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公開番号2025063518
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-16
出願番号2023172796
出願日2023-10-04
発明の名称磁気記録媒体の製造方法及びこれに用いる熱処理装置
出願人株式会社レゾナック・ハードディスク
代理人弁理士法人ITOH
主分類G11B 5/84 20060101AFI20250409BHJP(情報記憶)
要約【課題】オゾンの発生が抑えられる、保護膜層と潤滑剤層との結合力が良好な磁気記録媒体を安定的に製造できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板21上に、少なくとも磁性層、保護膜層及び潤滑剤層を順次積層する磁気記録媒体の製造方法において、LED光源22、23からの光照射によって前記潤滑剤層の表面(2つの熱処理面21a、21b)を加熱処理する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
非磁性基板上に、少なくとも磁性層、保護膜層及び潤滑剤層を順次積層する磁気記録媒体の製造方法において、
ＬＥＤ光源からの光照射によって前記潤滑剤層の表面を加熱処理する磁気記録媒体の製造方法。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記ＬＥＤ光源から放出される光は、中心波長が５００ｎｍ未満であり、中心波長が１７０ｎｍ～１９０ｎｍの波長域を含まない請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記加熱処理を、大気圧近傍の圧力下で行う請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記加熱処理を、大気雰囲気中で行う請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記加熱処理を、６０秒以内で行う請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項６】
請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法に使用する熱処理装置であって、
基板の一面に対して光を放出して前記基板を加熱処理する第１ＬＥＤ光源と、
前記基板の他面に対して光を放出して前記基板を加熱処理する第２ＬＥＤ光源と、
前記基板の外周端部を支持部材により支持して、前記基板を前記第１ＬＥＤ光源と第２ＬＥＤ光源との間に出し入れする機構と、
を備える熱処理装置。
【請求項７】
前記第１ＬＥＤ光源及び前記第２ＬＥＤ光源からの前記光の５０％以上が、前記基板に直接照射される請求項６に記載の熱処理装置。
【請求項８】
前記第１ＬＥＤ光源及び前記第２ＬＥＤ光源と前記基板との間の距離が、５０ｍｍ以下である請求項６又は７に記載の熱処理装置。
【請求項９】
前記第１ＬＥＤ光源及び前記第２ＬＥＤ光源から放出される前記光は、中心波長が５００ｎｍ未満であり、中心波長が１７０ｎｍ～１９０ｎｍの波長域を含まない請求項６又は７に記載の熱処理装置。
【請求項１０】
前記基板が、前記第１ＬＥＤ光源と前記第２ＬＥＤ光源との間に設置されたときのみ、前記第１ＬＥＤ光源と前記第２ＬＥＤ光源を発光させる制御装置を備える請求項６又は７に記載の熱処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法及びこれに用いる熱処理装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
情報処理装置の記憶装置として用いられるハードディスク装置は、再生記録用の磁気ヘッドと、磁性層を有する磁気記録媒体を備えている。磁気記録媒体では、磁気ヘッドとの接触摺動による摩耗損傷に起因して磁気記録媒体の耐久性が劣化するのを防ぐため、磁性層上に保護膜層や潤滑剤層を設けている。保護膜層としては、従来より、硬質炭素膜が一般的に使用されている。潤滑剤層は、一般に、液状のパーフロロポリエーテル化合物等を表面に塗布することにより形成されている。
【０００３】
潤滑剤層の保護膜層に対する結合力を高めることを目的として、潤滑剤層に各種の処理を施すことが知られている。例えば、特許文献１では、塗布した潤滑剤層に加熱処理を施し、さらに紫外線ランプを用いた光照射処理を行う方法が開示されている。また、この光照射処理を行う際にオゾンの発生を抑えるため、光照射処理を不活性ガス雰囲気中又は真空中で行うことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１１－２５４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、紫外線ランプの光は酸素を分解してオゾンを発生させるため、光照射処理は不活性ガス雰囲気中又は真空中で行われるが、それでも僅かにオゾンが発生し、そのオゾンが潤滑剤層に含まれる潤滑剤分子を分解して破壊していることが明らかになった。
【０００６】
このオゾンの発生原因について調べたところ、磁気記録媒体の表面に吸着する僅かな酸素が処理装置内に取り込まれ、オゾンに分解していることを解明した。オゾンの素の酸素は、例えば、基板や装置内壁に吸着した水分の他、大気中で潤滑剤層が処理される場合に、処理装置の内部を不活性ガス雰囲気で満たしても、少なからず処理装置内に取り込まれる大気成分による。また、紫外線ランプは平行光が得られ難く、光が周囲に広がるため、処理装置の処理基板以外にも光が照射されることにより、処理装置の内壁等に吸着する酸素もオゾンに分解されていた。
【０００７】
酸素の分解を抑えるため、オゾンを発生させないピーク波長域の紫外線ランプを用いても、紫外線ランプは、ピーク波長以外にも様々な波長の弱い光を含むため、その弱い光が酸素を分解してオゾンを発生させていた。
【０００８】
本発明の一態様は、上記事情に鑑みてなされたもので、オゾンの発生が抑えられる、保護膜層と潤滑剤層との結合力が良好な磁気記録媒体を安定的に製造できる磁気記録媒体の製造方法及びこれに用いる熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明は、以下の構成を採用した。
（１）非磁性基板上に、少なくとも磁性層、保護膜層及び潤滑剤層を順次積層する磁気記録媒体の製造方法において、
ＬＥＤ光源からの光照射によって前記潤滑剤層の表面を加熱処理する磁気記録媒体の製造方法。
（２）前記ＬＥＤ光源から放出される光は、中心波長が５００ｎｍ未満であり、中心波長が１７０ｎｍ～１９０ｎｍの波長域を含まない（１）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（３）前記加熱処理を、大気圧近傍の圧力下で行う（１）又は（２）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
（４）前記加熱処理を、大気雰囲気中で行う（１）～（３）の何れか１つに記載の磁気記録媒体の製造方法。
（５）前記加熱処理を、６０秒以内で行う（１）～（４）の何れか１つに記載の磁気記録媒体の製造方法。
（６）（１）～（４）の何れか１つに記載の磁気記録媒体の製造方法に使用する熱処理装置であって、
基板の一面に対して光を放出して前記基板を加熱処理する第１ＬＥＤ光源と、
前記基板の他面に対して光を放出して前記基板を加熱処理する第２ＬＥＤ光源と、
前記基板の外周端部を支持部材により支持して、前記基板を前記第１ＬＥＤ光源と第２ＬＥＤ光源との間に出し入れする機構と、
を備える熱処理装置。
（７）前記第１ＬＥＤ光源及び前記第２ＬＥＤ光源からの前記光の５０％以上が、前記基板に直接照射される（６）に記載の熱処理装置。
（８）前記第１ＬＥＤ光源及び前記第２ＬＥＤ光源と前記基板との間の距離が、５０ｍｍ以下である（６）又は（７）に記載の熱処理装置。
（９）前記第１ＬＥＤ光源及び前記第２ＬＥＤ光源から放出される前記光は、中心波長が５００ｎｍ未満であり、中心波長が１７０ｎｍ～１９０ｎｍの波長域を含まない（６）～（８）の何れか１つに記載の熱処理装置。
（１０）前記基板が、前記第１ＬＥＤ光源と前記第２ＬＥＤ光源との間に設置されたときのみ、前記第１ＬＥＤ光源と前記第２ＬＥＤ光源を発光させる制御装置を備える（６）～（９）の何れか１つに記載の熱処理装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様の磁気記録媒体の製造方法によれば、磁気記録媒体の潤滑剤層の表面を加熱処理する際にオゾンの発生を抑えることができるので、保護膜層と潤滑剤層との結合力が良好な磁気記録媒体を安定的に製造できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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