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公開番号2025051643
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2024160314
出願日2024-09-17
発明の名称化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法及び製造装置
出願人コリアインスティチュートオブインダストリアルテクノロジー
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類B22F 9/28 20060101AFI20250327BHJP(鋳造;粉末冶金)
要約【課題】副反応を抑制して製造収率を増加させ、さらに、反応器の閉塞を防止することによって連続工程の安定性を増加させることができる化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施例に係る化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法は、前駆体を供給するステップと、前記前駆体に前記前駆体の副反応を防止する副反応防止ガスを供給するステップと、前記前駆体に反応ガスを供給するステップと、前記前駆体と前記反応ガスが化学反応して無機粉末を形成するステップとを含む。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
前駆体を供給するステップと、
前記前駆体に前記前駆体の副反応を防止する副反応防止ガスを供給するステップと、
前記前駆体に反応ガスを供給するステップと、
前記前駆体と前記反応ガスが化学反応して無機粉末を形成するステップとを含む、化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記副反応防止ガスは、
前記前駆体と水又は酸素との化学反応による金属酸化物の形成を抑制する、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項３】
前記水は、前記前駆体に化学的又は物理的に吸着された状態、または水和物を形成した状態で提供される、請求項２に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項４】
前記副反応防止ガスは、
前記前駆体と水又は酸素との化学反応によって形成される生成物のうちの一部と同一である、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項５】
前記副反応防止ガスが、前記前駆体と水又は酸素との化学反応によって形成される生成物のうちの一部の形成を抑制することによって、前記前駆体と前記水又は酸素との化学反応が抑制される、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項６】
前記副反応防止ガスは、
前記前駆体と前記反応ガスの化学反応による前記無機粉末の形成を抑制または遅延させる、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項７】
前記副反応防止ガスは、
前記前駆体と前記反応ガスの化学反応によって形成される生成物のうちの一部と同一である、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項８】
前記副反応防止ガスが、前記前駆体と前記反応ガスの化学反応によって形成される生成物のうちの一部の形成を抑制することによって、前記前駆体と前記反応ガスの化学反応が抑制される、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項９】
前記前駆体は、
前記副反応防止ガスを構成する元素のいずれか１つまたはそれ以上を含む、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
【請求項１０】
前記前駆体の非金属元素と前記副反応防止ガスの非金属元素は、同じ物質である、請求項１に記載の化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の技術的思想は、無機粉末の製造方法に関し、より詳細には、副反応を抑制して製造収率を増加させ、さらに、反応器の閉塞を防止することによって連続工程の安定性を増加させることができる化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法及び製造装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
金属粉末又はセラミック粉末のような無機粉末は、様々な技術分野で活用されている。例えば、金属粉末のうちニッケル粉末の場合には、積層セラミックコンデンサ（ＭｕｌｔｉＬａｙｅｒＣｅｒａｍｉｃＣａｐａｃｉｔｏｒ、ＭＬＣＣ）の電極層に使用されている。積層セラミックコンデンサは、電子回路において一時的に電気を充電したり、ノイズを除去したりするチップ状のキャパシタであって、電流を貯蔵しておき、必要な分だけ電気を安定的に供給して、電子装置が正しく動作するようにする部品であり、このような積層セラミックコンデンサにおいて最も重要な技術は、ニッケル電極層を、できる限り薄く、かつ多く積層させることである。
【０００３】
金属粉末又はセラミック粉末を製造する方法のうち、化学気相合成法がある。化学気相合成法は、気化した前駆体と反応ガスとの化学反応を介して固相の物質を製造する。前記前駆体として塩化物を使用する場合には、塩化物が、吸湿性が強いため水を含有するようになり、このような水が塩化物と反応して望まない位置に酸化物を形成して、反応器を閉塞させることがあり、これによって、無機粉末の製造収率及び連続工程の安定性を減少させることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
日本特許出願第２０１３－５４８１５４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の技術的思想が達成しようとする技術的課題は、副反応を抑制して製造収率を増加させ、さらに、反応器の閉塞を防止することによって連続工程の安定性を増加させることができる化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法及び製造装置を提供することである。
【０００６】
しかし、このような課題は例示的なものであって、本発明の技術的思想がこれに限定されるものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法及び製造装置を提供する。
【０００８】
本発明の一実施例によれば、前記化学気相合成法を用いた無機粉末の製造方法は、前駆体を供給するステップと、前記前駆体に前記前駆体の副反応を防止する副反応防止ガスを供給するステップと、前記前駆体に反応ガスを供給するステップと、前記前駆体と前記反応ガスが化学反応して無機粉末を形成するステップとを含むことができる。
【０００９】
本発明の一実施例によれば、前記副反応防止ガスは、前記前駆体と水又は酸素との化学反応による金属酸化物の形成を抑制することができる。
【００１０】
本発明の一実施例によれば、前記水は、前記前駆体に化学的又は物理的に吸着された状態、または水和物を形成した状態で提供され得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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