特許ウォッチ

公開番号2025047442
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023155931
出願日2023-09-21
発明の名称流路継手構造
出願人株式会社PILLAR
代理人弁理士法人サンクレスト国際特許事務所
主分類F16L 25/01 20060101AFI20250326BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】帯電した移送流体から効率よく放電することができる流路継手構造を提供する。
【解決手段】本開示の流路継手構造は、2つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士をシールして接続する流路継手構造であって、前記流路孔同士を連通して移送流体が流れる連通孔が形成された導電性の筒体と、前記筒体の前記連通孔に配置され、前記移送流体が通過する導電性の多孔質体と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士をシールして接続する流路継手構造であって、
前記流路孔同士を連通して移送流体が流れる連通孔が形成された導電性の筒体と、
前記筒体の前記連通孔に配置され、前記移送流体が通過する導電性の多孔質体と、を備える流路継手構造。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記多孔質体が前記連通孔に配置された状態で前記多孔質体を保持する保持部をさらに備える、請求項１に記載の流路継手構造。
【請求項３】
外周に雄ねじが形成された前記筒体を有する継手部材と、
前記雄ねじに締め込まれる雌ねじを内周に有するユニオンナットと、を備え、
前記保持部は、前記筒体の内周に形成され、前記多孔質体が嵌め込まれる環状の凹溝である、請求項２に記載の流路継手構造。
【請求項４】
各前記流体デバイスおいて、前記流路孔の接続端部に形成された一対の環状のシール溝と、
各前記シール溝に挿入される一対の環状のシール部を軸方向両側に有する前記筒体としてのガスケットと、を備え、
前記ガスケットの前記連通孔の内周面は、各前記流体デバイスの前記流路孔の内周面よりも大径であり、
前記保持部は、各前記シール溝において前記連通孔の内周面と前記流路孔の内周面との間に形成された一対の環状の段差面を有し、
前記多孔質体は、前記連通孔に配置された状態で、一対の前記シール溝における前記段差面同士の間に挟み込まれる、請求項２に記載の流路継手構造。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路継手構造に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造、医療・医薬品製造などの各種技術分野の製造装置において、チューブやダイアフラムポンプなどの各流体デバイスに形成された流路同士を接続する接続構造として、特許文献１に記載された管継手が知られている。特許文献１の管継手は、チューブの端部の内周に装着されるインナーリングと、チューブの端部の外周に装着される筒状の継手本体と、継手本体の外周に装着されるユニオンナットと、を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１６８９４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記管継手により接続された流体デバイス内において、帯電した移送流体が流れると、流体デバイスの薄肉部（例えばチューブの周壁部や、ダイアフラムポンプのダイアフラム膜など）に、ピンホールなどの絶縁破壊が発生する場合がある。このような絶縁破壊が発生すると、移送流体が外部に漏洩してしまう。
【０００５】
そこで、継手本体を導電性材料により構成し、この継手本体の内周面に移送流体が接触することで、移送流体に帯電している電荷を継手本体に放電させることが考えられる。しかし、このような放電構造では、継手本体の内周面付近を流れる移送流体の一部分だけが継手本体に接触するため、移送流体が導電性の低い流体である場合、移送流体に帯電している電荷を継手本体に十分に放電させることができない。
【０００６】
本開示は、帯電した移送流体から効率よく放電することができる流路継手構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本開示の流路継手構造は、２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士をシールして接続する流路継手構造であって、前記流路孔同士を連通して移送流体が流れる連通孔が形成された導電性の筒体と、前記筒体の前記連通孔に配置され、前記移送流体が通過する導電性の多孔質体と、を備える。
【０００８】
本開示の流路継手構造によれば、帯電した移送流体は、導電性の筒体の連通孔を流れるとき、連通孔に配置された導電性の多孔質体を通過するので、移送流体に帯電した電荷は、多孔質体を介して筒体に放電される。その際、多孔質体の内部では移送流体が多方向に流れるため、多孔質体に接触する移送流体が増加する。これにより、移送流体から多孔質体を介して筒体へ効率よく放電することができる。
【０００９】
（２）前記（１）の流路継手構造において、前記多孔質体が前記連通孔に配置された状態で前記多孔質体を保持する保持部をさらに備えるのが好ましい。
この場合、保持部は、移送流体によって多孔質体が筒体の連通孔から押し流されるのを抑制することができる。
【００１０】
（３）前記（２）の流路継手構造において、外周に雄ねじが形成された前記筒体を有する継手部材と、前記雄ねじに締め込まれる雌ねじを内周に有するユニオンナットと、を備え、前記保持部は、前記筒体の内周に形成され、前記多孔質体が嵌め込まれる環状の凹溝であるのが好ましい。
この場合、継手部材の筒体の内周に形成された凹溝に多孔質体が嵌め込まれるので、移送流体によって多孔質体が筒体の連通孔から押し流されるのを効果的に抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許