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公開番号2025154623
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057733
出願日2024-03-29
発明の名称走査装置及び制御装置
出願人京セラ株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20251002BHJP(光学)
要約【課題】位相のずれ及び最大駆動角度の低下が低減する。
【解決手段】走査装置10は走査部15と駆動部と制御部16とを有する。走査部は第1軸回り及び第2軸回りに揺動するミラー部を有する。走査部15は入射される電磁波をミラー部の反射面で反射する。駆動部は第1軸回りにミラー部を共振駆動させる。駆動部は第2軸回りにミラー部を非共振駆動させる。制御部16は第2軸回りのミラー部の揺動に基づいて第1軸回りにミラー部を揺動させる駆動周波数を制御する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１軸回り、及び、該第１軸と異なる第２軸回りに揺動するミラー部を有し、入射される電磁波を該ミラー部の反射面で反射する走査部と、
前記第１軸回りに前記ミラー部を共振駆動させ、前記第２軸回りに前記ミラー部を非共振駆動させる駆動部と、
前記第２軸回りの前記ミラー部の揺動に基づいて、前記第１軸回りに前記ミラー部を揺動させる駆動周波数を制御する制御部と、を備える、
走査装置。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
請求項１に記載の走査装置において、
前記走査部は、
前記ミラー部を前記第２軸回りに揺動可能に保持する第２の保持部と、
前記第２の保持部を介して前記ミラー部を前記第１軸回りに揺動可能に保持する第１の保持部と、を更に有する、
走査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の走査装置において、
前記駆動部は、
前記第１の保持部に設置され、前記第１軸回りに前記ミラー部を揺動させる第１の駆動部と、
前記第２の保持部に設置され、前記第２軸回りに前記ミラー部を揺動させる第２の駆動部と、を含む、
走査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の走査装置において、
前記制御部は、前記第２軸回りに前記反射面が揺動する角度に応じて、前記駆動周波数を制御する、
走査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の走査装置において、
前記制御部は、前記第１軸回りの揺動による前記反射面の角速度が第１閾値以下となる第１の時点において、前記駆動周波数を制御する、
走査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の走査装置において、
前記第１の時点は、前記角速度が極小となる時点である、
走査装置。
【請求項７】
請求項５に記載の走査装置において、
前記制御部は、前記第１軸回りの揺動による前記反射面の角度の偏差が第２閾値以下となる第２の時点において、前記駆動周波数を制御する、
走査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の走査装置において、
前記第２の時点は、前記偏差が最小となる時点である
走査装置。
【請求項９】
請求項１に記載の走査装置であって、
電磁波を放射する放射部を、更に備え、
前記走査部は、前記放射部から入射される前記電磁波を前記ミラー部の反射面で反射する、
走査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の走査装置であって、
前記走査部の前記反射面で反射した前記電磁波が物体で反射した反射波を検出する検出部を、更に備える、
走査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査装置及び制御装置に関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｌｉｄａｒ等の測距装置では、ＭＥＭＳミラーを用いてビーム状の光の放射方向を変化させることにより、対象物が走査される。ＭＥＭＳミラーには、２軸回転式のミラーにおける一方の軸周りを共振周波数で揺動させることにより、走査速度及び駆動角度の拡大が図られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０４８５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、共振周波数で揺動させるように当該共振周波数と周期の同じ駆動周波数を印加していると、位相のずれ、最大駆動角度が低下することが生じていた。
【０００５】
従って、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされた本開示の目的は、位相のずれ及び最大駆動角度の低下を低減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した諸課題を解決すべく、第１の観点による走査装置は、
第１軸回り、及び、該第１軸と異なる第２軸回りに揺動するミラー部を有し、入射される電磁波を該ミラー部の反射面で反射する走査部と、
前記第１軸回りに前記ミラー部を共振駆動させ、前記第２軸回りに前記ミラー部を非共振駆動させる駆動部と、
前記第２軸回りの前記ミラー部の揺動に基づいて、前記第１軸回りに前記ミラー部を揺動させる駆動周波数を制御する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
上記のように構成された本開示係る走査装置によれば、位相のずれ及び最大駆動角度の低下が低減する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態に係る走査装置を含む電磁波検出装置の概略構成を示す機能ブロック図である。
図１の走査装置の構成図である。
図２の走査部の構成図である。
図２の第２の鏡から第２の検出素子に電磁波を進行させる経路上の構成要素の配置を示す配置図である。
図４のスリット板及び抽出鏡を第２の検出素子側から見た図である。
第１の駆動信号による反射面の第１の回動方向に沿った揺動を説明する図である。
第２の駆動信号による反射面の第２の回動方向に沿った角度変化を説明するための図である。
図２の制御部が行う周波数調整処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示を適用した走査装置の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１０】
図１に示すように、本開示の第１の実施形態に係る走査装置１０は、例えば、電磁波検出装置１１に用いられてよい。電磁波検出装置１１は、走査装置１０、第１の検出部１２、及び制御装置１３を含んで構成されてよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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