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公開番号2024125184
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-13
出願番号2024026215
出願日2024-02-26
発明の名称ポジ型感光性組成物
出願人東レ株式会社
代理人
主分類G03F 7/023 20060101AFI20240906BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】リグニン由来の化合物を含む、良好な感度を有するポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】本発明は(A)リグニン誘導体、および(B)光酸発生剤を含むポジ型感光性組成物であって、(B)光酸発生剤が、
(B-1)1分子中にフェノール性水酸基を2～10個有する化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したもの
(B-2)オニウム塩型のイオン性光酸発生剤
(B-3)ジアゾメタン化合物、オキシムスルホネート化合物およびイミドスルホネート化合物からなる群より選ばれる少なくとも1つ
のいずれか1種以上である、ポジ型感光性組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
（Ａ）リグニン誘導体、および（Ｂ）光酸発生剤を含むポジ型感光性組成物であって、（Ｂ）光酸発生剤が、
（Ｂ－１）１分子中にフェノール性水酸基を２～１０個有する化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したもの
（Ｂ－２）オニウム塩型のイオン性光酸発生剤
（Ｂ－３）ジアゾメタン化合物、オキシムスルホネート化合物およびイミドスルホネート化合物からなる群より選ばれる少なくとも１つ
のいずれか１種以上である、ポジ型感光性組成物。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
（Ｂ－１）が、１分子中にフェノール性水酸基を２～６個有する化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したものである、請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項３】
（Ｂ－１）が１分子中に繰り返し単位が連結した構造を有しない化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したものである、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項４】
（Ａ）リグニン誘導体の重量平均分子量が２００～１０，０００である、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項５】
（Ａ）リグニン誘導体がその構造中にスルホン酸および／またはスルホン酸塩を含む、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項６】
（Ａ）リグニン誘導体がその構造中にチオール基および／またはチオエーテル基を含む、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項７】
（Ａ）リグニン誘導体の質量を１００質量％としたとき、（Ａ）リグニン誘導体中の硫黄原子の含有量が２質量％未満である、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項８】
（Ａ）リグニン誘導体が下記構造から選ばれる少なくとも１つの構造の重合体を含む、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
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2024125184000025.tif
36
170
【請求項９】
（Ａ）リグニン誘導体に含まれるフェノール性水酸基の少なくとも１モル％以上は炭素数３～２０の酸解離性有機基に置換されている、請求項１または２に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項１０】
前記炭素数３～２０の酸解離性有機基は式（１）および／または一般式（２）で表される基である、請求項９に記載のポジ型感光性組成物。
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170
（式（１）および式（２）は１価の有機基を示す。式（１）中、Ｒ
１
は炭素数１～１０の脂肪族有機基を示し、Ｒ
２
は炭素数１～２０の脂肪族有機基を示す。式（２）中、Ｒ
３
は炭素数１～１０の脂肪族有機基を示す。ｐは０～２の整数を示し、ｑは０～２の整数を示す。）
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポジ型感光性組成物に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、脱炭素社会を目標とした取り組みが盛んに行われており、素材においても、原料にバイオマス資源を用いることや、生分解性を持たせること等の開発が進んでいる。
【０００３】
ポジ型感光性組成物に使用されるフェノール化合物には、ノボラック、ポリヒドロキシスチレンのように樹脂としての使用、多価のフェノール低分子化合物のように溶解促進剤としての使用、さらには、それらにキノンジアジド基を結合させた感光剤としての使用など、多岐にわたった用途がある。
【０００４】
植物の植物体細胞壁の主要成分であるリグニンは、針葉樹材に２５～３５％、広葉樹材に２０～２５％含まれるバイオマス資源である。近年、リグニン誘導体を石油由来のフェノール化合物に替わって活用しようという試みがなされており（例えば、特許文献１、非特許文献１参照）、ポジ型感光性組成物においても、ノボラック樹脂の代替品としての活用が検討されている（例えば、非特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
「ネットワークポリマー」Ｖｏｌ．３１Ｎｏ．５（２０１０）
「ネットワークポリマー」Ｖｏｌ．２３Ｎｏ．３（２００２）
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０２２／２１５５５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、現行の石油由来の樹脂と比較してリグニン由来の化合物は、感光性組成物として用いたときに露光感度が低いという課題があった。本発明の目的は、リグニン由来の化合物を含む、良好な感度を有するポジ型感光性組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。
［１］（Ａ）リグニン誘導体、および（Ｂ）光酸発生剤を含むポジ型感光性組成物であって、（Ｂ）光酸発生剤が、
（Ｂ－１）１分子中にフェノール性水酸基を２～１０個有する化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したもの
（Ｂ－２）オニウム塩型のイオン性光酸発生剤
（Ｂ－３）ジアゾメタン化合物、オキシムスルホネート化合物およびイミドスルホネート化合物からなる群より選ばれる少なくとも１つ
のいずれか１種以上である、ポジ型感光性組成物。
［２］（Ｂ－１）が、１分子中にフェノール性水酸基を２～６個有する化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したものである、［１］に記載のポジ型感光性組成物。
［３］（Ｂ－１）が１分子中に繰り返し単位が連結した構造を有しない化合物にキノンジアジドのスルホン酸がエステル結合したものである［１］または［２］に記載のポジ型感光性組成物。
［４］（Ａ）リグニン誘導体の重量平均分子量が２００～１０，０００である、［１］～［３］のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
［５］（Ａ）リグニン誘導体がその構造中にスルホン酸および／またはスルホン酸塩を含む、［１］～［４］のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
［６］（Ａ）リグニン誘導体がその構造中にチオール基および／またはチオエーテル基を含む、［１］～［５］のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
［７］（Ａ）リグニン誘導体の質量を１００質量％としたとき、（Ａ）リグニン誘導体中の硫黄原子の含有量が２質量％未満である、［１］～［６］のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
［８］（Ａ）リグニン誘導体が下記構造から選ばれる少なくとも１つの構造の重合体を含む、［１］～［７］のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【０００９】
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【００１０】
［９］（Ａ）リグニン誘導体に含まれるフェノール性水酸基の少なくとも１モル％以上は炭素数３～２０の酸解離性有機基に置換されている、［１］～［８］のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
［１０］前記炭素数３～２０の酸解離性有機基は式（１）および／または一般式（２）で表されるである、［９］に記載のポジ型感光性組成物。
（【００１１】以降は省略されています）

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