名称感光性樹脂組成物、硬化物および表示装置
出願人東レ株式会社
代理人
主分類G03F 7/075 20060101AFI20240403BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】相溶性に優れ、優れた機械特性を有し、低露光量でパターン形成が可能な樹脂組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】
ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミド、これらの前駆体およびこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも1種類であるアルカリ可溶性樹脂(A)、ポリシロキサン(B)並びに、光酸発生剤(C)を含み、
前記(B)成分が、その全繰り返し単位構造100mol%中に芳香族基を有するオルガノシラン単位を85～100mol%有する、感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミド、これらの前駆体およびこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも１種類であるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、ポリシロキサン（Ｂ）並びに、光酸発生剤（Ｃ）を含み、
前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中に芳香族基を有するオルガノシラン単位を８５～１００ｍｏｌ％有する、感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中に多環の芳香族基を有するオルガノシラン単位を６０～１００ｍｏｌ％有する、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ｂ）成分の全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中の前記多環の芳香族基を有するオルガノシラン単位の含有率が６０～９５ｍｏｌ％であり、かつ、
前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中に単環の芳香族基を有するオルガノシラン単位を５～４０ｍｏｌ％有する、
請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中にカルボキシル基および／またはカルボン酸無水物基を有するオルガノシラン単位を合計で１～５ｍｏｌ％有する、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記（Ａ）成分１００質量部に対し、前記（Ｂ）成分の含有量が１０質量部以上、５０質量部以下である、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１～５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物が硬化されてなる硬化物。
【請求項７】
請求項６に記載の硬化物を具備する表示装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：以下ＥＬと記す）表示装置の駆動用薄膜トランジスタ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ：以下ＴＦＴと記す）基板の平坦化膜、絶縁層などの用途に適した感光性樹脂組成物に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ポリイミドやポリベンゾオキサゾールなどの耐熱性樹脂は、優れた機械特性や耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性を有することから、有機ＥＬ表示装置の絶縁層、表示装置用ＴＦＴ基板の平坦化膜などに用いられている。
【０００３】
近年、基板の大型化や生産性向上などの理由から、露光時間を短縮するため、感光性樹脂組成物により高い感度が要求されている。
【０００４】
一方でポリシロキサンは、低露光量でパターン加工が可能であることが知られている（特許文献１）。しかしポリシロキサンは、ポリイミドやポリベンゾオキサゾールと比較して、機械特性が劣るという課題点がある。
【０００５】
優れた機械特性を有し、低露光量でパターンを形成が可能な材料として、優れた機械特性を有するポリイミドやポリベンゾオキサゾールと、低露光量でパターンを形成が可能なポリシロキサンを混合させることを思索した。本発明の課題解決とは別の目的で、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、およびそれらの前駆体とポリシロキサンを混合した例がいくつか報告されている（特許文献２、３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００６－１７８４３６号公報
特開２０１４－１９１００２号公報
国際公開第２０１７／０５７２８１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら特許文献２と３に記載の従来のポリシロキサンを含有する樹脂組成物は、相溶性が不十分であり、塗布膜を形成した際、膜が白濁する課題が判明した。そこで本発明は、相溶性に優れ、優れた機械特性を有し、低露光量でパターン形成が可能な樹脂組成物を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下の構成を有する。
（１）ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミド、これらの前駆体およびこれらの共重合体からなる群より選択される少なくとも１種類であるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、ポリシロキサン（Ｂ）並びに、光酸発生剤（Ｃ）を含み、
前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中に芳香族基を有するオルガノシラン単位を８５～１００ｍｏｌ％有す、感光性樹脂組成物。
（２）前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中に多環の芳香族基を有するオルガノシラン単位を６０～１００ｍｏｌ％有する、上記（１）に記載の感光性樹脂組成物。
（３）前記（Ｂ）成分の全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中の前記多環の芳香族基を有するオルガノシラン単位の含有率が６０～９５ｍｏｌ％であり、かつ、
前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中に単環の芳香族基を有するオルガノシラン単位を５～４０ｍｏｌ％有する、
上記（２）に記載の感光性樹脂組成物。
（４）前記（Ｂ）成分が、その全繰り返し単位構造１００ｍｏｌ％中にカルボキシル基および／またはカルボン酸無水物基を有するオルガノシラン単位を合計で１～５ｍｏｌ％有する、上記（１）～（３）のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
（５）前記（Ａ）成分１００質量部に対し、前記（Ｂ）成分の含有量が１０質量部以上、５０質量部以下である、上記（１）～（４）のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
（６）上記（１）～（５）のいずれかに記載の感光性樹脂組成物が硬化されてなる硬化物。
（７）上記（６）に記載の硬化物を具備する表示装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、塗布膜形成時、膜が白濁することなく、優れた機械特性を有し、低露光量でパターン加工が可能な感光性樹脂組成物を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の感光性樹脂組成物が硬化されてなる硬化物を具備する、有機ＥＬ表示装置の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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