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公開番号2025179286
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-10
出願番号2022178943
出願日2022-11-08
発明の名称弾性波共振子および通信装置
出願人京セラ株式会社
代理人
主分類H03H 9/145 20060101AFI20251203BHJP(基本電子回路)
要約【課題】優れたフィルタ特性をもつ弾性波共振子を提供する。
【解決手段】弾性波共振子は、圧電性を有し、第1面と第1面とは反対側の第2面を有する圧電体層と、第1面上に位置し、複数の電極指を有する、IDT電極と、第2面側に位置し、圧電体層よりも音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層を含む、音響反射層と、を備え、平面視における複数の電極指の表面の少なくとも一部における算術平均粗さをRa1とし、複数の電極指の厚みをTとすると、 0.14≦(Ra1/T)×100 の関係を満たし、IDT電極によって励振され、圧電体層を伝搬するLamb波を主共振として利用するように構成されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
圧電性を有し、第１面と該第１面とは反対側の第２面を有する圧電体層と、
前記第１面上に位置し、複数の電極指を有する、ＩＤＴ電極と、
前記第２面側に位置し、前記圧電体層よりも音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層を含む、音響反射層と、
を備え、
平面視における前記複数の電極指の表面の少なくとも一部における算術平均粗さをＲａ１とし、前記複数の電極指の厚みをＴとすると、
０．１４≦（Ｒａ１／Ｔ）×１００の関係を満たし、
前記ＩＤＴ電極によって励振され、前記圧電体層を伝搬するＬａｍｂ波を主共振として利用するように構成されている、
弾性波共振子。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
圧電性を有し、第１面と該第１面とは反対側の第２面を有する圧電体層と、
前記第１面上に位置し、複数の電極指を有する、ＩＤＴ電極と、
前記第２面側に位置し、前記圧電体層よりも音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層を含む、音響反射層と、
を備え、
平面視における前記複数の電極指の表面の少なくとも一部における算術平均粗さをＲａ１とすると、Ｒａ１は０．２０ｎｍ以上であり、
前記ＩＤＴ電極によって励振され、前記圧電体層を伝搬するＬａｍｂ波を主共振として利用するように構成されている、
弾性波共振子。
【請求項３】
前記音響反射層は、前記低音響インピーダンス層よりも音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層をさらに含み、
前記音響反射層は、複数の前記低音響インピーダンス層と複数の前記高音響インピーダンス層が交互に積層されて構成されている、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項４】
前記低音響インピーダンス層は、気体である、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項５】
（Ｒａ１／Ｔ）×１００≦８．６の関係をさらに満たす、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項６】
（Ｒａ１／Ｔ）×１００≦１．４の関係をさらに満たす、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項７】
（Ｒａ１／Ｔ）×１００≦０．９３の関係をさらに満たす、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項８】
前記Ｒａ１は、１２ｎｍ以下である、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項９】
前記Ｒａ１は、２．０ｎｍ以下である、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
【請求項１０】
前記Ｒａ１は、１．３ｎｍ以下である、
請求項１または２に記載の弾性波共振子。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波を利用する電子部品である弾性波共振子および当該弾性波共振子を含む通信装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
支持基板と、支持基板上に形成されている音響反射層と、音響反射層上に形成されている圧電体層と、圧電体層の上面または下面に形成されたＩＤＴ電極とを備える弾性波装置が開示されており、音響反射層は、低音響インピーダンス層と、低音響インピーダンス層よりも音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層とを有している。このような構成とすることにより、圧電体層において伝搬する板波が音響反射層により反射され、弾性波エネルギーが圧電体層に閉じ込められることで、板波が圧電体層を高いエネルギー強度を持って伝搬することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５６４８６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の弾性波装置においては、音響反射層によってメインモードの弾性波とともにスプリアスの原因となる不要波も圧電体層に閉じ込められてしまうため、スプリアスの強度が大きくなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）
本発明の一実施形態に係る弾性波共振子は、圧電性を有し、第１面と第１面とは反対側の第２面を有する圧電体層と、第１面上に位置し、複数の電極指を有する、ＩＤＴ電極と、第２面側に位置し、圧電体層よりも音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層を含む、音響反射層と、を備え、平面視における複数の電極指の表面の少なくとも一部における算術平均粗さをＲａ１とし、複数の電極指の厚みをＴとすると、０．１４≦（Ｒａ１／Ｔ）×１００の関係を満たし、ＩＤＴ電極によって励振され、圧電体層を伝搬するＬａｍｂ波を主共振として利用するように構成されている。
【０００６】
（２）
本発明の一実施形態に係る弾性波共振子は、上記（１）に記載する弾性波共振子であって、Ｒａ１は０．２０ｎｍ以上である。
【０００７】
（３）
本発明の一実施形態に係る弾性波共振子は、上記（１）または（２）に記載する弾性波共振子であって、音響反射層は、低音響インピーダンス層よりも音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層をさらに含み、音響反射層は、複数の低音響インピーダンス層と複数の高音響インピーダンス層が交互に積層されて構成されている。
【０００８】
（４）
本発明の一実施形態に係る弾性波共振子は、上記（１）乃至（３）のいずれかに記載する弾性波共振子であって、圧電体層の第１面とは反対の面側に位置し、平面視において複数の電極指と重なる位置に圧電体層によって内部空間を空けて覆われた空隙を有する支持
基板をさらに備え、低音響インピーダンス層は、空隙に存在する気体である。
【０００９】
（５）
本発明の一実施形態に係る弾性波共振子は、上記（１）乃至（４）のいずれかに記載する弾性波共振子であって、（Ｒａ１／Ｔ）×１００≦８．６の関係をさらに満たす。
【００１０】
（６）
本発明の一実施形態に係る弾性波共振子は、上記（１）乃至（５）のいずれかに記載する弾性波共振子であって、（Ｒａ１／Ｔ）×１００≦１．４の関係をさらに満たす。
（【００１１】以降は省略されています）

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