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公開番号2025034098
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023140266
出願日2023-08-30
発明の名称液体供給装置、物品製造方法、および制御方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B05C 11/10 20060101AFI20250306BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】基板上に液体を供給する液体供給装置のスループットの点で有利な技術を提供する。
【解決手段】基板上に液体を供給する液体供給装置は、前記液体を液滴として吐出する吐出素子を有するヘッドと、前記ヘッドに対して前記基板を一方向に移動させながら前記吐出素子に前記液滴を吐出させることにより前記基板上に前記液滴を供給する処理を制御する制御部と、前記基板上における前記液滴の付着状態を計測する計測部と、を備え、前記制御部は、前記処理の終了後も前記基板を停止させずに移動させて、前記計測部によって前記付着状態を計測可能な計測位置に前記基板を停止させるように、前記基板の移動を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に液体を供給する液体供給装置であって、
前記液体を液滴として吐出する吐出素子を有するヘッドと、
前記ヘッドに対して前記基板を一方向に移動させながら前記吐出素子に前記液滴を吐出させることにより前記基板上に前記液滴を供給する処理を制御する制御部と、
前記基板上における前記液滴の付着状態を計測する計測部と、
を備え、
前記制御部は、前記処理の終了後も前記基板を停止させずに移動させて、前記計測部によって前記付着状態を計測可能な計測位置に前記基板を停止させるように、前記基板の移動を制御する、ことを特徴とする液体供給装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記基板は、パターンを形成すべき第１領域と、前記一方向において前記第１領域に隣り合う第２領域とを含み、
前記処理では、前記第１領域および前記第２領域の各々に前記液滴が供給され、
前記計測位置は、前記第２領域上の前記液滴について前記計測部により前記付着状態を計測可能な前記基板の位置である、ことを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
【請求項３】
前記処理は、前記基板に対して複数回行われ、
前記制御部は、複数回の前記処理によって前記第２領域上にそれぞれ供給される前記液滴の位置が前記一方向に互いに異なるように、複数回の前記処理を制御する、ことを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記処理ごとに前記第２領域上に供給される前記液滴の位置に応じて、複数回の前記処理の間で前記計測位置を変更する、ことを特徴とする請求項３に記載の液体供給装置。
【請求項５】
前記処理は、前記基板に対して複数回行われ、
前記制御部は、複数回の前記処理によって前記第２領域上にそれぞれ供給される前記液滴の位置が互いに重なるように、複数回の前記処理を制御する、ことを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項６】
前記処理における前記第２領域への前記液滴の供給は、前記基板の等速移動中または減速中に行われる、ことを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記計測位置に前記基板を停止させた状態で前記計測部に前記付着状態を計測させる、ことを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記計測部で計測された前記付着状態に基づいて、前記処理を経て前記液滴が供給された前記基板を評価する、ことを特徴とする請求項７に記載の液体供給装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記処理の終了時に前記計測部で計測された前記付着状態に基づいて、前記吐出素子の異常を検出する、ことを特徴とする請求項７に記載の液体供給装置。
【請求項１０】
前記処理として、前記ヘッドに対して前記基板を第１方向に移動させる第１処理と、前記ヘッドに対して前記基板を前記第１方向と反対の第２方向に移動させる第２処理とが行われ、
前記制御部は、前記第１処理の終了後も前記基板を停止させずに移動させることによって前記基板を前記計測位置に停止させ、前記第１処理を経た前記基板上における前記液滴の前記付着状態を前記計測部に計測させてから前記第２処理を開始する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体供給装置、物品製造方法、および制御方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際、機能素子の材料となる液体をインクジェット法により基板上に液滴として供給（付与）する液体供給装置を用いて、基板上にパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。このような液体供給装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであり製造装置が比較的小型になること、大面積を高速に塗布可能であることなどのメリットを有している。例えば、液体供給装置は、フラットパネルディスプレイ等の表示装置を製造するために用いられうる。
【０００３】
ところで、表示装置では様々な表示方式が提案されており、近年では特に有機ＥＬ素子を用いた表示装置の開発が盛んに進められている。有機ＥＬ素子を作製するための有機ＥＬ材料は高価であるため、材料使用効率が良く大面積を高速に塗布可能な液体供給装置が用いられる場合がある。また、最近では、量子ドット材料を含んだ色変換部や、量子ドットを発光素子として備えた表示装置が注目されている。例えば、量子ドット材料を含んだ色変換部の作製に、インクなどの液体を液滴として吐出孔（ノズル）から吐出する液体供給装置が用いられる場合がある。
【０００４】
液体供給装置では、例えば、インク溶媒の蒸発等によるインク増粘や吐出孔内への気泡混入などにより吐出孔から液滴を吐出することができない、吐出孔からの吐出量や吐出速度が変化する、或いは、吐出角度がずれるなどの吐出不良が発生する場合がある。このような吐出異常が発生すると、基板上に液滴を精度よく供給することが困難となり、液体供給装置によって製造される表示装置の品質低下を招きうる。特許文献１～２には、ワーク上に吐出されたインクの着弾位置を計測し、その計測結果に基づいてインクの吐出を制御する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５４９５５２８号公報
特開２０１１－５７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液体供給装置では、スループットの向上が求められており、基板上における液滴の付着状態（例えば着弾位置など）を効率よく計測することが望まれる。
【０００７】
そこで、本発明は、基板上に液体を供給する液体供給装置のスループットの点で有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての液体供給装置は、基板上に液体を供給する液体供給装置であって、前記液体を液滴として吐出する吐出素子を有するヘッドと、前記ヘッドに対して前記基板を一方向に移動させながら前記吐出素子に前記液滴を吐出させることにより前記基板上に前記液滴を供給する処理を制御する制御部と、前記基板上における前記液滴の付着状態を計測する計測部と、を備え、前記制御部は、前記処理の終了後も前記基板を停止させずに移動させて、前記計測部によって前記付着状態を計測可能な計測位置に前記基板を停止させるように、前記基板の移動を制御する、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、基板上に液体を供給する液体供給装置のスループットの点で有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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