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公開番号2025015207
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023118463
出願日2023-07-20
発明の名称弾性波装置、分波器及び通信装置
出願人京セラ株式会社
代理人
主分類H03H 9/25 20060101AFI20250123BHJP(基本電子回路)
要約【課題】キャパシタンスが大きく、インピーダンスが小さい弾性波装置を実現する。
【解決手段】弾性波装置は、圧電体と、前記圧電体の上方に位置する第1IDT電極と、前記圧電体の下方に位置する多層膜と、を有し、前記第1IDT電極は、互いに対向する部分を有し、異なる電位に接続されるように構成された第1櫛歯電極及び第2櫛歯電極を有し、前記第1櫛歯電極は、第1バスバー及び複数の第1電極指によって構成され、前記第2櫛歯電極は、第2バスバー及び複数の第2電極指によって構成され、前記多層膜は、少なくとも1層の、上方に接触する層と比較して音響インピーダンスが低い部分を含む低音響インピーダンス層と、少なくとも1層の、上方に接触する層と比較して音響インピーダンスが高い部分を含む高音響インピーダンス層と、を有し、前記低音響インピーダンス層または前記高音響インピーダンス層の少なくとも1層は、金属部と、絶縁体部を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
圧電体と、
前記圧電体の上方に位置する第１ＩＤＴ電極と、
前記圧電体の下方に位置する多層膜と、
を有し、
前記第１ＩＤＴ電極は、
互いに対向する部分を有し、異なる電位に接続されるように構成された第１櫛歯電極及び第２櫛歯電極を有し、
前記第１櫛歯電極は、第１バスバー及び複数の第１電極指によって構成され、
前記第２櫛歯電極は、第２バスバー及び複数の第２電極指によって構成され、
前記多層膜は、
少なくとも１層の、上方に接触する層と比較して音響インピーダンスが低い部分を含む低音響インピーダンス層と、
少なくとも１層の、上方に接触する層と比較して音響インピーダンスが高い部分を含む高音響インピーダンス層と、
を有し、
前記低音響インピーダンス層または前記高音響インピーダンス層の少なくとも１層は、第１金属部と、絶縁体部を含む、
弾性波装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
平面視で、前記第１金属部が、前記第１ＩＤＴ電極と重なる
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
平面視で、前記第１金属部が、前記第１櫛歯電極及び前記第２櫛歯電極の両方に重なっている
請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
平面視で、前記第１金属部が、前記第１ＩＤＴ電極以外の他のＩＤＴ電極と重ならない
請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項５】
第２ＩＤＴ電極を更に有し、
平面視で前記第２ＩＤＴ電極に重なる第２金属部を更に有し、
前記第１金属部と、前記第２金属部は、前記絶縁体部によって絶縁されている
請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項６】
平面視で、前記第１金属部が、前記第１バスバーに重なっており、
平面視で、前記第１バスバーの太さが、前記第１電極指の任意の一本の太さと比較して太い
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１バスバーは、
前記第１ＩＤＴ電極と他のＩＤＴ電極を電気的に接続する第１配線部と、前記第１電極指とを、接続する第１部分と、
平面視で、前記第１金属部と重なっている第２部分と、
を有する
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記第１ＩＤＴ電極と他のＩＤＴ電極を電気的に接続する配線部を有し、
平面視で、前記第１金属部が、前記配線部と重なっている
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記弾性波装置は、
前記第１バスバーに接続された第１配線部と、
前記第２バスバーに接続された第２配線部と、を有し、
平面視で、前記第１金属部が、前記第１配線部及び前記第２配線部の両方に重なっている
請求項７に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
平面視で、前記第１金属部と反射器が重ならない
請求項1に記載の弾性波装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、弾性波を利用する電子部品である弾性波装置、および当該弾性波装置を含む分波器及び通信装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
弾性波を利用する弾性波装置が知られている。弾性波装置は、例えば、ＳＡＷ（ＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔｉｃＷａｖｅ）デバイスまたはＢＡＷ（ＢｕｌｋＡｃｏｕｓｔｉｃＷａｖｅ）デバイスである。弾性波装置は、例えば、少なくとも上面に圧電性を有する基板と、当該基板の上面または下面に電圧を印加して弾性波を励振する励振電極とを有している。弾性波装置においては、電極指のピッチの２倍を波長とする弾性波の定在波が形成され、弾性波装置の共振周波数は電極指のピッチによって設定される。特許文献１では支持基板、多層膜、圧電体層及びＩＤＴ電極を有する弾性波素子が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２３／０３３０３２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
弾性波装置の設計によっては、弾性波装置のキャパシタンスが小さく、インピーダンスが大きくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る弾性波装置は、圧電体と、前記圧電体の上方に位置する第１ＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極と、前記圧電体の下方に位置する多層膜と、を有し、前記第１ＩＤＴ電極は、互いに対向する部分を有し、異なる電位に接続されるように構成された第１櫛歯電極及び第２櫛歯電極を有し、前記第１櫛歯電極は、第１バスバー及び複数の第１電極指によって構成され、前記第２櫛歯電極は、第２バスバー及び複数の第２電極指によって構成され、前記多層膜は、少なくとも１層の、上方に接触する層と比較して音響インピーダンスが低い部分を含む低音響インピーダンス層と、少なくとも１層の、上方に接触する層と比較して音響インピーダンスが高い部分を含む高音響インピーダンス層と、を有し、前記低音響インピーダンス層または前記高音響インピーダンス層の少なくとも１層は、第１金属部と、絶縁体部を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一態様によれば、キャパシタンスが大きく、インピーダンスが小さい弾性波装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的なＸ－Ｘ線で切断した断面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の実施形態に係る分波器の模式的な回路図である。
本開示の実施形態に係る通信装置の模式的な回路図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本開示に係る実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、図面同士でも寸法比率は一致していない。
【０００９】
本開示に係る弾性波装置は、いずれかの方向が上方または下方とされてもよいものであるが、以下では、便宜的に、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸によって示される直交座標系を図面に付すとともに、Ｄ３軸の正側を上方として、上面または下面などの用語を用いることがある。また、平面視または平面透視という場合、特に断りがない限りは、Ｄ３方向に見ることをいう。なお、Ｄ１軸は、後述する電極指の配列方向に平行になるように定義されている。Ｄ２軸は、後述する電極指の延在方向に平行になるように定義されている。Ｄ３軸は圧電体の上面に直交するように定義されている。
【００１０】
以下に本開示における実施形態を示す。また、以下に示す複数の実施形態に記載の構成は、それぞれ他の実施形態と自由に組み合わせてよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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