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公開番号2025076953
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-16
出願番号2023188940
出願日2023-11-02
発明の名称塗布ユニットおよびこれを備えた基板接合装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人弁理士法人あい特許事務所
主分類B05C 11/08 20060101AFI20250509BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】接合された2枚の基板に供給される充填液の量を精密に制御することができる塗布ユニットを提供する。
【解決手段】塗布ユニットは、接合された2枚の基板W1、W2を表す接合基板Wを保持しながら、接合基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、チャックに保持されている接合基板に向けて、固体状または半固体状の充填体に変化する充填液FLの複数の液滴を噴射することにより、接合された2枚の基板W1、W2の外周部の間に形成された環状溝WGに充填液FLを供給する充填液ノズル49とを含む。
【選択図】図11C
特許請求の範囲【請求項１】
接合された２枚の基板である接合基板を保持しながら、前記接合基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、
前記チャックに保持されている前記接合基板に向けて、固体状または半固体状の充填体に変化する充填液の複数の液滴を噴射することにより、接合された前記２枚の基板の外周部の間に形成された環状溝に前記充填液を供給する充填液ノズルと、を含む、塗布ユニット。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記充填液ノズルは、前記充填液の複数の液滴を前記環状溝に向けて略同じ方向に飛散させるインクジェットノズルである、請求項１に記載の塗布ユニット。
【請求項３】
前記チャックに保持されている前記接合基板の外周部の位置を検出する位置検出器と、
前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記充填液ノズルを移動させるノズルアクチュエーターと、をさらに含む、請求項１または２に記載の塗布ユニット。
【請求項４】
前記位置検出器に前記外周部の前記位置を検出させながら、前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記ノズルアクチュエーターに前記充填液ノズルを移動させる位置制御と、前記位置検出器に前記外周部の前記位置を検出させながら、前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記充填液ノズルから噴射される単位時間あたりの前記充填液の量を変更する流量制御と、の少なくとも一方を行う制御装置をさらに含む、請求項３に記載の塗布ユニット。
【請求項５】
前記チャックが前記接合基板を保持しているときに、前記環状溝内の前記充填液または充填体内の空隙と、接合された前記２枚の基板の接合面の間の空隙と、を検出するボイド検出器をさらに含む、請求項１または２に記載の塗布ユニット。
【請求項６】
前記充填液ノズルは、噴射口から前記チャックに保持されている前記接合基板に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射する大口径ノズルと、前記大口径ノズルの前記噴射口よりも面積が小さい噴射口から前記チャックに保持されている前記接合基板に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射する小口径ノズルとを含む、請求項１または２に記載の塗布ユニット。
【請求項７】
２枚の基板を接合する接合ユニットと、前記接合ユニットで接合された前記２枚の基板である接合基板に固体状または半固体状の充填体に変化する充填液を塗布する塗布ユニットと、を備え、
前記塗布ユニットは、
前記接合基板を保持しながら、前記接合基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、
前記チャックに保持されている前記接合基板に向けて前記充填液の複数の液滴を噴射することにより、接合された前記２枚の基板の外周部の間に形成された環状溝に前記充填液を供給する充填液ノズルと、を含む、基板接合装置。
【請求項８】
前記接合ユニットは、接合される前の前記２枚の基板をそれぞれ保持する第１チャックおよび第２チャックと、前記第１チャックおよび第２チャックを相対的に動かすことにより、前記第１チャックおよび第２チャックに保持されている前記２枚の基板を接触させる接合アクチュエーターと、を含み、
前記塗布ユニットは、前記チャックと前記充填液ノズルと前記第１チャックと前記第２チャックとを収容するチャンバーをさらに含む、請求項７に記載の基板接合装置。
【請求項９】
前記接合ユニットは、接合された前記２枚の基板の接合面の間の空隙と、前記環状溝内の前記充填液または充填体内の空隙と、を検出するボイド検出器をさらに含む、請求項７または８に記載の基板接合装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合された２枚の基板に充填液を塗布する塗布ユニットおよびこれを備えた基板接合装置に関する。基板には、例えば、半導体ウエハ、液晶表示装置や有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが含まれる。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板の外周端部に形成された保護部材における内部欠陥の有無を判定可能な端部状態確認装置を開示している。特許文献１の段落００８７には「図１０および図１１に示すように、第２の実施の形態に係る端部状態確認装置１は、第１の実施の形態に係る端部状態確認装置１の構成に加えて、貼り合わせ基板Ｗの外周端部に保護部材ｗ４を形成するための保護部材形成部ＬＮを含む。保護部材形成部ＬＮは、保護部材用の塗布液を供給する図示しない供給系に接続され、供給系から供給される塗布液を吐出可能なノズル部材を含む。」との記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－４３００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には「供給系から供給される塗布液を吐出可能なノズル部材」と記載されているだけで、塗布液がどのような形態でノズル部材から吐出されるかが明らかではない。
【０００５】
そこで、本発明の一つの目的は、接合された２枚の基板に供給される充填液の量を精密に制御することができる塗布ユニットおよびこれを備えた基板接合装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態は、接合された２枚の基板である接合基板を保持しながら、前記接合基板の主面に直交し、かつ、前記主面の中央を通る軸を中心に回転するチャックと、前記チャックに保持されている前記接合基板に向けて、固体状または半固体状の充填体に変化する充填液の複数の液滴を噴射することにより、接合された前記２枚の基板の外周部の間に形成された環状溝に前記充填液を供給する充填液ノズルと、を含む、塗布ユニットを提供する。接合基板は、互いに平行な２つの平面を含む。接合基板の２つの平面は、接合された２枚の基板の非接合面である。接合基板の主面は、接合基板の２つの平面のいずれであってもよい。
【０００７】
前記実施形態において、以下の特徴の少なくとも１つを前記塗布ユニットに加えてもよい。
【０００８】
前記充填液ノズルは、前記充填液の複数の液滴を前記環状溝に向けて略同じ方向に飛散させるインクジェットノズルである。
【０００９】
前記塗布ユニットは、前記チャックに保持されている前記接合基板の外周部の位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記充填液ノズルを移動させるノズルアクチュエーターと、をさらに含む。
【００１０】
前記塗布ユニットは、前記位置検出器に前記外周部の前記位置を検出させながら、前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記ノズルアクチュエーターに前記充填液ノズルを移動させる位置制御と、前記位置検出器に前記外周部の前記位置を検出させながら、前記位置検出器によって検出された前記外周部の前記位置に応じて前記充填液ノズルから噴射される単位時間あたりの前記充填液の量を変更する流量制御と、の少なくとも一方を行う制御装置をさらに含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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