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公開番号2025008481
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023110693
出願日2023-07-05
発明の名称圧電振動片集合ウェハおよび圧電振動片
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20250109BHJP(基本電子回路)
要約【課題】圧電振動片の製造途中に、圧電振動片が支持体部から脱落することを抑制できる圧電振動片集合ウェハおよび該圧電振動片集合ウェハから折り取られた圧電振動片を提供する。
【解決手段】
複数の水晶振動片部2と、水晶振動片部2を支持する支持体部3と、個々の水晶振動片部2と支持体部3とを連結する連結部4とを有する圧電振動片集合ウェハ1であって、連結部4は、連結部4の厚み方向と直交する第1主面41と、第1主面41から見て裏側の面である第2主面42とを有し、第1主面41は、厚み方向に凹となる凹部5を有し、第2主面42は、凹部5と対向する位置から凸となる方向に立ち上がる段差部6を有する圧電振動片集合ウェハ1とした。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
複数の圧電振動片部と、前記圧電振動片部を支持する支持体部と、個々の前記圧電振動片部と前記支持体部とを連結する連結部とを有する圧電振動片集合ウェハであって、
前記連結部は、
前記連結部の厚み方向と直交する第１主面と、前記第１主面から見て裏側の面である第２主面とを有し、
前記第１主面は、前記厚み方向に凹となる凹部を有し、
前記第２主面は、前記凹部と対向する位置から凸となる方向に立ち上がる段差部を有する
圧電振動片集合ウェハ。
続きを表示（約 220 文字）【請求項２】
前記段差部の前記第２主面からの高さは、前記凹部の底部から前記第２主面までの厚み以上に形成されている
請求項１記載の圧電振動片集合ウェハ。
【請求項３】
前記凹部は、断面視で前記凹部の底部を１つの頂点とした略三角形の形状を有する
請求項１記載の圧電振動片集合ウェハ。
【請求項４】
請求項１から３いずれかに記載の圧電振動片集合ウェハから得られた
圧電振動片。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体に複数の圧電振動片が保持されている圧電振動片集合ウェハおよび該圧電振動片集合ウェハから得られた圧電振動片に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
圧電デバイスとして使用される圧電振動片の製造においては、水晶ウェハをエッチングして多数の圧電振動片を得る方法が知られている。このとき、効率化のため多数の圧電振動片を、連結部を介して支持体部に支持しており、この連結部で個々の圧電振動片を折り取って個片化するようになっている。
【０００３】
このような圧電振動片集合ウェハとして、支持体部から水晶で形成された圧電振動片を連結部の所で折り取るに際し、その折り取りを容易にするため、連結部に溝状のスリットを形成したものが開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
実開平０３－０３９９２２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、得ようとする圧電振動片の厚みが薄くなるにつれて、特許文献１に記載されているようなスリットを連結部に設ける技術を適用した場合、スリットの強度が低くなり、製造途中で連結部が折れて圧電振動片が支持体部から脱落することがあった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、圧電振動片の製造途中に、圧電振動片が支持体部から脱落することを抑制できる圧電振動片集合ウェハおよび該圧電振動片集合ウェハから得られた圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、複数の圧電振動片部と、前記圧電振動片部を支持する支持体部と、個々の前記圧電振動片部と前記支持体部とを連結する連結部とを有する圧電振動片集合ウェハであって、前記連結部は、前記連結部の厚み方向と直交する第１主面と、前記第１主面から見て裏側の面である第２主面とを有し、前記第１主面は、前記厚み方向に凹となる凹部を有し、前記第２主面は、前記凹部と対向する位置から凸となる方向に立ち上がる段差部を有する圧電振動片集合ウェハであることを特徴としている。
【０００８】
本発明の圧電振動片集合ウェハは、連結部の第１主面が、連結部の厚み方向に凹となる凹部を有し、第２主面が、凹部と対向する位置から凸となる方向に立ち上がる段差部を有する構成である。このような構成により、凹部（スリット）を設けた連結部の強度が向上し、製造途中において連結部が折れることによって圧電振動片部が支持体部から脱落することを抑制することができる。
【０００９】
また、圧電振動片部を支持体部から折り取ろうとして圧電振動片部の厚み方向に力を加えた場合、連結部が破断する第１主面側端点は凹部となり、第２主面側の端点は段差部が立ち上がる点となる。したがって、折り取った圧電振動片の破断面の形状を制御することができる。すなわち、破断面が圧電振動片部にかかることによる圧電振動片の欠損を防止することができる。
【００１０】
また、本発明の圧電振動片集合ウェハは、段差部の第２主面からの高さが凹部の底部から第２主面までの厚み以上に形成されている構成であってもよい。このような構成であれば、凹部を設けた連結部の強度を十分に確保することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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