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公開番号2025154627
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057737
出願日2024-03-29
発明の名称走査装置及び制御装置
出願人京セラ株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20251002BHJP(光学)
要約【課題】回転角度の変化を安定化させる。
【解決手段】走査装置10は走査部15と制御部16とを有する。走査部15は第1の方向及び第2の方向を含む方向に反射面の向きを変化させる。制御部16は反射面の向きを第1の方向から第2の方向に変化させる場合に第3の駆動信号を走査部15に少なくとも出力し、第2の駆動信号を走査部15に出力する。第3の駆動信号は反射面の向きを第1の方向から第3の方向に変化させる。第2の駆動信号は反射面の向きを第2の方向に変化させる。第2の駆動信号を第3の駆動信号による反射面の揺動を低減するように出力する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の方向及び第２の方向を含む複数の方向に反射面の向きを変化させる走査部と、
前記反射面の向きを前記第１の方向から前記第２の方向に変化させる場合に、前記反射面の向きを前記第１の方向から第３の方向へ変化させる第３の駆動信号を前記走査部に少なくとも出力し、前記反射面の向きを前記第２の方向に変化させる第２の駆動信号を前記走査部に出力する制御部と、を備え、
前記第２の駆動信号は、前記第３の駆動信号による前記反射面の揺動を低減するように出力される、
走査装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
請求項１に記載の走査装置において、
前記制御部は、前記第３の駆動信号による前記反射面の揺動が収束する前に、前記第２の駆動信号を前記走査部に出力する、
走査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の走査装置において、
前記制御部は、前記第３の駆動信号による揺動で前記第２の方向へ変化する前記反射面の振り角が最大となるときに、前記第２の駆動信号を前記走査部に出力する、
走査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の走査装置において、
前記制御部は、
前記第３の駆動信号による揺動で、前記第２の方向へ変化する前記反射面の振り角が最大になってから、該反射面の向きの前記第１の方向へ向かって変化する期間に該第２の駆動信号を前記走査部に出力する、
走査装置。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の走査装置において、
前記制御部は、
前記第３の駆動信号を前記走査部に出力してから、前記反射面の揺動の共振周波数の半周期に、該共振周波数の周期の整数倍を足した時間差で前記第２の駆動信号を前記走査部に出力する、
走査装置。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の走査装置において、
前記制御部は、
前記第２の駆動信号を前記走査部に出力する時間より、前記反射面の揺動の共振周波数の半周期に、該共振周波数の周期の整数倍を足した時間前に前記第３の駆動信号を前記走査部に出力する、
走査装置。
【請求項７】
請求項１又は２に記載の走査装置において、
前記走査部は、所定の軸回りに前記反射面を前記第１の方向、前記第の３方向、及び、前記第２の方向に向け、
前記第１の方向から前記第３の方向への前記反射面の回転角度は、前記第１の方向から前記第２の方向への前記反射面の回転角度よりも小さい、
走査装置。
【請求項８】
請求項１又は２に記載の走査装置において、
前記走査部は、所定の軸回りに前記反射面を前記第１の方向、前記第３の方向、及び、前記第２の方向に向け、
前記第１の方向から前記第３の方向への前記反射面の回転角度は、前記第１の方向から前記第２の方向への前記反射面の回転角度よりも大きい、
走査装置。
【請求項９】
請求項１又は２に記載の走査装置において、
前記制御部は、
前記第２の駆動信号を前記走査部に出力する前に、前記第３の駆動信号を含む複数の駆動信号を前記走査部に出力し、
複数の前記駆動信号のそれぞれは、他の駆動信号による前記反射面の揺動を打ち消すように出力される、
走査装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の走査装置であって、
電磁波を放射する放射部を更に備え、
前記走査部は、前記放射部から入射される前記電磁波を前記反射面で反射する、
走査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査装置及び制御装置に関するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｌｉｄａｒ等の測距装置では、ＭＥＭＳミラーを用いてビーム状の光の放射方向を変化させることにより、対象物が走査される。ＭＥＭＳミラーは、２軸回転式のミラーにおける水平軸及び垂直軸の回転角度を変化させることにより走査を行わせる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０４８５２９号公させ報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような構成において、一方の軸周りの回転角度の変化が不安定になることがある。
【０００５】
従って、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされた本開示の目的は、回転角度の変化を安定化させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した諸課題を解決すべく、第１の観点による走査装置は、
第１の方向及び第２の方向を含む複数の方向に反射面の向きを変化させる走査部と、
前記反射面の向きを前記第１の方向から前記第２の方向に変化させる場合に、前記反射面の向きを前記第１の方向から第３の方向へ変化させる第３の駆動信号を前記走査部に少なくとも出力し、前記反射面の向きを前記第２の方向に変化させる第２の駆動信号を前記走査部に出力する制御部と、を備え、
前記第２の駆動信号は、前記第３の駆動信号による前記反射面の揺動を低減するように出力される。
【０００７】
第２の観点による制御装置は、
第１の方向及び第２の方向を含む複数の方向に反射面の向きを変化させる走査部を備える走査装置を制御する制御装置であって、
前記反射面の向きを前記第１の方向から前記第２の方向に変化させる場合に、前記反射面の向きを前記第１の方向から第３の方向へ変化させる第３の駆動信号を前記走査部に少なくとも出力し、前記反射面の向きを前記第２の方向に変化させる第２の駆動信号を前記走査部に出力する制御部と、を備え、
前記第２の駆動信号は、前記第３の駆動信号による前記反射面の揺動を低減するように出力される。
【発明の効果】
【０００８】
上記のように構成された本開示係る走査装置によれば、回転角度の変化が安定化する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態に係る走査装置を含む電磁波検出装置の概略構成を示す機能ブロック図である。
図１の走査装置の構成図である。
図２の走査部の構成図である。
図２の第２の鏡から第２の検出素子に電磁波を進行させる経路上の構成要素の配置を示す配置図である。
図４のスリット板及び抽出鏡を第２の検出素子側から見た図である。
第１の駆動信号による反射面の第１の回動方向に沿った揺動を説明する図である。
駆動信号を方形状に変化させた場合の反射面の方向の時間変化を示すグラフである。
複数のサブ回動による反射面の方向成分それぞれの時間変化を示すグラフである。
複数のサブ回動による反射面の方向成分を合計した方向の時間変化を示すグラフである。
第２の駆動信号による反射面の第２の回動方向に沿った階段状の角度変化を説明するための図である。
図２の制御部が行う強度調整処理を説明するためのフローチャートである。
図２の制御部が行う周波数調整処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示を適用した走査装置の実施形態について、図面を参照して説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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