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公開番号2025023467
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-17
出願番号2023127611
出願日2023-08-04
発明の名称振動片、振動デバイス、ウェーハ
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20250207BHJP(基本電子回路)
要約【課題】振動片の折り取り部について改善する。
【解決手段】振動片は、水晶基板に連結する連結部で前記水晶基板から折り取られた振動片であって、第1面と、前記第1面の裏面である第2面と、前記第1面と前記第2面とを接続する側面と、前記連結部の残痕と、を有し、前記残痕は、前記側面に位置し、かつ前記第1面と同一面である第1部分と、前記第2面と同一面である第2部分と、を有し、前記残痕を前記側面に対して垂直な方向から見て、前記第1部分の長さをAとし、かつ前記第2部分の長さをBとしたとき、下記(式1)と(式2)とを満たす。
A²/│B-A│≦84.8・・・(式1)
0<A<B・・・(式2)
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
水晶基板に連結する連結部で前記水晶基板から折り取られた振動片であって、
第１面と、
前記第１面の裏面である第２面と、
前記第１面と前記第２面とを接続する側面と、
前記連結部の残痕と、を有し、
前記残痕は、前記側面に位置し、かつ前記第１面と同一面である第１部分と、前記第２面と同一面である第２部分と、を有し、
前記残痕を前記側面に対して垂直な方向から見て、前記第１部分の長さをＡとし、かつ前記第２部分の長さをＢとしたとき、下記（式１）と（式２）とを満たす、
振動片。
Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│≦８４．８・・・（式１）
０＜Ａ＜Ｂ・・・（式２）
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
下記（式３）を満たす、
請求項１に記載の振動片。
Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│≦３４．０・・・（式３）
【請求項３】
下記（式４）を満たす、
請求項１に記載の振動片。
Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│≦１０．１・・・（式４）
【請求項４】
下記（式５）を満たす、
請求項１から３のいずれか一項に記載の振動片。
０．０２≦Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│・・・（式５）
【請求項５】
複数の前記残痕を有し、
前記複数の残痕のそれぞれが、前記第１部分と前記第２部分とを有する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項６】
基部と、前記基部から延伸する一対の振動腕と、を有し、
前記残痕が前記基部に位置する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項７】
前記一対の振動腕は、前記基部の一端から延伸し、
前記残痕は、前記基部の前記一端とは反対側の他端に位置する、
請求項６に記載の振動片。
【請求項８】
基部と、前記基部から延伸する一対の振動腕と、前記基部から延伸する支持腕と、を有し、
前記残痕が前記支持腕に位置する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項９】
請求項１から３のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収容する容器と、
前記容器を塞ぐ蓋体と、を有する、
振動デバイス。
【請求項１０】
水晶基板で構成されるウェーハであって、
複数の振動片と、
前記複数の振動片のそれぞれが、前記振動片ごとに設けられた連結部を介して連結する支持フレームと、を有し、
前記複数の振動片は、それぞれ、
第１面と、
前記第１面の裏面である第２面と、
前記第１面と前記第２面とを接続する側面と、を有し、
前記連結部は、それぞれ、
前記振動片の前記側面に位置し、かつ前記第１面と同一面である第１部分と、前記第２面と同一面である第２部分と、を有し、
前記第１面を平面視して前記第１部分のもっとも狭い部位の長さをＡとし、かつ前記第２面を平面視して前記第２部分のもっとも狭い部位の長さをＢとしたとき、下記（式６）と（式７）とを満たす、
ウェーハ。
Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│≦８４．８・・・（式６）
０＜Ａ＜Ｂ・・・（式７）
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、振動デバイス、ウェーハに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ウェーハに形成された振動片と支持フレームとを連結する折り取り部の好ましい形状を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－１７６８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１によれば、折り取り部の両端に弧状部を形成し、かつ両端の弧状部の間隔を特定の寸法範囲にすることにより、振動片を折り取ったときに折り取り部の一部が振動片に残り難くすることができる。しかしながら、振動片の折り取り部には改善の余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動片は、水晶基板に連結する連結部で前記水晶基板から折り取られた振動片であって、第１面と、前記第１面の裏面である第２面と、前記第１面と前記第２面とを接続する側面と、前記連結部の残痕と、を有し、前記残痕は、前記側面に位置し、かつ前記第１面と同一面である第１部分と、前記第２面と同一面である第２部分と、を有し、前記残痕を前記側面に対して垂直な方向から見て、前記第１部分の長さをＡとし、かつ前記第２部分の長さをＢとしたとき、下記（式１）と（式２）とを満たす。
Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│≦８４．８・・・（式１）
０＜Ａ＜Ｂ・・・（式２）
【０００６】
振動デバイスは、上記の振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記容器を塞ぐ蓋体と、を有する。
【０００７】
ウェーハは、水晶基板で構成されるウェーハであって、複数の振動片と、前記複数の振動片のそれぞれが、前記振動片ごとに設けられた連結部を介して連結する支持フレームと、を有し、前記複数の振動片は、それぞれ、第１面と、前記第１面の裏面である第２面と、前記第１面と前記第２面とを接続する側面と、を有し、前記連結部は、それぞれ、前記振動片の前記側面に位置し、かつ前記第１面と同一面である第１部分と、前記第２面と同一面である第２部分と、を有し、前記第１面を平面視して前記第１部分のもっとも狭い部位の長さをＡとし、かつ前記第２面を平面視して前記第２部分のもっとも狭い部位の長さをＢとしたとき、下記（式６）と（式７）とを満たす。
Ａ
2
／│Ｂ－Ａ│≦８４．８・・・（式６）
０＜Ａ＜Ｂ・・・（式７）
【図面の簡単な説明】
【０００８】
振動デバイスを示す分解斜視図。
振動デバイスを示す分解斜視図。
ウェーハを示す平面図。
図３中のＤ部の拡大図。
振動片を示す平面図。
振動片を示す斜視図。
振動片を示す斜視図。
残痕を側面に対して垂直な方向から見た模式図。
振動片のサンプルについて測定した結果を示す図。
突出量とＡ
2
／│Ｂ－Ａ│との関係を示すグラフ。
図４中のＥ部の拡大図。
ウェーハを示す平面図。
ウェーハを示す平面図。
振動片を示す平面図。
残痕を側面に対して垂直な方向から見た模式図。
振動片を示す平面図。
ウェーハを示す平面図。
ウェーハを示す平面図。
振動片を示す平面図。
ウェーハを示す平面図。
ウェーハを示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１に示すように、振動デバイス１は、ケース２と、振動片３と、リッド４と、を有する。図１には、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が付されている。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、相互に直交する座標軸である。図１以降に示す図についても必要に応じてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が付される。この場合、各図におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、図１におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に対応する。図１は、Ｘ軸とＹ軸とによって規定されるＸＹ平面に振動デバイス１を載置した状態を示す。
【００１０】
以下において、振動デバイス１の構成部品やユニットを示す図や説明にＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が表記されている場合には、その構成部品やユニットを振動デバイス１に組み込んだ状態でのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を意味する。このときのＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、ＸＹ平面に振動デバイス１を配置したときのＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸に対応する。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸には、それぞれ、矢印が付される。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸のそれぞれにおいて、矢印の向きが＋（正）の方向を示し、矢印の向きとは反対の向きが－（負）の方向を示す。Ｚ軸は、ＸＹ平面に直交する軸である。振動デバイス１を－Ｚ方向に見たときの図が平面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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