特許ウォッチ

公開番号2025043935
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-01
出願番号2023151545
出願日2023-09-19
発明の名称情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250325BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】基板およびそれを保持する保持部の摩耗を抑制するために有利な技術を提供する。
【解決手段】物体を保持する保持部を制御する制御部は、前記保持部による前記物体の保持を解除する際に、情報処理装置から提供された制御パラメータに基づいて、気体の供給を制御するように構成されている。前記情報処理装置は、前記制御部に対して提供するべき制御パラメータを、推論モデルに従い出力する出力部と、前記保持部において前記制御部により前記制御パラメータに基づいて気体の供給が制御されながら実行された前記物体と前記物体を保持する保持面との分離の結果に基づいて、前記推論モデルの機械学習を行う機械学習部とを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
物体を保持する保持部を制御する制御部に対して前記保持部の制御パラメータを提供する情報処理装置であって、
前記保持部は、気体供給源からの気体が前記物体と対向する面に形成された開口を介して前記物体と前記保持部との間に供給されるように配置されている気体流路を有し、
前記制御部は、前記保持部による前記物体の保持を解除する際に、前記情報処理装置から提供された前記制御パラメータに基づいて、前記気体流路と前記開口を介した気体の供給を制御するように構成されており、
前記情報処理装置は、
前記制御部に対して提供するべき制御パラメータを、推論モデルに従い出力する出力部と、
前記保持部において前記制御部により前記制御パラメータに基づいて気体の供給が制御されながら実行された前記物体と前記物体を保持する保持面との分離の結果に基づいて、前記推論モデルの機械学習を行う機械学習部と、
を有する、ことを特徴とする情報処理装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記機械学習部は、前記保持面に対する前記物体の付着力に関する情報と、前記制御部による気体の供給に関する情報とを入力データとし、前記分離の結果に関する情報を教師データとして機械学習を行う、ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記気体の供給に関する情報は、気体の供給量および供給時間の情報を含む、ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記機械学習部は、前記物体の特性と前記保持部の特性とを入力データとし、前記分離の結果に関する情報を教師データとして機械学習を行う、ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記物体の特性は、前記物体の反り量、前記物体の前記保持面と対向する面の粗さ、および、前記物体の厚さ、の少なくともいずれかの情報を含む、ことを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記保持部は、前記保持面に対して出没可能に構成され前記保持面より上に突出することにより前記物体を支持する支持部材を有し、
前記保持部の特性は、前記支持部材の前記物体と当接する先端面の面積または径、および、前記保持部の材質、の少なくともいずれかの情報を含む、ことを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記保持部は、基板を露光する露光装置において前記物体としての前記基板を保持するように構成されており、
前記入力データは、前記露光装置における露光プロセスの特性を更に含む、
ことを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記露光プロセスの特性は、前記基板に対する露光時間および露光量の少なくともいずれかの情報を含む、ことを特徴とする請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記保持部は、前記保持面に対して出没可能に構成され前記保持面より上に突出することにより前記物体を支持する支持部材を有し、
前記教師データとしての前記分離の結果に関する情報は、前記物体と前記支持部材との間の圧力の変化量の情報を含む、ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記入力データは、前記分離の動作を行う駆動部の駆動速度を更に含み、前記教師データとしての前記分離の結果に関する情報は、前記駆動部の制御偏差の情報を含む、ことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報処理装置、情報処理方法、およびプログラムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示デバイス等の製造工程で使用される基板処理装置は、基板を保持する基板チャック（基板保持部）を含みうる。基板チャックにおける基板の保持および解除のスムースさは、生産性に関わるだけでなく、基板および基板チャックの耐摩耗性にも関わる。
【０００３】
特許文献１には、支持テーブルから基板をアンロードする際に、支持テーブルに形成されたガス流開口を介して支持テーブルのベース面と基板との間のギャップにガスを供給することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特表２０１９９－５０５８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板チャックが基板をチャックし、その後にチャックを解除しても、基板と基板チャックとの間には、付着力が働いている。基板と基板チャックとを分離させる際の気体の供給量が付着力に対して過大であると、基板が基板チャックから浮き上がり、基板が横滑りしてしまう。一方、基板と基板チャックとを分離させる際の気体の供給量が付着力に対して過少であると、基板が基板チャックから離れず基板チャックの摩耗を引き起こす。付着力は、基板や基板チャックの特性に依存するため、基板と基板チャックとを分離させるための気体の供給は、付着力に応じて、都度適切に設定されることが好ましい。
【０００６】
また、例えば、基板と基板チャックとを分離させる際に基板ステージを高速で移動させると、基板と基板チャックとが摺動することにより、基板チャックが摩耗する可能性がある。この摺動も、基板と基板チャックとの付着力に起因している。付着力の影響を低減して基板と基板チャックとを分離させるために、基板ステージの駆動も都度適切に設定されることが好ましい。
【０００７】
本発明は、基板およびそれを保持する保持部の摩耗を抑制するために有利な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、物体を保持する保持部を制御する制御部に対して前記保持部の制御パラメータを提供する情報処理装置であって、前記保持部は、気体供給源からの気体が前記物体と対向する面に形成された開口を介して前記物体と前記保持部との間に供給されるように配置されている気体流路を有し、前記制御部は、前記保持部による前記物体の保持を解除する際に、前記情報処理装置から提供された前記制御パラメータに基づいて、前記気体流路と前記開口を介した気体の供給を制御するように構成されており、前記情報処理装置は、前記制御部に対して提供するべき制御パラメータを、推論モデルに従い出力する出力部と、前記保持部において前記制御部により前記制御パラメータに基づいて気体の供給が制御されながら実行された前記物体と前記物体を保持する保持面との分離の結果に基づいて、前記推論モデルの機械学習を行う機械学習部と、を有する、ことを特徴とする情報処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、基板およびそれを保持する保持部の摩耗を抑制するために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
露光装置の構成を示す概略図。
基板ステージの構成を示す図。
制御部の機能構成を示す図。
基板チャックの平面図。
気体供給の制御について説明する図。
基板の受け渡し動作を説明する図。
基板チャックの平面図。
微動ステージの駆動プロファイルを示す図。
微動ステージのＺ偏差の時間推移を示す図。
気体供給中の圧力の時間変化を示す図。
ニューラルネットワークの構成を示す図。
学習フェーズのフローチャート。
推定フェーズのフローチャート。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許