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公開番号2025029796
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023134623
出願日2023-08-22
発明の名称アライメントマーク、アライメントマークの形成方法、及びアライメントマークを備えるメタルマスク
出願人マクセル株式会社
代理人個人
主分類B41N 1/24 20060101AFI20250228BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】消失し難く、信頼性に優れたアライメントマークを得る。
【解決手段】本発明は、マスク開口2を備えるマスク基板1に形成されるアライメントマークを対象とする。アライメントマーク8は、マスク基板1の厚み方向である上下方向に貫通形成される、上拡がり状、若しくはストレート状の孔、又はマスク基板1の上表面5に陥没形成される、上拡がり状、若しくはストレート状の凹みからなる開口部9と、マスク基板1の上表面5の表面粗さとは異なる表面粗さを有する粗面からなり、少なくとも開口部9の内面10の一部に周回状に形成された粗面領域12とで構成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
マスク開口（２）を備えるマスク基板（１）に形成されるアライメントマークであって、
マスク基板（１）の厚み方向である上下方向に貫通形成される、上拡がり状、又はストレート状の孔からなる開口部（９）と、
マスク基板（１）の上表面（５）の表面粗さとは異なる表面粗さを有する粗面からなり、少なくとも開口部（９）の内面（１０）の一部に周回状に形成された粗面領域（１２）とで構成されていることを特徴とするアライメントマーク。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
マスク開口（２）を備えるマスク基板（１）に形成されるアライメントマークであって、
マスク基板（１）の上表面（５）に陥没形成される、上拡がり状、又はストレート状の凹みからなる開口部（９）と、
マスク基板（１）の上表面（５）の表面粗さとは異なる表面粗さを有する粗面からなり、少なくとも開口部（９）の内面（１０）の一部に周回状に形成された粗面領域（１２）とで構成されていることを特徴とするアライメントマーク。
【請求項３】
粗面領域（１２）が、開口部（９）の内面（１０）に周回状に形成された第１粗面部（２０）と、開口部（９）の上開口（１６）を囲むように周回状に形成された第２粗面部（２１）とで構成されている、請求項１または２に記載のアライメントマーク。
【請求項４】
第１粗面部（２０）と第２粗面部（２１）とが、開口部（９）の上開口（１６）を跨いで連続して形成されている請求項３に記載のアライメントマーク。
【請求項５】
開口部（９）の上下方向の中途部に、内面（１０）から開口部（９）の軸心に向かって周回状に突設される絞り壁（４３）が形成されており、
絞り壁（４３）の上面（４３ａ）に、粗面領域（１２）が形成されている請求項１に記載のアライメントマーク。
【請求項６】
マスク開口（２）を備えるマスク基板（１）にアライメントマークを形成する方法であって、
マスク基板（１）の厚み方向である上下方向に、上拡がり状、若しくはストレート状の孔からなる開口部（９）を貫通形成する、又はマスク基板（１）の上表面（５）に、上拡がり状、若しくはストレート状の凹みからなる開口部（９）を陥没形成する、開口部形成工程と、
少なくとも開口部（９）の内面（１０）の一部に、レーザー光を照射して、マスク基板（１）の上表面（５）の表面粗さとは異なる表面粗さを有する粗面からなる粗面領域（１２）を周回状に形成する粗面化処理工程と、
を含むことを特徴とするアライメントマークの形成方法。
【請求項７】
金属薄板からなるマスク基板（１）に、請求項１または２に記載のアライメントマーク（８）が形成されていることを特徴とするメタルマスク。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出対象の位置や姿勢を検出するためのアライメントマーク、アライメントマークの形成方法、及びアライメントマークを備えるメタルマスクに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１（発明の名称：メタルマスクとその製造方法）には、アライメントマーク（ターゲットマーク）を備えるメタルマスクが開示されている。特許文献１のアライメントマークは、金属薄板で形成されるマスク基板に板厚方向に貫通形成された開口部（貫通孔）と、この開口部に充填された染料とで構成される。開口部は、ストレート状の孔で構成される大径孔と小径孔とを有する段付き孔からなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－７１６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のメタルマスクにおいては、染料の有無によりマスク基板の表面に生じさせた光学的なコントラストをアライメントマークとしてＣＣＤカメラで捉えることにより、検出対象であるメタルマスクの位置や姿勢などを検出することができる。しかし、特許文献１のアライメントマークは、開口部内に充填物（染料）が充填してなるものであるため、マスク基板に撓みや曲げなどの変形が生じたとき、或いはマスク基板を洗浄したときなどに充填物が開口部から脱落して、アライメントマークが消失するおそれがあり、信頼性に欠ける点に改良の余地があった。
【０００５】
本発明は、消失し難く、信頼性に優れたアライメントマークを得ることを目的とする。本発明の他の目的は、上記のようなアライメントマークの形成方法と、当該アライメントマークを備えるメタルマスクを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、マスク開口２を備えるマスク基板１に形成されるアライメントマークを対象とする。アライメントマーク８は、マスク基板１の厚み方向である上下方向に貫通形成される、上拡がり状、又はストレート状の孔からなる開口部９と、マスク基板１の上表面５の表面粗さとは異なる表面粗さを有する粗面からなり、少なくとも開口部９の内面１０の一部に周回状に形成された粗面領域１２とで構成されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明は、マスク開口２を備えるマスク基板１に形成されるアライメントマークを対象とする。アライメントマーク８は、マスク基板１の上表面５に陥没形成される、上拡がり状、又はストレート状の凹みからなる開口部９と、マスク基板１の上表面５の表面粗さとは異なる表面粗さを有する粗面からなり、少なくとも開口部９の内面１０の一部に周回状に形成された粗面領域１２とで構成されていることを特徴とする。
【０００８】
粗面領域１２は、開口部９の内面１０に周回状に形成された第１粗面部２０と、開口部９の上開口１６を囲むように周回状に形成された第２粗面部２１とで構成されている。
【０００９】
第１粗面部２０と第２粗面部２１とは、開口部９の上開口１６を跨いで連続して形成されている。
【００１０】
開口部９の上下方向の中途部に、内面１０から開口部９の軸心に向かって周回状に突設される絞り壁４３が形成されている。絞り壁４３の上面４３ａに、粗面領域１２が形成されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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